上海真空蒸镀装置

真空镀膜机基本技术要求如下：1、真空镀膜机中的真空管道、静态密封零部件（法兰、密封圈等）的结构形式，应符合GB/T6070的规定。2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管，分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时，应在测量口处安装电场屏蔽装置。3、如果设备使用的主泵为扩散泵时，应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱。4、设备的镀膜室应设有观察窗，应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的情况以及其他关键部位。5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率，提高镀膜材料的利用率，合理匹配沉积源的功率，合理布置沉积源在真空室体的位置。6、合理布置加热装置，一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。7、工件架应与真空室体绝缘，工件架的设计应使工件膜层均匀。8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源，离子轰击电源应具有抑制非正常放电装置，维持稳定。真空镀膜设备要在真空条件下工作，因此该设备要满足真空对环境的要求。上海真空蒸镀装置

真空镀膜机的保养：真空镀膜机的扩散泵连续使用6个月以上，抽速会明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。方法：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。上海真空蒸镀装置真空镀膜机若有灰尘，将会影响真空镀膜的效果和质量。

真空镀膜机的操作注意事项：1、设备中途停电时，应立即关总电源，后关扩散泵、粗抽泵、维持泵；2、扩散泵加热时，避免身体接触扩散泵加热炉、以免烫伤；3、工件旋转时，禁止一切作业；应待工件完全停止转动后，才可进行上下滚筒作业；4、电镀作业完成后，需要打开门时，应有作业人员扶住拉手，缓慢的将门打开，并将插销插入固定孔中；5、真空镀膜机操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业，注意设备本身及设备运行中的安全，特别要重视安全装置的检查与使用。

真空镀膜是必须保持在真空环境下进行的才行。因此真空镀膜机若有灰尘，将会影响真空镀膜的效果和质量。但是，需要镀膜材料表面是没办法保证是完全无灰尘的，因此，为了尽量减小材料表面灰尘的前提下，真空镀膜机镀膜的时候必须要注意以下几点才行。（1）真空镀膜设备使用一段时间后，必须要对设备进行清洁维护；（2）规范操作人员及操作要求，包括穿戴专业的服装、手套、脚套等；（3）严格处理衬底材料，做到清洁干净，合乎工艺要求；（4）源材料符合必要的纯度要求；（5）保证设施设备及操作环境清洁。如材料、样品放置地环境要求，环境温度湿度要求等；（6）降低真空镀膜设备室内空气流动性低、尽量减小室外灰尘侵入。真空镀膜机的扩散泵连续使用6个月以上，需要进行保养。

真空镀膜机工作环境要求：真空镀膜设备应在真空条件下工作，因此设备应满足真空对环境的要求。真空对环境的要求一般包括真空设备对实验室（或车间）温度、空气和其他周围环境中颗粒物的要求，以及对真空或真空中零件或表面的要求。这两个方面密切相关。周围环境直接影响真空设备的正常使用；真空室或安装在真空设备中的零件是否清洁直接影响设备的性能。如果空气中含有大量水蒸气和灰尘，则在不清洁真空室的情况下，使用油封机械泵泵送很难达到预期的真空度。众所周知，油封机械泵不应泵出含有对金属有腐蚀性且对真空油有反应的颗粒粉尘的气体。水蒸气是一种可冷凝的气体。当泵出大量可凝气体时，对泵油的污染将更加严重。因此，泵的极限真空将降低，泵的泵送性能将受损。扩散泵是真空镀膜机的主要部件，为机器能运作在良好状态。上海真空蒸镀装置

真空蒸镀装置由真空抽气系统和蒸发室组成。上海真空蒸镀装置

真空状态是支持真空镀膜机运作的环境，特别是需要高真空度的设备，通常我们需要达到高真空度，抽气系统的作用是功不可没的，但除了抽气系统外，在真空镀膜设备运行的过程中，还有一点就是，工件的除气。有些工件它本身内部存在着很多的气体、水分等，这些物质都会随着设备加热时被排放到真空室中，降低了真空度，更甚者，有些气体带有毒性成分，直接损害到真空室内部机械结构，造成设备不能正常运作。另外，正在镀膜过程中，由于工件内气体加热膨胀，容易使已经镀上的膜层裂开，当然这个情况出现的机率视工件本身物理性质有关，像塑料等容易膨胀的，机率就比较高，像金属等硬质的，机率就比较低，但也不能忽视，因此工件的除气是非常必要的。上海真空蒸镀装置

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