福建螺杆式真空泵应用

17世纪，意大利物理学家托里拆利揭示了“真空”的存在。真空是指在给定空间内，气体压强低于一个大气压的气体状态。完全没有任何气体的状态叫理想真空，一般我们所说的真空是指相对真空，即能达到的更低压强下，每立方米气体中仍然有少数气体分子存在。在真空技术中，一般用“真空度”和“压强”来表示真空程度，某空间的压强越低则说明真空度越高，压强越高表示真空度越低。根据各压强范围内不同的物理特点，把真空一般划分为粗真空、低真空、高真空和超高真空几个区域。螺杆式真空泵不仅适应性普遍，可以在恶劣条件下抽气，同时可以达到较高真空度（0.1～1Pa）。福建螺杆式真空泵应用

半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有害的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项：1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压。半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。2、有效稀释有害气体的浓度。半导体易产生前面所说的易燃易爆、有害的有害气体，因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。3、注意氧气的浓度。空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及易爆风险。所以一些情况下需注意氧的浓度，采用惰性气体来稀释，防止浓度过高。4、防止温度过高。半导体在真空泵的应用中，有害气体比较多，而无论是干式真空泵还是油封机械泵，泵腔内温度过高，高温下易燃易爆及有害气体就会容易发生危险。福建螺杆式真空泵应用简单的真空机组就是一台直排大气的真空泵。

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当抽吸腐蚀性过程气体时，存在气体可能破坏泵部件的风险。为了避免这个危险，敏感部件必须用连续的惰性气体流保护起来。因此，泵体内装有特殊的进气系统，凭借该系统，气体在规定的位置流入泵系统。在涡轮分子泵中，主要是轴承和电机舱需要保护。在电机舱中吸入密封气体能够避免侵蚀性气体与润滑剂或轴承中的腐蚀敏感成分发生化学反应以及防止灰尘和粒子进入润滑剂存储罐、与润滑剂混合。使用密封气体可以保护电机及防止粒子进入和导致轴与紧急轴承接触，也建议免润滑的涡轮分子泵使用除轴承密封气体外，具有过程能力的干式前级泵也具有净化气体注入流程泵的各个抽吸阶段。过程有关的净化气体流量使用校准喷头上游的压力调节器或流量调节器（质量流量控制器或MFC）进行调节，以及通过压力传感器和开关进行监控。使用真空泵对薄膜进行抽真空处理，以使树脂可以穿过所有的孔以实现更好的扩散状态。

油封式机械真空泵按结构型式可分为定片式、旋片式和滑阀式三种。他们都是利用真空泵油来润滑、密封和降温；都是靠转子在泵壳内运动使转子、叶片、泵壳之间的容积周期性变化，以达到抽气和排气的目的。一、定片式真空泵，其结构简单且使用寿命长，检修容易，双级泵的极限真空度可达10–3Torr，但抽速较小，应用很少。二、旋片式真空泵，分为单级旋片式真空泵（由定子、旋片、转子等组成，只有一个工作室）和双级旋片式真空泵（它由两个工作室组成，两室前后串联，同向等速旋转，Ⅰ室为Ⅱ室的前级）。三、滑阀式真空泵，主要由泵体及内部做偏心转动的滑阀部件、半圆形的滑阀导轨、排气阀、轴等组成。然后将工件放入真空室，由真空泵抽出蒸汽和空气，再让浸渍剂从容器进入真空室。福建螺杆式真空泵应用

真空泵的选型需要认真进行，反复比较不同方案的优劣，以保证真空泵的正常运行。福建螺杆式真空泵应用

螺杆式真空泵不只适应性普遍，可以在恶劣条件下抽气，同时可以达到较高真空度（0.1～1Pa）。因此，随着半导体、石化行业的快速发展，螺杆式真空泵作为一种理想真空泵也开始普遍应用于电子半导体、医药化工领域，如半导体行业的气相沉积、蚀刻，医药化工行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、油气回收等。虽然由于型线技术以及加工上的成本导致螺杆式真空泵购置费用较为昂贵，但从长远来说，其宽适应、高效节能环保的特性以及低故障维修率，能在运行周期内给企业带来更高的综合效益与社会环境效益，使用的更加普遍性必是未来的趋势。福建螺杆式真空泵应用

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