上海SDE1220干式真空泵维修

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介（包括对功能的基本介绍）

       SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸： W:400×H:905×L:760ＭＭ，MAX排气速度10000L/min，立式螺杆设计排气线路短，不容易发生卡死。转子材质为镍合金，防腐蚀能力优越,使用时内部温度高，适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。

系统组成：

1) 罗茨泵  (SDE120TX) 1  

2) 机械增压泵(KMB603) 1  

3) 电源盒  1  

4) 操作手柄1  

5) 连接件  1  

6) 消音器(SR-19) 1

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浚和（上海）仪器有限公司为KASHIYAMA干式真空泵中国地区客户提供现货。上海SDE1220干式真空泵维修

日本KASHIYAMASDE1220干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

二、 配置清单：

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（GasBallast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。
上海SDE1220干式真空泵维修浚和（上海）仪器有限公司专业干式真空泵供应商。

       评价爆裂有两个指标：可燃物质的闪点及燃点。因为螺杆干式真空泵中的两个螺杆在泵体内没有摩擦，所以不会产生电火花，就没有了火源，另外其通过自身的冷却系统降低泵内温度使被抽物质的燃点难以达到，从而杜绝爆裂！泵内既无与外界之间的轴封又无泵腔与冷却循环水回路之间的密封，因此可以抽除有害介质。绝大部分泵的故障都是由轴封处磨损造成的,而此泵每个轴只有一处无接触密封，不存在由轴封损伤带来的停机，以及轴封泄露造成齿轮箱里的油被抽到泵里，造成真空环境及排气口污染。

干式螺杆真空泵选型

       干式螺杆真空泵在其工作压力下，应能排走真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量。

每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选择在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。

       干式螺杆真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。

选择真空机组：

       了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸汽，有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择干式螺杆真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

       干式螺杆真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。

干式真空泵的不同系列会有不同的优势。

日本KASHIYAMA SDE303TX干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

式样：SDE303TX

MAX排气速度（L/min）：5000

达到压力（Pa）：0.5

电源电压：3相  AC200-220V，380-480V

外型尺寸WHL [mm]：400×905×760

二、 配置清单：

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：

1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。

2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。

3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。

4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

Kashiyama Neodry36E小型风冷干式真空泵成为等离子清洗机制造商的新宠。上海SDE1220干式真空泵维修

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日本KASHIYAMA SDE4030M20干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数：

式样：SDE4030M20

MAX排气速度（L/min）：80000

达到压力（Pa）：0.5

电源电压：3相  AC200-220V，380-480V

外型尺寸WHL [mm]：800×1580×1320

二、 配置清单：

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：

1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。

2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。

3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。

4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

浚和（上海）仪器有限公司是一家供应国内外先进仪器和设备的专业供应商和服务商，致力于为客户提供专业的定制化解决方案。多年来，持续为医药、化工、高校、科研单位、检测院等多个行业提供先进的产品和专业的服务。

浚和在不断引进国内外先进仪器设备的同时，结合行业和市场需求，加强和客户之间的沟通，并与国际上多家**仪器设备制造商保持着长期稳定的合作关系，不定期地与合作商进行技术交流，努力加强自身技术力量。公司配备了数名有着多年行业经验的技术人员，依靠雄厚的技术实力、科学合理的配置方案、专业的安装调试和周到的售后服务，得到了广大用户的支持与信赖。

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浚和仪器将始终以行业特点为立足点，以客户需求为导向，不断地提高自身专业技术能力，不停地完善客户服务质量，在发展中保持创新的精神，力求与客户共同进步，为行业的发展作出不懈的努力。