安徽stil传感器解决方案

非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。

对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准 使用简单，拆装方便，扫描速度快，定位精度高重复精度±0.5~±1µm；稳定性高，抗干扰能力强。安徽stil传感器解决方案

STIL光学传感器为全球各个行业提供更好的质量控制,我们的产品系列适合于各种应用，为更高的质量标准提供可靠的控制和检测。1995年推出点光谱共焦传感器，2005年创新推出线光谱共焦传感器，2015出现线光谱共焦相机，通过持续创新，2025年将推出适用于工业4.0智能解决方案。在严苛的工业环境下客户要求速度、精度、质量和安全满足的同时，也要求减少对环境的影响和降低成本，这正是STIL传感器产品系列具有的优势。适用于任何材料同轴共焦原理兼容任何折射，同轴共焦原理，易于工业集成，大角度测量，符合ISO25178-602标准。光谱共焦的特点：1.共焦对环境光不敏感可过滤杂波；2.彩色光谱在测量范围内形成彩色光谱，各种景深3.光谱仪通过嵌入式光谱仪对反射或漫反射进行光谱分析，快速并精确4.同轴同轴光学设计，无阴影影响。可靠、精确、超高分辨率的尺寸测量；高速在线解决方案；适用各种材料和环境；优于传统测量方案的其他特性，如：大角度测量，亚微米级精度，测量多层厚度。黑龙江3D 视觉测量传感器测量速度非接触式测量，一体化设计，3D轮廓扫描，多功能数据处理适用于各种材料的精确测量。

航空航天属于高精尖技术领域，技术对安全性要求极高，因此航空航天部件的制造生产中对产品工艺和质量的要求是极为苛刻的。这是司逖光谱共焦传感器在飞机多层玻璃厚度检测方面的运用:

飞机多层玻璃厚度测量

光谱共焦传感器信号灯

为了方便用户实时了解传感器的运行状态，光谱共焦传感器的面板上共有六组信号灯，分别从电源、USB连接、测量头连接、测量状态等四个方面呈现传感器的实际情况。电源、USB连接和测量头连接以LED信号指示灯显示，在传感器开启电源后，上述三个LED信号灯为绿色，表明传感器已可以准备正常工作。

什么是光谱共焦技术？

光谱共焦位移传感器提供比较好的技术以满足非接触尺寸测量**苛刻的要求。基于使用空间彩色编码的创新光学原理，光谱共焦传感器使用户能够以非凡的精确度对任何类型的材料进行测量。传感器适用于绝大多数行业：计量或研究实验室中的高精度仪器，工业生产线上的质量控制。用于工业环境中的设计，传感器的各系列，吸引集成器与测量检测机器轻松连接，这归功于为每台仪器提供的动态链接库（DLL）。

光谱共焦成像基于2个原则：l共焦成像l光轴的彩色编码。

共焦装置是一种光学装置，光学系统在物体的表面上产生点光源S的图像S’。反向散射光由相同的光学系统收集，该光学系统在***S’’处成像。***被置于光电探测器的前面，它过滤可以到达光电探测器的光线，因此它也被称为“空间滤波器”。共焦装置的特点是具有特殊的信噪比。按照CCI原理，光学系统是彩色光学头，光电探测器是一个光谱仪。 用点光谱或线光谱传感器测量晶圆上的翘曲/平面度 凸块测量CLMG/EVERESTK1/K2传感器系列可达360,000测点/秒。

注意事项：•当整理光纤线时避免将其弯曲成曲率半径小于20mm的圆弧。•当不用光纤连接时，为了避免光纤头被污染，插口必须被保护盖盖住，否则可能导致传感器出故障。

你知道光谱共焦传感器为什么采用LED白光吗？

其实大家知道混色光是由众多不同波长光线组成的，我们称之为光谱。下面跟着小编一起来了解下光谱共焦传感器使用LED白光的原因吧：所有不同波长的可见光重叠在一起，形成白光。人类肉眼可见光的波长范围从400nm(蓝光)到700nm(红光)。通过透镜，不同颜色的光不会聚焦到同一个点上。这种现象称为色差透镜错误或者叫色差透镜偏差。 马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器，欢迎您的来电哦！云南Marposs 传感器解决方案

马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器，期待您的光临！安徽stil传感器解决方案

优势

•￭非接触三维表面轮廓测量•

￭噪音小，测量重复性好•

￭纳米级分辨率：Z轴分辨率比较高可达0.1nm•

￭测量的点云数多：一个面**多可以达到500万个点•

￭点间距小，XY分辨率高•

￭多种视野范围可供选择，快速切换物镜变换视野•

￭测量速度快，可实现在线测量

技术特点

1.干涉条纹扫描测量表面位置信息的理论根据是被测表面上各点深度不同所形成的干涉光强不同。2.产生干涉情况下，波长与可测量的深度数据相对应。3.在白光干涉中，干涉图样是由各色光形成的单色干涉图样形成的。被测表面上各点的深度不同，根据光的波动性与同调性，所对应的干涉光强中各频谱成分的强度不同，各色光的干涉级次不同。有助于更加准确的得到表面的位置信息 安徽stil传感器解决方案

马波斯（上海）测量设备科技有限公司汇集了大量的优秀人才，集企业奇思，创经济奇迹，一群有梦想有朝气的团队不断在前进的道路上开创新天地，绘画新蓝图，在上海市等地区的机械及行业设备中始终保持良好的信誉，信奉着“争取每一个客户不容易，失去每一个用户很简单”的理念，市场是企业的方向，质量是企业的生命，在公司有效方针的领导下，全体上下，团结一致，共同进退，**协力把各方面工作做得更好，努力开创工作的新局面，公司的新高度，未来马波斯测量设备供应和您一起奔向更美好的未来，即使现在有一点小小的成绩，也不足以骄傲，过去的种种都已成为昨日我们只有总结经验，才能继续上路，让我们一起点燃新的希望，放飞新的梦想！