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    其配置在所述第1面与所述电路基板之间；以及弹性体，其配置在所述壁部与所述电路基板之间，所述电路基板具有：检测电路，其包含对所述磁体的旋转进行检测的磁传感器；第1电力电路，其包含向所述第1线圈组供给电流的多个电子元器件；第2电力电路，其包含向所述第2线圈组供给电流的多个电子元器件；以及控制电路，其包含对所述第1电力电路和所述第2电力电路中的至少一者所供给的电流进行控制的电子元器件，所述第1线圈布线和所述第2线圈布线均具有：第1部位，其在与所述轴的轴向交叉的方向上突出到所述壳体的外侧；以及第2部位，其在所述外侧自所述第1部位朝向所述电路基板突出，所述散热器具有通孔，该通孔设置在所述第1面与所述第2面之间且供所述轴穿过，在自所述轴的轴向俯视时，所述通孔位于所述壁部的环的内侧。由此，能够将第1电力电路和第2电力电路配置在靠近电路基板的外周的位置，能够增大第1电力电路以及第2电力电路与磁传感器之间的间隔距离。由此，由第1电力电路和第2电力电路产生的热不易向磁传感器传递，因此，能够抑制磁传感器的温度上升。另外，在壁部与电路基板之间配置有弹性体。通过使弹性体分别贴紧于壁部和电路基板，能够抑制电路基板的振动。六合区粉尘气动悬臂吊推荐厂家！宝山区牛皮袋气动悬臂吊原理

    作为理想的技术方案，还具备设于所述第1隆起部的第1散热材料。由此，能够使由第1电力电路和第2电力电路产生的热更有效地散热。作为理想的技术方案，所述散热器还具有第2隆起部，该第2隆起部与所述控制电路相对且向所述电路基板侧隆起。由此，能够使由控制电路产生的热有效地散热。作为理想的技术方案，还具备设于所述第2隆起部的第2散热材料。由此，能够使由控制电路产生的热更有效地散热。作为理想的技术方案，所述散热器还具有凹部，该凹部与所述电路基板相对且向所述电路基板的相反侧凹陷，在所述凹部收纳被配置于所述电路基板的电容器。由此，与没有凹部的情况相比，能够减小包含配置有电容器的电路基板和散热器在内的构造体的厚度。作为理想的技术方案，还具备配置在所述电动马达与所述散热器之间的适配器，所述第1线圈布线和所述第2线圈布线各自还具有在所述第1部位与所述第2部位之间弯曲的弯曲部，所述弯曲部配置在所述适配器的内侧。由此，能够使第1线圈布线和第2线圈布线在轴的轴向上进一步远离磁传感器。作为理想的技术方案，所述适配器具有突出部，从所述轴的轴向观察时该突出部向所述电动马达的外侧突出，所述弯曲部配置在所述突出部的内侧。宝山区牛皮袋气动悬臂吊原理栖霞区米袋气动悬臂吊推荐厂家！

    能够使第1线圈布线和第2线圈布线在与轴的轴向交叉的方向上进一步远离磁传感器。作为理想的技术方案，所述散热器具有凹部和凸部中的一者，所述适配器具有所述凹部和所述凸部中的另一者，所述凸部能嵌入所述凹部。由此，能够将适配器相对于散热器定位。作为理想的技术方案，还具备配置于所述凹部的第1粘接剂，利用所述第1粘接剂将所述散热器和所述适配器粘接起来。由此，能够确保适配器不脱离散热器。作为理想的技术方案，还具备将所述盖体固定于所述散热器的快速装配机构，所述快速装配机构的卡定部和被卡定部中的一者设于所述盖体的外周部，所述卡定部和所述被卡定部中的另一者设于所述散热器的外周部。由此，能够将盖体和散热器容易地固定在一起。

    机械手停止作业，避免意外的伤害。e）设备配套安全控制系统，在操作时，系统不会因为误动作，而突然改变负载或空载压力，因此机械手不会因此快速上升或下降而对人身、设备和产品造成伤害。助力机械手发展趋势世界工业机械手均有高精化，高速化，多轴化，轻量化的发展趋势。定位精度可以满足微米及亚微米级要求，将机械手、柔性制造系统和柔性制造单元相结合，从而根本改变机械制造系统的人工操作状态。随着机械手的小型化和微型化，其应用领域将会突破传统的机槭领域，而向着电子信息、生物技术、生命科学及航空航天等行业发展[3]。助力机械手助力机械手分类助力机械手分为：硬臂式助力机械手、软索式助力机械手、折臂吊、电动平衡吊、气动平衡吊、悬臂吊、墙壁吊。栖霞区常见气动悬臂吊推荐厂家！

    本发明能够有效解决现有技术中机械手运行速度低，定位精度差的问题。本机械手包含3个轴，分别为升降轴、旋转轴和伸展轴，其中伸展轴又包含3个关节，三个关节分别为一级关节、二级关节和三级关节，三个关节之间的传动比为1:2:1，伸展电机通过谐波减速机驱动一级伸展臂转动，通过一级关节、二级关节和三级关节之间设置有传动结构，同时带动二级伸展臂和手指固定座的移动，间接将第1级关节远端的一级同步带轮变为主动轮，通过这种结构，可以在一级伸展臂和二级伸展臂移动时，保持手指固定座的始终直线运动，既晶圆中心始终保持直线运动，晶圆的角度也保持不变。这种结构还提高了机械手整体强度，达到高速度运行和重复定位精度高的双重目的。与现有技术相比，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。附图说明图1是本发明示意图。图2是本发明伸展轴示意图。图3是本发明伸展轴内部俯视示意图。具体实施方式下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。实施例1。六合区象鼻子气动悬臂吊推荐厂家！宝山区牛皮袋气动悬臂吊原理

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    所述的伸展电机、所述的一级关节、所述的二级关节和所述的三级关节依次传动，所述的手指固定座始终保持直线运动。上述技术方案中，的，所述的一级关节、所述的二级关节和所述的三级关节的传动比为1:2:1。上述技术方案中，的，所述的伸展电机通过谐波减速机驱动所述一级伸展臂转动。上述技术方案中，的，所述的一级关节上设置有一级同步轮，所述的二级关节上设置有二级同步轮，所述的一级同步轮和所述的二级同步轮通过一级同步带传动连接。上述技术方案中，的，所述的一级伸展臂内还设置有与所述一级同步带相配合的一级张紧轮。上述技术方案中，的，所述的二级关节上设置有三级同步轮，所述的三级关节上设置有四级同步轮，所述的三级同步轮和所述的四级同步轮通过二级同步带传动连接。上述技术方案中，的，所述的二级伸展臂内还设置有与所述二级同步带相配合的二级张紧轮。上述技术方案中，的，所述的手指固定座上设置有插槽，所述的插槽内可拆卸安装晶圆固定装置。上述技术方案中，的，所述的晶圆固定装置包括真空吸盘、气缸机械手。上述技术方案中，的，所述的手指固定座上还设置有扫描传感器。本发明具体为一种用于晶圆搬运的机械手，它是自动晶圆处理设备中组成部分。宝山区牛皮袋气动悬臂吊原理

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