桂林日立分析仪器扫描电镜批发
扫描电镜基本知识:在材料领域中,扫描电镜技术发挥着极其重要的作用,被普遍应用于各种材料的形态结构、界面状况、损伤机制及材料性能预测等方面的研究。利用扫描电镜可以直接研究晶体缺陷及其产生过程,可以观察金属材料内部原子的集结方式和它们的真实边界,也可以观察在不同条件下边界移动的方式,还可以检查晶体在表面机械加工中引起的损伤和辐射损伤等。扫描电镜可粗略分为镜体和电源电路系统两部分。镜体部分由电子光学系统、信号收集和显示系统以及真空抽气系统组成。扫描电镜可以观察试样的各个区域的细节。桂林日立分析仪器扫描电镜批发
电磁透镜:热发射电子需要电磁透镜来成束,所以在用热发射电子长筒械具的扫描电镜上,电磁透镜必不可少。通常会装配两组:汇聚透镜和物镜,汇聚透镜但但用于汇聚电子束,与成象会焦无关;物镜负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。扫描线圈的作用是使电子束偏转,并在样品表面作有规则的扫动,电子束在样品上的扫描动作和显像管上的扫描动作保持严格同步,因为它们是由同一扫描发生器控制的。样品室内除放置样品外,还安置信号探测器。信号探测处理和显示系统:电子经过一系列电磁透镜成束后,打到样品上与样品相互作用,会产生二次电子、背散射电子、俄歇电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如二次电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象,但习惯上,仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。桂林日立分析仪器扫描电镜批发扫描电镜景深大、分辨率高。
扫描电镜照片是灰度图像,分为二次电子像和背散射电子像,主要用于表面微观形貌观察或者表面元素分布观察。一般二次电子像主要反映样品表面微观形貌,基本和自然光反映的形貌一致,特殊情况需要对比分析。背散射电子像主要反映样品表面元素分布情况,越亮的区域,原子序数越高。看表面形貌,电子成像,亮的区域高,暗的区域低。非常薄的薄膜,背散射电子会造成假像。导电性差时,电子积聚也会造成假像。扫描电镜图像放大倍数定义为显示器上图像宽度与电子束在试样上相应方向扫描宽度之比。例如显示器上图像宽度为100mm,入射电子束在试样上扫描宽度为10um,则放大倍数M为:M=100mm/10um=10000因显示器上图像宽度一定,只要改变电子束在试样表面的扫描宽度,就可连续地几倍、十几倍直至几万倍地改变图像放大倍数。放大倍数调整范围宽是扫描电镜的一个突出优点,低倍数便于选择视场、观察试样的全貌,高倍数则观察部分微区表面的精细形貌结构。
因为扫描电子象不是同时记录的,它是分解为近百万个逐次依此记录构成的,因而使得扫描电镜除了观察表面形貌外,还能进行成分和元素的分析,以及通过电子通道花样进行结晶学分析,选区尺寸可以从10μm到2μm。由于扫描电镜具有上述特点和功能,所以越来越受到科研人员的重视,用途日益普遍。扫描电镜已普遍用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。扫描电镜普遍应用于工业生产。
在扫描电镜应用中,很多集中在半导体器件和集成电路方面,它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况,这是因为这种变化会带来象的反差的变化。焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。利用束感生电流,可以观测半导体P—N结内部缺陷。电子束与样品作用区内,还发射与样品物质其他性质有关信号。例如:与样品化学成分分布相关的,背散射电子,特征X射线,俄歇电子,阴极荧光,样品吸收电流等;与样品晶体结构相关的,背散射电子衍射现象的探测;与半导体材料电学性能相关的,二次电子信号、电子束感生电流信号;在观察薄样品时产生的透射电子信号等。目前分别有商品化的探测器和装置可安装在扫描电镜样品分析室,用于探测和定性定量分析样品物质的相关信息。扫描电镜普遍应用于构造地质领域的研究。桂林日立分析仪器扫描电镜批发
扫描电镜普遍应用于司法领域。桂林日立分析仪器扫描电镜批发
扫描电镜(SEM)利用的技术是一种介于透射扫描电镜和光学显微镜之间的一种观察手段,其使用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大,视野大,成像立体效果好。此外,扫描电镜和其他分析仪器相结合,可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有普遍应用,在科学研究领域具有重大作用。桂林日立分析仪器扫描电镜批发
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