福建3D 视觉测量传感器解决方案

时间:2023年10月29日 来源:

什么是光谱共焦干涉仪?非接触式轮廓测量技术中的测量精度,通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰,开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统,干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。光谱共焦干涉测量原理干涉测量法基于白光干涉图(SAWLI)的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号,以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起,机械振动不会影响测量结果。此外,该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。光谱共焦传感器,就选马波斯测量科技,用户的信赖之选。福建3D 视觉测量传感器解决方案

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优势•■非接触三维表面轮廓测量•■噪音小,测量重复性好•■纳米级分辨率:Z轴分辨率比较高可达0.1nm•■测量的点云数多:一个面**多可以达到500万个点•■点间距小,XY分辨率高•■多种视野范围可供选择,快速切换物镜变换视野•■测量速度快,可实现在线测量技术特点1.干涉条纹扫描测量表面位置信息的理论根据是被测表面上各点深度不同所形成的干涉光强不同。2.产生干涉情况下,波长与可测量的深度数据相对应。3.在白光干涉中,干涉图样是由各色光形成的单色干涉图样形成的。被测表面上各点的深度不同,根据光的波动性与同调性,所对应的干涉光强中各频谱成分的强度不同,各色光的干涉级次不同。有助于更加准确的得到表面的位置信息内蒙古光谱共焦视觉检测传感器品牌光谱共焦传感器,就选马波斯测量科技,用户的信赖之选,欢迎新老客户来电!

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公司基于创新的技术开发了两个系列的产品:从0.1μm到100mm测量行程的点光谱共焦传感器、从1.8mm到45mm线长的不同测量行程的线光谱共焦传感器。这些高分辨率的非接触式传感器***运用于各种不同要求的高精密测量场合。从物体表面细微结构、形状及纹理粗糙度的测量分析,到工业环境下的在线质量检测、过程控制与逆向工程,及实验室研究场合的高精度设备,我们的光谱共焦传感器都成了众多客户不可或缺的选择。我们为全球各行业(可应用行业范围:玻璃、医疗、电子、半导体、汽车、航空航天、制表业…等)企业提供高性能的光谱共焦位移传感器。任何材料的物体,如金属、玻璃、陶瓷、半导体、塑料、织物等,我们的光谱共焦传感器都可轻松测量,而且对被测物体表面的颜色和光洁度也没有任何特殊要求,无论什么颜色,物体表面是漫反射或者高光面,乃至于镜面都可以轻松测量。

应用范围:光谱共聚焦传感器既可用于工业环境中,也可用于生产过程中的在线检测以及实验室环境中的高精度仪器。他们主要涵盖以下内容:l微形貌(测量样品的形状和表面特征)l尺寸控制(测试制造产品的特定尺寸是否符合规格)l质量控制(制造产品缺陷的识别和特征描述)l粗糙度测量(测量样品表面的统计特征)l摩损度(表征机械或化学侵蚀)l厚度测量光谱共焦传感器完全符合涉及3D真实表面纹理的测量和分析的ISO25178标准。此外,此标准第601章节致力于非接触式表面测量,引用CCI作为***参考技术原理用点光谱或线光谱传感器测量晶圆上的翘曲/平面度 凸块测量CLMG/EVERESTK1/K2传感器系列可达360,000测点/秒。

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光谱共焦位移传感器原理介绍一束白光点光源,通过色散透镜发生光谱色散,形成不同波长的单色光,每个波长的都有一个完美聚焦点且对应一个相对高度距离值(测量范围)。测量时所有波段的光射到物体表面被原路反射到半透半反射镜并重新聚焦,只有在被测物体上完美聚焦S‘点的波段的光才会通过共焦点小孔S“并被光谱仪感测到,其他波长的光被挡在小孔之外,通过计算进入小孔的光谱波长换算出相对距离。面白光干涉传感器白光干涉测量**于非接触式快速测量,精密零部件之重点部位的表面粗糙度、平面度、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、面形轮廓及台阶段差尺寸,其测量精度可以达到纳米级!目前,在3D测量领域,白光干涉仪是精度比较高的测量仪器之一马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器,欢迎您的来电哦!辽宁2D 测量传感器解决方案

马波斯测量科技光谱共焦传感器获得众多用户的认可。福建3D 视觉测量传感器解决方案

光强信号指示灯显示当前光强是否超过5%。当测量样品未在量程范围内,此时不存在测量信号,该指示灯为熄灭状态。当光强信号大于5%,信号灯点亮为绿色,表明测量数据质量较高。当光强信号小于5%时,信号灯则会显示为橙色预警,提示用户当面光强信号较弱,测量数据效果不佳。此时应该当信号灯点亮为红色时,表明当前光强信号为100%。测量数据的质量存在不确定性,因此可以尝试一下方法解决:量程预警信号灯当前样品是否在测量范围内,当样品不在量程范围内时,该信号灯为熄灭状态。当样品位于量程的15%-85%区间时,该信号灯点亮为绿色。而当样品位于量程的15%以下或85%以上时,该信号灯则显示为橙色,此时测量的数据仍是有效的,只不过需要警惕样品超出量程范围。福建3D 视觉测量传感器解决方案

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