高温无氧烘箱DNN630C

无氧烘箱温控系统及保护措施

一、无氧烘箱温控系统

1、控制器采用8段微电脑温度控制器，具有PID控制参数自动整定功能。

2、温度测量：采用特制锴装铂电阻；

二、完善的安全保护措施：

1、漏电断路器

2、超温保护

3、欠相保护

4、马达过载电流保护

5、机台异常蜂鸣器警示

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浚和(上海)仪器有限公司致力于提供高温无氧烘箱，欢迎您的来电！高温无氧烘箱DNN630C

气氛炉经工艺试验保养工作

      设备于材料试验、合成、烧结等，在日常使用后用户也应注意到设备的保养工作，保养时我们应该定期检查的项目有：  

      1、使用时不得超过额定功率，炉温不得超过*高使用温度。禁止将潮湿工件装入炉膛内，含有过高水份的被加热工件应预先烘干。  

      2、保持炉膛清洁，对炉内的金属氧化物，炉渣和杂质等应及时清洁。装卸工件时应谨慎，以防碰坏硅钼棒。  

      3、硅钼棒碱、碱金属、硅酸及硼化合物在高温下对它能起腐蚀作用，水蒸气对它有强烈的氧化影响，氢及含有大量氢的气体在高温时会分解硅钼棒，使用时必须严加注意、  

      4、车间须配备1/2管以水源后力达0.2MPa.  

      5、接通充气口充入CO2及其它保护气体，当气氛炉压力表指示在0.02～0.04MPa时，停止充气。  

      6、通过调查流量和控制出水口温度在40℃。  

      7、当炉温升高，应随时注意，压力长，间断打开放气阀门，使炉胆内的压力在0.1MPa以下，这时胆的油烟等杂质可随之排出。  

      8、实行光亮退火，在升温时打开放气阀，随后充入保护气体，流量由小变大，当炉内压力为正压时，即关闭全部阀门，此工艺应经工艺试验，由熟练工人掌握。 高温无氧烘箱DNN630C浚和(上海)仪器有限公司是一家专业提供高温无氧烘箱的公司，有想法的可以来电咨询！

三分钟掌握气氛炉的注意事项

      1、除了做实验外，不要停留在高温炉管区。

      2、实验工作完毕时，若无人继续使用，请关特殊气体，保留N2运动，炉管保持在standby温度，并查看是否有其它电源该关而没有关，如灯光、煮酸用的小电炉或其它，请随手关掉。

      3、处理氢氟酸时，请戴手套，如不小心碰到氢氟酸时，请立刻冲水，用葡萄酸钙加2%水，揉擦伤处15’。

      4、石英玻璃制品请小心使用，以免破裂，引起严重割伤。

      5、避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。

      6、**钾不可与酸类混置，因两者可产生剧毒之**钾气体。

      7、一旦发现有妨碍安全之事物时，请立即通知有关人员。

      8、操作气氛炉的时候，请节约纯水用量。

      9、破晶片、滤纸、棉花棒等，请匆掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板渍水。

      10、长短推杆之前端，在还没使用到时，请朝上以免污染。

      11、晶片进出炉口时，请匆碰触炉管口，以免污染炉管。

C1-008 洁净厌氧高温气氛炉（YAMATO）

用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●全不锈钢材质。

●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

室温+30～360℃ 规格参数：

温度范围：室温+30～360℃

温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

温度上升时间：60min（室温→360℃）

温度下降时间：90min（360℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

室温室温+50～500℃ 规格参数：

温度范围：室温+50～500℃

温度分布精度：±8.0℃（a500℃）

温度上升时间：90min（室温→500℃）

温度下降时间：120min（500℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

浚和(上海)仪器有限公司为您提供高温无氧烘箱，有需要可以联系我司哦！

烘箱安装要求及检查调整

1、安置地点要求：

①地面须水平

②通风须良好，落尘量较少

③不要放置在潮湿地方

④不要暴露在易燃或腐蚀性气体下（特殊烤箱除外）

⑤尽可能使可燃物远离

⑥环境温度匆过高

2、安置间隔要求：

①理想操作环境机身各方距墙60公分以上

②理想操作环境机身与机身间隔60公分以上

3、电源安装要求：

①请依电器铭板上所订之电源规格接电

②电压变动率必须在额定值±5%内

③为避免电击意外发生，机台本身必须接地（依电工法规第三种接地法实施对地电阻100Ω以下）

④不可将有漏电断路器烤箱与无此装置烤箱共用接线线路

4、水平调整：

①机台定位后，须调整水平

5、电源接线：

机台定位完成后，可由机台后方电源电缆线，并依接线端子板上之标示规格完成电源接线之工作

6、送风马达调整 高温无氧烘箱，就选浚和(上海)仪器有限公司，用户的信赖之选，有想法可以来我司咨询！高温无氧烘箱DNN630C

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无氧烘箱与普通工业烘箱的比较

      无氧烘箱应用于航空、航天、石油、化工、船舶、电子、通讯等科研及生产单位，主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化，IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别）、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。

一、无氧烘箱与普通工业烘箱在结构上的区别

      无氧烘箱会对内箱进行满焊，同时做密封处理，这样充入的惰性气体就不会泄露，同时保证了内部的无氧环境。而普通烘箱内箱虽然也是满焊，但是没有做密封处理。

二、无氧烘箱与普通工业烘箱在控制系统上的区别

      无氧烘箱需要增加氮气控制系统，同时需要有延时加热功能，就是说在加热之前进行延时充氮，以此来保证加热时箱内已经形成无氧环境，避免高温氧化。当然，一些其他的控制技术包括双流量充氮省能源控制等方式也被许多用户采纳，即双流量+延时加热，大流量氮气充入，延时加热，当箱内充满氮气后，自动切换为小流量以此节省氮气。 而普通烘箱则没有这些功能。 高温无氧烘箱DNN630C

浚和（上海）仪器有限公司是一家供应国内外先进仪器和设备的专业供应商和服务商，致力于为客户提供专业的定制化解决方案。多年来，持续为医药、化工、高校、科研单位、检测院等多个行业提供先进的产品和专业的服务。

浚和在不断引进国内外先进仪器设备的同时，结合行业和市场需求，加强和客户之间的沟通，并与国际上多家**仪器设备制造商保持着长期稳定的合作关系，不定期地与合作商进行技术交流，努力加强自身技术力量。公司配备了数名有着多年行业经验的技术人员，依靠雄厚的技术实力、科学合理的配置方案、专业的安装调试和周到的售后服务，得到了广大用户的支持与信赖。

公司主要经营产品包括：等离子清洗机、真空泵、喷雾干燥器、数字PCR、高压灭菌锅、培养箱、切片机、水分测定仪、激光粒度仪、光谱仪、温湿度记录仪等，目前主要合作品牌有：日本雅马拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、广州永诺 、日本KEM等。同时，公司还提供专业的技术服务，如设备的维护、验证等。

浚和仪器将始终以行业特点为立足点，以客户需求为导向，不断地提高自身专业技术能力，不停地完善客户服务质量，在发展中保持创新的精神，力求与客户共同进步，为行业的发展作出不懈的努力。