遵义小型扫描电镜

场发射扫描电镜的条件要求：场发射扫描电镜对真空的要求较高，有些仪器在电子长筒械具及磁透镜部份配备了3组离子泵(ionpump)，在样品室中，配置了2组扩散泵(diffusionpump)，在机体外，以1组机械泵负责粗抽，所以有6组大小不同的真空泵来达成超高真空的要求，另外在样品另有以液态氮冷却的冷阱(coldtrap)，协助保持样品室的真空度。场发射的操作注意事项：场发射式电子长筒械具的电子产生率与真空度有密切的关系，其使用寿命也随真空度变差而急剧缩短，因此在样品制备上必须非常注意水气，或固定用的碳胶或银胶是否烤干，以免在观察的过程中，真空陡然变差而影响灯丝寿命，甚至系统当机。扫描电镜是一种介于透射扫描电镜和光学显微镜之间的一种观察手段。遵义小型扫描电镜

扫描电镜特点：制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等，对于导电材料，可直接放入样品室进行分析，对于导电性差或绝缘的样品则需要喷镀导电层。基本结构：从结构上看，扫描电镜主要由七大系统组成，即电子光学系统、信号探测处理和显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统、电源供给系统。电子光学系统：电子光学系统包括电子长筒械具、电磁透镜、扫描线圈、样品室等，主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。遵义小型扫描电镜扫描电镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有普遍应用。

和透射电镜相比，扫描电镜试样制备比较简单。在保持材料原始形状情况下，可以直接观察和研究试样表面形貌及其它物理效应（特征），这是扫描电镜的一个突出优点。扫描电镜的有关制样技术是以透射电镜、光学显微镜及电子探针X射线显微分析制样技术为基础发展起来的，有些方面还兼具透射电镜制样技术，所用设备也基本相同。但因扫描电镜有其本身的特点和观察条件，只简单地引用已有的制样方法是不够的。扫描电镜的特点是：观察试样为不同大小的固体（块状、薄膜、颗粒），并可在真空中直接进行观察。试样应具有良好的导电性能，不导电的试样，其表面一般需要蒸涂一层金属导电膜。试样表面一般起伏（凹凸）较大。观察方式不同，制样方法有明显区别。试样制备与加速电压、电子束流、扫描速度（方式）等观察条件的选择有密切关系。

扫描电镜的附件：扫描电镜一般都配有波谱仪或者能谱仪。波谱仪和能谱仪是不能互相取代的，只能是互相补充。波谱仪是利用布拉格方程2dsinθ=λ，从试样激发出了X射线经适当的晶体分光，波长不同的特征X射线将有不同的衍射角2θ。波谱仪是微区成分分析的有力工具。波谱仪的波长分辨率是很高的，但是由于X射线的利用率很低，所以它使用范围有限。能谱仪是利用X光量子的能量不同来进行元素分析的方法，对于某一种元素的X光量子从主量子数为n1的层跃迁到主量子数为n2的层上时，有特定的能量ΔE=En1-En2。能谱仪的分辨率高，分析速度快，但分辨本领差，经常有谱线重叠现象，而且对于低含量的元素分析准确度很差。扫描电镜和其他分析仪器相结合,可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。

场发射扫描电镜注意事项：平时操作，若要将样品室真空亦保持在10-8pa(10-10torr)，则抽真空的时间将变长而降低仪器的便利性，更增加仪器购置成本，因此一些仪器设计了阶段式真空(stepvacuum)，亦即使电子长筒械具、磁透镜及样品室的真空度依序降低，并分成三个部份来读取真空计读数，如此可将样品保持在真空度10-5pa的环境下即可操作。平时待机或更换样品时，为防止电子长筒械具污染，皆使用真空阀(gunvalve)将电子长筒械具及磁透镜部份与样品室隔离，实际观察时再打开使电子束通过而打击到样品。扫描电镜在电子扫描中,把电子束从左到右方向的扫描运动叫做行扫描或称作水平扫描。遵义小型扫描电镜

扫描电镜普遍应用于地球化学领域的研究。遵义小型扫描电镜

扫描电镜(SEM)利用的技术是一种介于透射扫描电镜和光学显微镜之间的一种观察手段，其使用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电镜的分辨率可以达到1nm；放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调；并且景深大,视野大,成像立体效果好。此外,扫描电镜和其他分析仪器相结合,可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有普遍应用，在科学研究领域具有重大作用。遵义小型扫描电镜

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