真空镀膜方法

真空镀膜是什么？真空镀膜是真空应用领域的一个突破性技术，利用物理或者化学方法并吸收一系列新技术而成的工艺，目的就是为了在实际生产中为产品创造薄膜保护层。工艺主要分为真空蒸镀、磁控溅射镀膜、离子镀三种。为什么需要进行真空镀膜呢？这项工艺已经成为了电子元器件制造中的一项不可或缺的技术，主要是为了使产品表面具有耐磨损耐高温，耐腐蚀等优于产品本身的性能，从而提高产品的质量，延长加工产品的使用寿命，不仅如此，还可以节约能源，获得更为明显的技术经济效益。实际应用中，我们往往会根据产品的性质来决定选用哪种真空镀膜工艺。磁控溅射镀主要用于金属产品，蒸发镀主要用于塑胶产品，光学离子镀主要用于璃玻产品。真空电镀为磁控溅射镀，以电镀不锈钢产品材质为主，可以电镀金色、玫瑰金色、黑色、蓝色等颜色，质量稳定，品质保障。真空镀膜可达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得明显技术经济效益的作用。真空镀膜方法

真空镀膜技术是在真空条件下采用物理或化学方法，使物体表面获得所需的涂层，目前已被应用于耐酸、耐蚀、耐热、表面硬化、装饰、润滑、光电通讯、电子集成、能源等领域。真空镀膜技术也是PVD涂层的常用制备方法，如真空蒸发、溅射镀膜和离子镀等通常称为物理的气相沉积法（PVD），是较为基本的涂层制备技术。它们都要求淀积薄膜的空间要有一定的真空度。所以真空技术是涂层制作技术的基础，获得并保持所需的真空环境，是镀膜的必要条件。贵阳pvd真空镀膜厂家真空镀膜中常用的方法有真空蒸发和离子溅射。

真空镀膜的离子镀，蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面，称为离子镀。这种技术是D.麦托克斯于1963年提出的。离子镀是真空蒸发与阴极溅射技术的结合。一种离子镀系统如图4[离子镀系统示意图]，将基片台作为阴极，外壳作阳极，充入惰性气体（如氩）以产生辉光放电。从蒸发源蒸发的分子通过等离子区时发生电离。正离子被基片台负电压加速打到基片表面。未电离的中性原子（约占蒸发料的95%）也沉积在基片或真空室壁表面。电场对离化的蒸气分子的加速作用（离子能量约几百～几千电子伏）和氩离子对基片的溅射清洗作用，使膜层附着强度提高。离子镀工艺综合了蒸发（高沉积速率）与溅射（良好的膜层附着力）工艺的特点，并有很好的绕射性，可为形状复杂的工件镀膜。

真空镀膜技术的发展趋势：科技发展愈来愈快，信息高速公路，数字地球等新概念的提出，影响和带动了全球高科技的发展，目前，生命科学，环保科技，材料科学和纳米科技是高科技重点研究的领域；纳米科技中又以纳米电子学为优先研究领域。目前计算机和信息技术的基础是超大规模集成电路；但下个世纪的基本元件将是纳米电子集成电路。它是微电子器件的下一代，有自己的理论，技术和材料。现有微电子器件的主要材料是极纯的硅，锗等晶体半导体。纳米电子器件有可能是以有机或无机复合晶体薄膜为主要原理，要求纯度更高，结构更完善。真空制备的清洁环境，有希望加工组装出纳米电子器件所要求的结构。总之，表面和薄膜科学，微电子器件及纳米技术等迅速发展，将使一起开发和检测方法体系研究成为真空镀膜技术中的发展重点；而电子束蒸发源将是真空镀膜技术中的一种重要的加热方法和发展方向。真空镀膜技术主要有真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀、真空束流沉积、化学气相沉积等多种方法。

真空镀膜中常用的方法有真空蒸发和离子溅射。真空蒸发镀膜是在真空度不低于10-2Pa的环境中，用电阻加热或电子束和激光轰击等方法把要蒸发的材料加热到一定温度，使材料中分子或原子的热振动能量超过表面的束缚能，从而使大量分子或原子蒸发或升华，并直接沉淀在基片上形成薄膜。离子溅射镀膜是利用气体放电产生的正离子在电场的作用下的高速运动轰击作为阴极的靶，使靶材中的原子或分子逸出来而沉淀到被镀工件的表面，形成所需要的薄膜。真空蒸发镀膜较为常用的是电阻加热法，其优点是加热源的结构简单，造价低廉，操作方便。真空镀膜是一种将待镀材料和被镀基材放置于真空室内，采用一定方法加热待镀材料。杭州铝合金真空镀膜

真空镀膜应该是在真空度不低于10-2Pa的环境中进行。真空镀膜方法

真空镀膜技术在汽车行业的应用：起装饰作用的镀膜，如汽车标牌，内饰件、外饰件。在汽车玻璃上，镀一层TiO2就能使其变成防雾、防露和自清洁玻璃。车灯的反射镜和后视镜镀铝，可以起到高反射光的作用。汽车轮毂镀铝，可以用来替代化学电镀，达到环保的要求。真空离子镀钛是应用范围较广的工业超硬薄膜技术，以其高硬度、低磨损率、低磨擦系数、强抗腐蚀性、抗黏着性等优越的使用性能，汽车上的镀膜零件有活塞，活塞环，汽门挺杆，凹轮轴等。真空镀膜方法

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