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真空镀膜中常用的方法有真空蒸发和离子溅射。真空蒸发镀膜是在真空度不低于10-2Pa的环境中，用电阻加热或电子束和激光轰击等方法把要蒸发的材料加热到一定温度，使材料中分子或原子的热振动能量超过表面的束缚能，从而使大量分子或原子蒸发或升华，并直接沉淀在基片上形成薄膜。离子溅射镀膜是利用气体放电产生的正离子在电场的作用下的高速运动轰击作为阴极的靶，使靶材中的原子或分子逸出来而沉淀到被镀工件的表面，形成所需要的薄膜。真空蒸发镀膜常用的是电阻加热法，其优点是加热源的结构简单，造价低廉，操作方便；缺点是不适用于难熔金属和耐高温的介质材料。电子束加热和激光加热则能克服电阻加热的缺点。电子束加热上利用聚焦电子束直接对被轰击材料加热，电子束的动能变成热能，使材料蒸发。激光加热是利用大功率的激光作为加热源，但由于大功率激光器的造价很高，目前只能在少数研究性实验室中使用。真空镀膜常见到的有真空蒸发镀膜、离子镀膜、磁控溅射镀膜。国内真空镀膜业务咨询

真空镀膜的方法：电阻加热蒸镀是用丝状或片状的钨、钼、钽高熔点金属做成适当形状的蒸发源，将膜料放在其中，接通电源，电阻直接加热膜料而使其蒸发，或者把膜料放入A1203、Be0等坩埚中进行间接电阻加热蒸发。电子束加热蒸镀是将膜料放入水冷铜坩埚中，利用高能量密度的电子束加热，使得膜料熔融气化并凝结在基体表面成膜。为了改善附着力，增加膜的致密性，真空镀膜前，镀膜过程中辅助离子束进行轰击的镀膜方法称为离子束辅助蒸镀。国内真空镀膜业务咨询真空镀膜的蒸发镀膜通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。

真空镀膜是一种将待镀材料和被镀基材放置于真空室内，采用一定方法加热待镀材料，使之蒸发或升华并飞溅到被镀基材表面凝聚成膜的表面处理工艺，真空镀膜工艺可使塑料表面具有金属质感，并赋予一定的导电性能，其基材选择范围广，过程环保无毒，颜色相较电镀更加丰富。此工艺可分为三种类型：蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。在内外饰系统中，汽车标牌嵌件是采用真空镀膜的典型零件。通过标牌嵌件背面镀的银色铝膜与淡黄色PMMA基材共同形成了高质量的金色狮子华表图案，汽车标牌嵌件采用的是真空镀膜工艺中的溅射镀膜。

平板显示行业主要是在显示面板和触控屏面板两个产品生产环节使用真空镀膜。其中，平板的显示面板的生产工艺中，玻璃基板要经过多次溅射镀膜形成ITO玻璃，然后再经过镀膜，加工组装用于生产液晶显示器面板、等离子显示器面板及有机发光二极管显示器面板等。触控屏的生产，则还需将ITO玻璃进行加工处理、经过镀膜形成电极，再与防护屏等部件组装加工而成。此外，为了实现平板显示产品的抗反射、消影等功能，还可以在镀膜环节中增加相应膜层的镀膜。真空镀膜的过程环保无毒，颜色相较电镀更加丰富。

真空镀膜设备在平板显示行业的应用主要包括有LCD（液晶显示器）、PDP（等离子显示器）、OLED（有机发光二极管显示器）等，以及在液晶显示器基础上发展起来的TP（触控）显示产品。镀膜是现代平板显示产业的基础环节，为保证大面积膜层的均匀性，提高生产率和降低成本，几乎所有类型的平板显示器件都会使用大量的镀膜材料来形成各类功能薄膜，其所使用的真空镀膜主要为溅射靶材，平板显示器的很多性能如分辨率、透光率等都与溅射薄膜的性能密切相关。平板显示镀膜用溅射靶材主要品种有：铬靶、铝靶、钼靶、铜靶、铝合金靶、铜合金靶、钛靶、硅靶、铌靶和氧化铟锡（ITO）靶材等。真空镀膜机镀膜时，膜层的好坏，气体启着关键性的作用，是镀膜环节不可或缺的一步。国内真空镀膜业务咨询

随着真空技术的发展、真空镀膜的高性价比以及传统电镀对环境的污染迫使真空镀膜成为了主流。国内真空镀膜业务咨询

真空镀膜技术是在真空条件下采用物理或化学方法，使物体表面获得所需的涂层，目前已被应用于耐酸、耐蚀、耐热、表面硬化、装饰、润滑、光电通讯、电子集成、能源等领域。真空镀膜技术也是PVD涂层的常用制备方法，如真空蒸发、溅射镀膜和离子镀等通常称为物理的气相沉积法（PVD），是较为基本的涂层制备技术。它们都要求淀积薄膜的空间要有一定的真空度。所以真空技术是涂层制作技术的基础，获得并保持所需的真空环境，是镀膜的必要条件。国内真空镀膜业务咨询

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