半导体废气处理

不同的有机废气成分、浓度适用不同的有机废气处理方式，目前综合技术成熟性、经济性以及设备维护等多方面因素，应用较为普遍的还是活性炭吸附法。但是活性炭吸附法存在适用期限到后废活性炭洗脱回收成本大、存在污染转移等缺点，因此新型吸附-催化燃烧法已在技改中或新建项目中被普遍应用。而低温等离子净化法因其后期维护成本低等优点正受到越来越多企业的青睐，但也存在设备投资成本高等问题。相信随着技术和工业的发展，低温等离子净化技术会越来越成熟，设备投资也会随之下降，届时将会得到普遍应用。废气处理工程需要严格遵守相关环境保护法规和政策。半导体废气处理

蓄热式废气处理炉（RTO），所需温度：摄氏800-900度，低于500ppm的甲苯浓度也可以启动自燃性系统设计，可实现与RCO配合使用，适用于大风量、低浓度，适用于有机废气浓度在100PPM—20000PPM之间。其操作费用低,有机废气浓度在450PPM以上时，RTO装置不需添加辅助燃料；净化率高，两床式RTO净化率能达到98%以上，三床式RTO净化率能达到99%以上，并且不产生NOX等二次污染；全自动控制、操作简单；安全性高。优点：在处理大流量低浓度的有机废气时，运行成本非常低。缺点：较高的一次性投资，燃烧温度较高，不适合处理高浓度的有机废气，有很多运动部件，需要较多的维护工作。半导体废气处理废气处理的效果和成本需要进行详细测算和分析，确保处理方案的可行性。

1990 年后，应用低温等离子体法净化空气污染物的研 究在国际学术界快速发展，相关的等离子体技术陆续出现，如电子束 (electron beam) 、辉光放电 (glow discharge)、电晕放电 (corona discharge)、介质阻挡放电 (dielectric barrierdischarge) 、 射频放电 (radio frequency discharge)、微波放电 (microwave discharge) 、 滑 动弧放电 (gliding are discharge) 等。低温等离子体法的优点有：适用挥发性有机物浓度范 围大，低浓度污染物适应性更高；高挥发性有机物去除率高；操作简单，设备费用低；主要 产物CO₂ 、CO 和 H₂O 对环境无害。

活性炭吸附工艺的优缺点，优点：适用于低浓度的各种污染物；活性炭价格不高，能源消耗低，应用起来比较经济；通过脱附冷凝可回收溶剂有机物；应用方便，只与同空气相接触就可以发挥作用；活性炭具有良好的耐酸碱和耐热性，化学稳定性较高。缺点：吸附量小，物理吸附存在吸附饱和问题，随着吸附剂的消耗，吸附能力也变弱，使用一段时间后可能会出现吸附量小或失去吸附功能；吸附时，存在吸附的专一性问题，对混合气体，可能吸附性会减弱，同时也存在分子直径与活性炭孔径不匹配，造成脱附现象；废气处理是企业履行社会责任的重要体现，有助于提升企业形象和竞争力。

直接燃烧法，直接燃烧法是利用燃气或燃油等辅助燃料燃烧放出的热量将混合气体加热到一定温度(700～800℃)，驻留一定的时间(0.3～0.5秒)，使可燃的有害物质进行高温分解变为无害物质的一种方法。优点：直接燃烧法工艺简单、设备投资小，适用高浓度、小风量的废气治理。缺点：能耗大，运行成本较高；运行技术要求高，不易控制与掌握，在国内基本未获推广。热力燃烧法，热力燃烧是指把废气温度提高到可燃气态污染物的温度，使其进行全氧化分解的过程。优点：适用于可燃有机物质含量较低的废气的净化处理，燃烧净化处理技术中热效率很高，设备使用寿命长，抗老化，耐腐蚀。缺点：设备较大，运输不便；设备价格高，运行成本高；对于含硫、卤素有机物废气处理效果较差。废气处理不仅是环保要求，更是企业发展的内在需求，有助于提升生产效率。浙江二氯甲烷废气处理

废气处理技术的研究和发展不断推动着环保产业的进步。半导体废气处理

下面将介绍几种常见的废气处理方法。1.吸附法:吸附法是将废气中的污染物吸附到吸附剂或吸附材料表面，从而达到净化的效果。活性炭是常用的吸附剂，它的大表面积和孔隙结构可吸附废气中的气体分子。其他吸附剂包括分子筛、硅胶等。吸附法适用于有机物、恶臭物质、溶剂等的去除。2.冷却凝结法:冷却凝结法通过降低废气温度使污染物凝结并沉积，达到净化的效果。这种方法适用于那些可在较低温度下易于凝结的污染物，如硫酸、偏二甲酸等。冷却凝结法主要采用冷凝器和过滤器等设备。半导体废气处理