真空蒸镀设备生产厂家

真空镀膜机镀膜前的清洗：真空加热清洗，将工件放置于常压或真空中加热。促使其表面上的挥发杂质蒸发来达到清洗的目的，这种方法的清洗效果与工件的环境压力、在真空中保留时间的长短、加热温度、污染物的类型及工件材料有关。其原理是加热工件。促使其表面吸附的水分子和各种碳氢化合物分子的解吸作用增强。解吸增强的程度与温度有关。在超高真空下，为了得到原子级清洁表面，加热温度必高于450度才行。加热清洗方法特别有效。但有时，这种处理方法也会产生副作用。由于加热的结果，可能发生某些碳氢化合物聚合成较大的团粒，并同时分解成碳渣。真空镀膜机不像化学电镀会用重金属溶液和酸溶液进行镀膜。真空蒸镀设备生产厂家

购买真空镀膜机应考虑哪些因素？1.炉体可采用不锈钢、碳钢或其组合材料。2.根据工艺要求选择不同规格型号的涂装设备，包括电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。3.夹具操作有旋转、旋转和旋转+旋转模式。用户可以根据基板的大小和形状提出相应的要求。速度范围和精度：普通可调变频调速。4.真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、膨胀泵、罗茨泵、坩埚轮分子泵及配套的气动、手动和电动阀门及管道组成。5.根据工艺要求选择电镀方法和形式，如电阻蒸发（钨丝、钼舟、石墨舟）、磁控管源（同轴圆柱形磁控管源、圆柱形平面磁控管源、矩形平面磁控管源等）、靶材和多弧源尺寸（Ф60、Ф80直径靶材、气动、引弧等），数字智能真空计及其高质量的测量程序可用于真空测量，以及自动压力控制器等其他测量仪器。膜厚可通过平方电阻计、透射计等测量。真空蒸镀设备生产厂家真空镀膜机一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。

真空镀膜机的保养：每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。方法：用氢氧化钠（NaOH）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气，再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。方法：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。

真空镀膜设备的一个重要组成部分是采用扩散泵抽真空，但大部分都是大型设备，所以相对来说成本会比较高，因此，大多数企业都会注意扩散泵的维护和保养。保养注意事项：1、扩散泵的冷却水在工作过程中要平稳，停止加热后，待泵工作液完全冷却后再关闭冷却水。2、扩散泵停止工作时，应保持泵处于真空状态，以免泵油变质。3、被泵送的气体应是干燥、无腐蚀性、无粉尘的气体。4、如果真空镀膜设备的扩散泵暂时不使用，储存时应保持真空状态，以免泵油污染和腐蚀各部件，并将冷却水套的剩余水吹干净。将室温保持在10至40摄氏度之间。真空镀膜机的扩散泵连续使用6个月以上，需要进行保养。

真空镀膜机的维修方法介绍：当正在镀膜时真空度突然下降：1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）；2、坩埚被打穿（更换坩埚）；3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈）；4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）；5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）；6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）；7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）；8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）；9、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）；10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）。真空镀膜设备要在真空条件下工作，因此该设备要满足真空对环境的要求。真空蒸镀设备生产厂家

真空镀膜机设计焊缝结构的时候，接头一定要焊透，应该避免产生聚集污物的有害空间。真空蒸镀设备生产厂家

真空镀膜机操作程序具体操作时请参照该设备说明书和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。①检查真空镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。②打开总电源开关，设备送电。③低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。④安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内。清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。⑤落下钟罩。⑥启动抽真空机械泵。⑦开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A)。a.左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。b.低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。⑧当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6.7Pa时，低压阀推入。这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。⑨真空镀膜机开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。⑩低压阀拉出。重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6.7Pa时，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。⑪等低真空表“2”内指针右移动至0.1Pa时，开规管灯丝开关。真空蒸镀设备生产厂家

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