广东半导体晶圆测试探针台平台

真空腔体密封技术，真空腔体密封技术是真空探针的关键部分， 真空腔体密封一旦在设计和加工过程中出现设计 缺陷、密封效果不好等问题，就会产生气体泄漏， 对操作人员造成人身伤害、甚至对大气环境造成 污染，这些问题在后期将无法弥补，在腔体装配前 要进行预装试验，防止类似事件发生。真空腔体采用圆形桶状，下端面与工作平台 紧密结合，上端面端盖可拆卸。选用不锈钢材料锻 造后一体加工。加工过程中合理进行材料热处理，减少加工变形。探针台具有规模化、系统性、战略性和国际性等特点，是人类探索宇宙的中心枢纽。广东半导体晶圆测试探针台平台

承片台结构设计要具有实现自动对准的兹 向 旋转，兹 向旋转的分度精度要求非常高，在150 mm (6 英寸)晶圆上的分度精度要臆0.05° ；为了实现与探针的紧密接触稳定地抬升、有效地达到接触 位置的精度，抬升机构的进给精度要高，同时承片 台要具备极高的刚性，而且在150 mm 的台面上 刚度一致是非常重要的。通过在Z 轴方向的往复 移动，实现高刚性、稳定的探针接触。承片台旋转结构在设计上采用THK 超精密 交叉滚柱轴环RB 型（外圈分隔，内环旋转）支撑 旋转。在交叉滚柱轴环中，因圆柱形滚柱在呈 90° 的V 形沟槽滚动面上通过间隔保持器被相互垂直排列。使得单个轴承就可承受径向、轴向及 力矩负荷等所有方向的负荷，具有很高的刚性。又 由于内圈或外圈是分隔的构造，轴承间隙可调整。吉林双层位移探针台探针台的研究成果不仅对天文学有着重要的意义，还对物理学等学科领域产生了深远的影响。

探针台可以在整个晶圆上或被锯成单个芯片后运行测试。整个晶圆级的测试允许制造商在整个生产过程的不同阶段多次测试设备，并密切监控制造以查看是否存在任何缺陷。在较终封装之前对单个芯片进行测试可以将有缺陷的器件从流通中移除，确保只封装功能器件。探针台在整个研发、产品开发和故障分析中都有很大的用途，工程师需要灵活而精确的工具来对设备的不同区域进行一系列测试。让一个好的探针台与众不同并为您的测试增加价值的是它能够精确控制这些探针在设备上的位置、外部刺激的应用方式以及测试发生时设备周围的环境条件。

探针台由哪些部分组成？样品台（载物台）：是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会根据晶圆的尺寸来设计大小，并配套了相应的精密移动定位功能。光学元件：这个部件的作用使得用户能够从视觉上放大观察待测物，以便精确地将探针先进对准并放置在待测晶圆/芯片的测量点上。有的采用立体变焦显微镜，有的采用数码相机，或者两者兼有。探针（探针卡）：待测芯片需要测试探针的连接，才能与测试仪器建立连接。常见的有普通 DC 测试探针、同轴DC测试探针、有源探针和微波探针等。探针头插入单个探针臂并安装在操纵器上。探针先进尺寸和材料取决于被探测特征的尺寸和所需的测量类型。探针尖直接接触被测件，探针臂应与探针尖匹配。探针台的研究成果对人类探索宇宙和了解宇宙具有重要意义。

探针台分类，探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动，从功能上来区分有：温控探针台，真空探针台（较低温探针台），rf探针台，lcd平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台。自动真空探针台构造设计，自动真空探针台主要由工控机、真空腔体、测 试仪接口电路、传感器系统、环境测试系统、人机 界面、XYZ 工作台等几部分组成。真空腔体结构设计及密封技术，真空腔体结构设计，真空腔体设计的合理性直接影响整个探针台的性能，需要有足够的空间将XY 工作台、承片台、测试探头等部件容纳其中，同时结构还需 尽量紧凑，因此它的优化性设计至关重要。探针台可以通过观测宇宙现象来解开地球和人类的谜团。广东半导体晶圆测试探针台平台

探针台的发展需要国际合作和共同努力。广东半导体晶圆测试探针台平台

探针台用途，探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。ADVANCED仪准科技研发高性价比手动探针台，普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。芯片制造结束后即可在线测试，从源头即可监控。探针台用于对集成电路、三极管、二极管及光电探测器的IV/CV参数等性能测试与表征，是研究中不可缺少的基本设备。探针台系统性能指标，可以实现通过软件对晶片载台X，Y，Z，探针台可搭载光纤，未来可升级满足光电测试。载物台在XY方向：±1pm(0.04mls)分辨率、小于2μm(0.08mls)重复精度、大于50mm/sec的移动速度；在Z方向:5mm(0.19in)的移动范围、1pm(0.04mls)分辨率、小于1pmmls)重复精度.广东半导体晶圆测试探针台平台