南宁小型扫描电镜供应商
扫描电镜(SEM)是一种介于透射扫描电镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大,视野大,成像立体效果好。此外,扫描电镜和其他分析仪器相结合,可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有普遍应用。因此扫描电镜在科学研究领域具有重大作用。扫描电镜是一种多功能的仪器,具有很多优越的性能。南宁小型扫描电镜供应商
在扫描电镜应用中,很多集中在半导体器件和集成电路方面,它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况,这是因为这种变化会带来象的反差的变化。焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。利用束感生电流,可以观测半导体P—N结内部缺陷。电子束与样品作用区内,还发射与样品物质其他性质有关信号。例如:与样品化学成分分布相关的,背散射电子,特征X射线,俄歇电子,阴极荧光,样品吸收电流等;与样品晶体结构相关的,背散射电子衍射现象的探测;与半导体材料电学性能相关的,二次电子信号、电子束感生电流信号;在观察薄样品时产生的透射电子信号等。目前分别有商品化的探测器和装置可安装在扫描电镜样品分析室,用于探测和定性定量分析样品物质的相关信息。南宁小型扫描电镜供应商扫描电镜与电视一样是由控制电子束偏转的电子系统来完成的。
肖特基发射式扫描电镜的操作温度为1800K,它是在钨(100)单晶上镀ZrO覆盖层,ZrO将功函数从纯钨的4.5eV降至2.8eV,而外加高电场更使电位障壁变窄变低,使得电子很容易以热能的方式跳过能障(并非穿隧效应),逃出针尖表面,所需真空度约10-8~10-9torr。其发射电流稳定度佳,而且发射的总电流也大。而其电子能量散布很小,但稍逊于冷场发射式电子长筒械具。其电子源直径比冷式大,所以影像分辨率也比冷场发射式稍差一点。由于ZrO一直是覆在灯丝上的,因此肖特基的束流非常稳定,但较终ZrO耗尽时,灯丝的寿命也就到了,一般在2-3年。
电磁透镜:热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射电子长筒械具的扫描电镜上,电磁透镜必不可少。通常会装配两组:汇聚透镜和物镜,汇聚透镜但但用于汇聚电子束,与成象会焦无关;物镜负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。扫描线圈的作用是使电子束偏转,并在样品表面作有规则的扫动,电子束在样品上的扫描动作和显像管上的扫描动作保持严格同步,因为它们是由同一扫描发生器控制的。样品室内除放置样品外,还安置信号探测器。信号探测处理和显示系统:电子经过一系列电磁透镜成束后,打到样品上与样品相互作用,会产生二次电子、背散射电子、俄歇电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如二次电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象,但习惯上,仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。扫描电镜普遍应用于工程地质领域的研究。
冷场发射式:冷场发射式扫描电镜是通过使用一个锐利尖晶(lOOnm)和高电压(3.4kv)获得高势场,使电子从钨线圈中下来,要求具有超高真空度,但使用寿命较长,且具有高性能。冷场发射式较大的优点为电子束直径较小,亮度较高,因此影像分辨率较优。能量散布较小,故能改善在低电压操作的效果。冷场扫描电镜为避免针尖被外来气体吸附,而降低场发射电流,因此使得发射电流不稳定,发射体使用寿命短,冷场发射扫描电镜对真空条件要求较高,冷场发射式电子长筒械具必需在10-10torr的真空度下操作,虽然如此,还是需要定时短暂加热针尖至2500K(此过程叫做flashing,定时对针尖进行清洗),以去除所吸附的气体原子,此外,他的发射的总电流较小,但局限于单一的图像观察,应用范围有限。要从极细的钨针尖场发射电子,金属表面必需完全干净,无任何外来材料的原子或分子在其表面,即使只有一个外来原子落在表面亦会降低电子的场发射,所以场发射电子长筒械具必需保持超高真空度,来防止钨阴极表面累积原子。扫描电镜普遍应用于油气地质领域的研究。南宁小型扫描电镜供应商
扫描电镜普遍应用于生命科学领域的微观研究。南宁小型扫描电镜供应商
扫描电镜试样制备技术:粉末状试样的制备:首先在载物盘上粘上双面胶带,然后取少量粉末试样在胶带上的靠近载物盘圆心部位,然后用洗耳球朝载物盘径向朝外方向轻吹(注意不可用嘴吹气,以免唾液粘在试样上,也不可用工具拨粉末,以免破坏试样表面形貌),以使粉末可以均匀分布在胶带上,也可以把粘结不牢的粉末吹走(以免污染镜体)。然后在胶带边缘涂上导电银浆以连接样品与载物盘,等银浆干了之后就可以进行较后的蒸金处理。溶液试样的制备:对于溶液试样我们一般采用薄铜片作为载体。首先,在载物盘上粘上双面胶带,然后粘上干净的薄铜片,然后把溶液小心滴在铜片上,等干了(一般用台灯近距离照射10分钟)之后观察析出来的样品量是否足够,如果不够再滴一次,等再次干了之后就可以涂导电银浆和蒸金了。南宁小型扫描电镜供应商
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