黑龙江OLED蒸镀机

时间:2022年11月01日 来源:

真空镀膜机的操作注意事项:1、设备中途停电时,应立即关总电源,后关扩散泵、粗抽泵、维持泵;2、扩散泵加热时,避免身体接触扩散泵加热炉、以免烫伤;3、工件旋转时,禁止一切作业;应待工件完全停止转动后,才可进行上下滚筒作业;4、电镀作业完成后,需要打开门时,应有作业人员扶住拉手,缓慢的将门打开,并将插销插入固定孔中;5、真空镀膜机操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业,注意设备本身及设备运行中的安全,特别要重视安全装置的检查与使用。真空镀膜机进行真空镀膜一段时间后,真空室内壁要清洁处理。黑龙江OLED蒸镀机

购买真空镀膜机应考虑哪些因素?1.炉体可采用不锈钢、碳钢或其组合材料。2.根据工艺要求选择不同规格型号的涂装设备,包括电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。3.夹具操作有旋转、旋转和旋转+旋转模式。用户可以根据基板的大小和形状提出相应的要求。速度范围和精度:普通可调变频调速。4.真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、膨胀泵、罗茨泵、坩埚轮分子泵及配套的气动、手动和电动阀门及管道组成。5.根据工艺要求选择电镀方法和形式,如电阻蒸发(钨丝、钼舟、石墨舟)、磁控管源(同轴圆柱形磁控管源、圆柱形平面磁控管源、矩形平面磁控管源等)、靶材和多弧源尺寸(Ф60、Ф80直径靶材、气动、引弧等),数字智能真空计及其高质量的测量程序可用于真空测量,以及自动压力控制器等其他测量仪器。膜厚可通过平方电阻计、透射计等测量。呼和浩特蒸镀机系列-FS-G1-3真空镀膜技术代替传统的电镀工艺可以消除湿法镀膜中所产生的环境污染。

真空镀膜机的真空室该如何设计?(一)焊接要求,根据需要,在该设备真空室的结构设计上也有所差别,常见有圆柱形、圆锥形、盒形等结构。对于我们的镀膜机真空室的焊接技术上,要求有基本五点:为了防止镀膜机的外壳变形,真空室的非气密焊接一般用间断焊。焊缝的总长度尽量短些,高度要大于真空室壳体的三分之一厚度,才能避免一些漏气的可能。焊缝要便于做真空检漏工作,尽量别在焊缝上开孔。焊缝与焊缝间别存在交叉,两缝的中心线位置间应大于10cm的距离。(二)主体材料,镀膜机真空室通常以金属轧制板材作为主要材料制作,作为真空室的主体材料要求可焊性、气密性要求比较高。对于一般的镀膜机真空室使用的主体材料通常是低碳钢、合金钢、铝和铜之类的金属或合金。而不锈钢则一般用于需要高真空、耐腐蚀的工艺的型号中。(三)封头类型,作为镀膜机真空室的一个重要零件——封头,可与筒体焊接组成一个整体。真空镀膜设备的封头形式有球形、锥形、凸形、平盖形等封头类型。

真空蒸镀使用的加热方式主要有:(1)电弧加热:电弧蒸镀利用高真空中两导电材料制成的电极之间形成电弧放电产生的高温,使电极材料蒸发而在基体上凝聚成膜。(2)激光加热:脉冲激光加热表面可实现材料的瞬时蒸发,脉冲激光作为一种新的加热源,其特点之一是能量在时间和空间上高度集中,与常规的热蒸发有明显区别。带有离子轰击装置的激光蒸发,已用于若干材料的低温沉积,其中包括高质量的高温超导氧化物薄膜。激光蒸发可用于透明材料上薄膜的蒸发,从透明材料的背面照射待蒸发薄膜,把基体面向待蒸发薄膜放置,通过控制蒸发区域,则在基体上可沉积出带花纹的薄膜。真空镀膜机的观察窗应能观察到沉积源的情况以及其他关键部位。

真空镀膜机设备表面处理的基本方法:1、溶剂脱脂,附着在真空设备零件上的油可分为动植物油和矿物油。动植物油可用碱溶液化学法除去,矿物油可用有机溶剂除去。然而,在实际的清洗设备中,通常使用两种溶剂。2、酸碱侵蚀处理,设备除油后,金属表面的氧化物可用酸蚀或碱蚀去除。热处理后,设备零件无油污。真空退火后可直接进行酸/碱腐蚀去除氧化层污染。3、电化学清洗和电解抛光,介绍了电化学清洗的原理和配方,指出电解抛光的电解液不同于电解蚀刻液。电化学抛光的电解液配方和抛光规范如下:1.正磷酸(HPo):65%(质量百分比);2.硫酸:15%;3.铬酸(CRO):6%;4.去离子水:14%;5.电流密度:0.2~0.5a/cm2;6.电压:6~12V;7.工作温度:约75°C;8.时间:5~10min。电抛光后,将零件放入2%-5%氨水中15s-20s,用水冲洗,用无水乙醇脱水,干燥。真空镀膜机一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。河北蒸镀机系列-FS-G2.5

真空镀膜机操作员要穿着整洁,袖口扣紧(佩戴袖套),上衣下摆不能敞开,不得穿拖鞋、高跟鞋。黑龙江OLED蒸镀机

真空镀膜机的维修方法介绍:当正在镀膜时真空度突然下降:1、蒸发源水路胶圈损环(更换胶圈);2、坩埚被打穿(更换坩埚);3、高压电极密封处被击穿(更换胶圈);4、工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈);5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀);6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀);7、机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否工作正常);8、烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈);9、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈);10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃)。黑龙江OLED蒸镀机

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