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本实用新型涉及真空设备领域,尤其涉及一种真空反应腔室和真空镀膜设备。背景技术:目前,真空设备,例如,pecvd(plasmaenhancedchemicalvaporde****ition,等离子体增强化学气相沉积)和pvd(physicalvaporde****ition,物宝来利相沉积)设备已被广泛应用于各种产品的生产过程中,如光伏电池、半导体器件等等。真空设备中(如pecvd设备、pvd设备)的宝来利真空反应室通常为单个反应腔室,传动部件和升降部件等机械模块部件以及溅射靶材等工艺模块部件均设置于该单个反应腔室内,这就造成反应腔室内的工艺环境不够封闭,容易造成工艺环境污染。另外,设置单个反应腔室时,由于工艺反应区域较大,容易造成工艺所需原料的浪费,同时,还会造成工艺反应过程中温度波动大,不可控因素较多,从而影响工艺过程。技术实现要素:本实用新型的宝来利真空目的在于提供一种真空反应腔室,以解决现有真空设备中由于只设置一个反应腔室造成的工艺环境易被污染、工艺原料易被浪费、环境温度可控性低等问题。本实用新型的第二目的在于提供一种包含本实用新型真空反应腔室的真空镀膜设备。为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案如下:一种真空反应腔室,包括:用于提供真空环境的外腔体。宝来利真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,DLC涂层,有需要可以咨询!上海眼镜架真空镀膜机厂商
通过上述说明可知,温控管40的设置形式多种多样,本实用新型并不限制温控管40的具体设置形式,例如可以按照上述温控管40缠绕并固定的形式,也可以按照在第二侧壁22或第二底板21上安装水套或设通道的形式,只要求保证使用时温控管40可耐压耐温不出现渗漏或漏电现象即可。另一方面,本实用新型一种实施方式的真空镀膜设备,包括机械模块部件、工艺模块部件和实施例一的真空反应腔室,所述工艺模块部件位于所述内反应腔20内,部分所述机械模块部件位于所述外腔体10内。该真空镀膜设备包括本实用新型的真空反应腔室,因此,该真空镀膜设备具有上述真空反应腔室的全部***,在此不再赘述。其中,设置于外腔体10内的部分机械模块部件为与工艺反应无关的一些传动机械部件、升降机械部件等等,另一部与工艺反应相关的机械部件,如镀膜靶材的转动部件等等则设置于内反应腔20中。具体的,可以根据真空镀膜设备的具体结构而定。该真空镀膜设备中,由于真空反应腔室设计成内外腔结构,同时,通过设置温控装置,可以有效地保证工艺环境封闭、恒温、外部污染源少,为工艺反应提供了更为稳定、纯净的环境。通过实际实验证明,反应区域温度环境更均匀。上海PVD真空镀膜机推荐厂家宝来利真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,铬铝,有需要可以咨询!
所描述的实施例宝来利宝来利是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。请参阅图1-5,本实用新型提供一种技术方案:一种高分子等离子表面真空镀膜设备,包括腔体1、基板2和坩埚3,腔体1内壁底部的两侧分别固定连接有加热器和冷凝器,坩埚3放置在加热板14的顶部,腔体1左侧的底部固定连接有抽风机21,并且抽风机21进风口的一端连通有风管22,风管22远离抽风机21的一端贯穿腔体1并延伸至腔体1的内部,腔体1左侧的顶部固定连接有电机16,电机16通过导线与控制开关及外部电源连接,并且电机16输出轴的一端固定连接有双向螺纹杆17,双向螺纹杆17表面的两侧且位于腔体1的内部均螺纹连接有活动块18,两个活动块18的底部均固定连接有限位板19,两个限位板19相对的一侧均开设有与基板2相适配的限位槽,并且两个活动块18的顶部均通过第二滑轨20与腔体1内壁的顶部滑动连接,双向螺纹杆17远离电机16的一端贯穿腔体1并延伸至腔体1的内部,双向螺纹杆17位于腔体1内部的一端与腔体1内壁的右侧通过轴承转动连接,腔体1底部的四角均固定连接有支撑腿4。
本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体为一种高分子等离子表面真空镀膜设备。背景技术:真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法,例如,真空镀铝、真空镀铬等,真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺,简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法,称为真空镀膜。现有的真空镀膜设备虽然能够完成镀膜的工作,但是当镀膜公祖完成后,由于腔体内部仍然处于真空状态,与外界环境具有一定的压强差,若过早打开密封门,坩埚温度依然很高,镀膜材料容易发生喷溅,造成危险,若等坩埚降温后再打开密封门,会耗费较多的时间,影响工作效率。技术实现要素:针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种高分子等离子表面真空镀膜设备,解决了若过早打开密封门,镀膜材料容易发生喷溅,造成危险,若等坩埚降温后再打开密封门,会耗费较多的时间。宝来利真空镀膜机性能稳定,膜层均匀耐磨,五金镀膜,有需要可以咨询!
因此可以有效减少工艺原料的浪费,降低原料的使用成本,提高原料的利用率。同时,由于工艺反应区的减少,可以有效控制该区域内的温度,使该区域内的工艺温度更易于均匀化,进而提高工艺质量。附图说明此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分,示出了符合本实用新型的实施例,并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,对于本领域普通技术人员而言,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本实用新型一种实施方式的真空反应腔室的结构示意图;图2为图1所示结构中的剖视结构示意图;图3为设置于第二底板底部的温控管的结构示意图。图标:10-外腔体;11-宝来利真空底板;12-宝来利真空侧壁;13-传送装置;20-内反应腔;21-第二底板;22-第二侧壁;23-自动门;30-密封盖板;40-温控管;41-恒温控制器。具体实施方式为使本实用新型实施例的目的、技术方案和***更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然。品质真空镀膜机工艺成熟,请选丹阳市宝来利真空机电有限公司,有需要可以来咨询考察!上海太阳镜真空镀膜机哪家好
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在操作真空镀膜机时,确保安全是至关重要的。以下是一些在操作真空镀膜机过程中需要注意的关键安全事项:设备启动与关闭:在开启真空镀膜机之前,应确保所有安全防护装置完好无损且处于正常工作状态。启动后,应密切关注设备运行状态,如有异常应立即停机处理。操作结束后,务必按照规定的程序关闭真空镀膜机,包括切断电源、水源等。真空环境操作:真空镀膜机通常在真空环境下工作,因此操作时应避免在设备运行时打开或拆卸设备部件,以防止真空环境被破坏或有毒有害气体泄漏。同时,要确保真空室的密封性良好,防止外界杂质进入。高温与高压:镀膜过程中可能会涉及高温和高压操作,因此操作人员必须严格遵守操作规程,不得随意调整温度和压力。同时,要保持与加热元件和高压部件的安全距离,防止烫伤和压伤。上海眼镜架真空镀膜机厂商
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