吉林玻璃除异物设备

旋风清洁/除尘/除异物系统目前在如下场景有应用：1)FAB设备中内置轻型旋风模组头，以辅助搬运机器人传递晶圆过程中的清洁。2)晶圆Grinding Disk Wheel的旋风清洁。3)晶圆切割后的异物去除。4)内存芯片激光器标记后残留异物的去除。5)芯片流转用托盘异物的去除。6)芯片贴片前后的去除异物。除异物设备针对高效率光刻胶去除工艺到芯片封装领域独特的工艺，适用于芯片封装批理生产的多功能设备，满足客户需求，适合大批量生产，也能满足实验室要求。除异物设备针对光刻胶去除到芯片封装工艺设计用于基板表面处理；晶圆表面污染物去除；BGA植球前处理；改善金球焊接；改善压膜分层；改善倒装焊底部填充；掩膜去除；环氧树脂去除；改善塑封/封胶。晶圆级封装前采用除异物设备处理的能去除表面的无机物，还原氧化层，增加铜表面的粗糙度，提高产品的可靠性。光学膜除异物设备特点：采用双面双辊清洁技术、上下各2支粘尘胶辊，可迅速去除表面微尘与杂质。吉林玻璃除异物设备

卷对卷（薄膜、卷板)对应型-旋风超高精密除尘模组设备目前已应用的行业有，新能源材料、光学薄膜、复合功能膜、MLCC器件制造、新型钢板、特殊纸张等领域。光学膜除异物设备用途：适用于清洁各种扩散片、偏光片、反射片、菱镜片、保护膜、复合型光学膜片等的表面静电、微尘、毛屑杂质等，提高生产效率和产品质量。光学膜除异物设备应用制程领域：涂布、裁切、分条、组装、检查、包装等作业的板面清洁。人机操控界面，更方便使用和维护保养，减少二次污染，且系统操作简单，节约了大量劳动力，明显减少了人工成本及相关管理成本。光学膜除异物设备采用紧凑型驱动不锈钢支撑胶辊，解决了加工薄材料的一大难题。这些支撑胶辊将薄材料托送到清洁胶辊处，确保通过清洁机时的平稳过渡。陶瓷除异物设备多少钱除异物设备提高了封装设备的可靠性。

平面对应型-旋风超高精密除尘模组设备内部由旋风高璇转轴及特制气嘴组成，其排列组合以多年现场经验和所积累的气流模拟量算法布置排列，可针对用户的不同使用场景设定使用。除异物设备作为一种先进的清洁技术，具有绿色环保的特点。随着微电子技术的不断发展，除异物设备在半导体行业得到越来越普遍的应用。除异物设备具有工艺简单、操作方便、无废物处理和环境污染等优点。除异物设备常用于光刻胶去除过程，除异物设备具有操作方便、效率高、表面清洁、无划痕等优点，有利于保证产品质量。而且不使用酸、碱、有机溶剂，越来越受到人们的重视。半导体技术中常见的金属杂质囊括铁、铜、铝、铬、钨、钛、钠、钾、锂等。

各种晶圆的制程工艺极其精密复杂，各大厂有不同的工艺管控能力。作为前后道主制程工艺的辅助清洁设备单元，旋风清洁/除尘/除异物系统，以非接触式、高效清洁、方便加装等优势，得到了晶圆厂及设备商的采用。为什么要使用除异物设备呢？晶圆是制造半导体芯片的重要材料。晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之集成电路产品。晶圆为什么需要清洁处理呢？晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅。晶圆一般需要经过化学、物理处理。因而，中间产物的晶圆上可能残留各种杂质，譬如胶质。杂质的存在，极大影响了晶圆的性能，甚至造成不能正常工作的情况。光学膜除异物设备适用位置：裁切机连线清洁、质量检验包装前清洁、组装前清洁。

接触型旋风清洁模组头内设置了特制滚刷（多年验证升级后的改良特殊材质)，并同样气流模拟量设计旋风模组内部空间排列，采用整体式Profile结构的独特工艺外观设计，不占空间、便于安装，在用户端的实绩使用效果稳定、良好。表面看不见的细微污垢，严重损害了进一步处理，如胶合、印刷、涂漆或涂装。金属、塑料或无机材料上的这些微妙杂质可以通过除异物设备处理而不使用额外的化学物质来去除。除异物设备是去除有机、无机、微生物表面污染物和强附着粉尘颗粒的过程。它高效，对处理后的表面非常温和。在较高的强度下，它可以去除表面弱边界层，交联表面分子，甚至还原硬金属氧化物。除异物设备促进润湿和粘合，使普遍的工业工艺准备表面粘合、粘合、涂装和涂漆。除异物设备使材料表面达到后续涂覆过程所需的条件。深圳贴合除异物设备

除异物设备可以增加边缘高度和填料的公差，提高包装的机械强度。吉林玻璃除异物设备

卷对卷（薄膜、卷板)对应型-旋风超高精密除尘模组设备是指对以Roll To Roll工艺生产的卷板、薄膜、膜片等产品进行非接触式精密清洁。薄膜除异物设备包括固定架，固定架顶端水平设置有行走辊，行走辊上方固定架上设置有粘尘机构，粘尘机构包括支撑横梁，支撑横梁与行走辊平行设置，支撑横梁上设置有粘纸滚筒和粘辊，粘纸滚筒上套装有粘纸。粘纸滚筒的两端设置可上下调节转动装置，转动装置为上下调节的轴承座，粘纸滚筒的滚轴套装在可上下调节的轴承座上。轴承座通过滑块与滑轨机构的配合实现上下位移调节，支撑横梁两端设置竖向的滑轨，滑轨上套装有第1滑块，轴承座固定在第1滑块上，滑块顶部固定连接有驱动气缸。薄膜除异物设备结构新颖，实现薄膜表面异物及灰尘的去除，去除效率高，保证薄膜质量。吉林玻璃除异物设备

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