江西激光直掺光伏机

TOPConSE设备采用硼硅玻璃（BSG）作为掺杂源，通过一系列工艺步骤，实现在硅片上形成高硼掺杂的P++层，并且优化了选择发射极的制备工艺。

硼硅玻璃（BSG）作为掺杂源：硼硅玻璃是一种含有高浓度硼的玻璃材料，它可以作为TOPCon太阳能电池的掺杂源。使用BSG作为掺杂源可以确保硼掺杂的准确性和均匀性，从而提高电池的性能和稳定性。

通过扩散炉推进高硼表面浓度的P++层：在TOPConSE设备的工艺流程中，首先使用扩散炉将硼硅玻璃中的硼元素扩散到硅片表面，形成高硼掺杂的P++层。它决定了硼掺杂浓度和分布。

不进行氧化：在形成P++层之后，通常需要进行氧化工艺以保护硅片表面。但是，在TOPConSE设备中，选择不进行氧化操作，而是依赖P++层作为激光掺杂源。这一决策简化了工艺流程并提高了生产效率。

激光掺杂和氧化工艺：在形成P++层之后，TOPConSE设备使用激光技术对硅片进行掺杂和选择性氧化。激光能量触发P++层中的硼原子，使其能够有效地掺入硅基体中。同时，激光还可以选择性地对特定区域进行氧化，形成隧穿氧化层和多晶硅层，这是TOPCon太阳能电池的重要结构。

解决硼掺浓度问题并简化选择发射极的制备工艺：通过使用BSG作为掺杂源和调整工艺参数。 在大规模生产中，TOPCon激光直掺设备具有高产出和高效能，助力企业快速扩张市场份额。江西激光直掺光伏机

硼硅玻璃（BSG）作为掺杂源：硼硅玻璃是一种含有高浓度硼的玻璃材料，它可以作为TOPCon太阳能电池的掺杂源。使用BSG作为掺杂源可以确保硼掺杂的准确性和均匀性，从而提高电池的性能和稳定性。通过扩散炉推进高硼表面浓度的P++层：在TOPConSE设备的工艺流程中，首先使用扩散炉将硼硅玻璃中的硼元素扩散到硅片表面，形成高硼掺杂的P++层。它决定了硼掺杂浓度和分布。不进行氧化：在形成P++层之后，通常需要进行氧化工艺以保护硅片表面。但是，在TOPConSE设备中，选择不进行氧化操作，而是依赖P++层作为激光掺杂源。这一决策简化了工艺流程并提高了生产效率。山东光伏销售厂家利用 TOPCon SE 设备，轻松应对光伏市场的挑战与机遇。

设备主要参数运行模式：离线

适用硅片尺寸（mm）：182-230mm

适用硅片厚度（μm）：120-200μm

设备尺寸（mm）：⻓×宽×高：5989mm*2700mm*2500mm（不包含除尘机，冷水机）；宽×高：7745mm*2700mm*2500mm（包含除尘机，冷水机）

图形精度：±15μm

对准精度：±15μm

上下料方式：满足AGV对接上下料

花篮数量：5×2+1+1

设备产能：182尺寸≥9000片/小时（栅线数量≤148）；182尺寸≥8600片/小时（栅线数量≤160）；210尺寸≥7600片/小时（栅线数量≤168）

碎片率：≤0.03%

设备组成

设备主要由上下料机、激光主机（含激光器）、除尘机等组成激光主机的主要部件：

1)激光器系统；

2)CCD定位系统及软件；

3)光路系统；

4)激光离线检测系统；

5)人机界面操作系统及控制程序；

6)上下料系统；

7)高速振镜扫描系统；

8)工位承载输送系统；

9)激光标记图形编辑软件系统；

10)设备基座及配套结构；

整个主机负责花篮的输送、横移、升降，硅片的输送、缓存、上下料、CCD定位、激光标记等。

1)花篮升降横移模组升降模组：由带刹⻋装置的伺服电机配合螺纹丝杆，带动花篮上下运动，刹⻋装置可保证在掉电状态下花篮位置不会改变。横移模组：由电机驱动同步带，带动花篮平稳横向移动，用于空花篮在上下料之间转存。

2)硅片输送模组硅片输送模组皮带输送装置可平稳轻柔地将硅片输送至缓存机构和空花篮中。皮带输送模组由步进电机、聚氨酯定制皮带以及主从动轮组成，确保硅片在平皮带线上快速稳定运输。

3)对中校正机构由同步带带动两侧滚轮同时向中间运动，用来导正硅片的位置，保证其位置精度。

4)硅片缓存机构由带锁紧装置的丝杠电机构成，可缓存25片硅片以上。

5)硅片抓取上下料模组 TOPCon 激光设备（型号：HL-KZPCNS-HO），该激光系统用于选择性激光加工工艺。

设备安全防护

1）安全⻔：设备装有激光防护安全观察窗，并装有安全⻔保护开关。当安全⻔保护开关打开时，设备立即停止动作处于暂停状态，激光器处于关闭状态；当安全⻔保护开关关闭时，设备处于正常生产运行状态。

2）急停开关：当设备出现故障时，可按急停按钮，设备停止运行。

3）安全光闸：当安全⻔打开时，光路安全光闸关闭，激光无法到达加工台面。

4）安全光栅：与安全⻔一起组成双安全⻔控制，进一步提高设备安全等级。

5）所有电器、配电箱及控制箱的设计安装，符合国家电器技术的安全标准，所有机械安装符合国家有关规定的要求和精度等级。

6）设备主体支架有良好的紧固性，不会因为使用时间⻓或是碰撞导致设备松动。

7）电器装置及电线线缆布局合理规范、具有清晰的标识标记，各个线端上有标注线号并加套管，其电气控制系统具有良好的接地保护、短路、断路、漏电保护功能，并符合GB6829-2008《剩余电流动作保护电器的一般要求》、GB50169-2006《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范》、GB50168-2006《电气装置安装工程电缆线路施工及验收规范》等标准的相关要求。 此设备支持自动上下料系统，可满足客户现场 AGV 系统对接要求。浙江光伏定制

TOPCon SE 设备：带领光伏技术新潮流，提升电池转换效率。江西激光直掺光伏机

海目星激光科技集团股份有限公司（以下简称“海目星”）2008年成立，2020年科创板上市，股票代码688559，是业内杰出的激光及自动化综合解决方案提供商，全球智能装备先进科技企业之一。业务涵盖锂电池智能制造、光伏智能制造、新型显示智能制造、3C智能制造、钣金智能制造等五大领域。 公司总部位于深圳，并在深圳、江门、常州、成都设有四大生产制造基地，辐射华南、华东、西南地区，同时在韩国、美国、意大利建立海外子公司。目前，海目星全球员工8000+人。 在工业4.0时代，海目星始终牢记 “改变世界装备格局，推动人类智造进步”的使命，锁定前沿技术，助力产业变革，与全球客户携手共赴智造未来。江西激光直掺光伏机