徐汇区象鼻子真空搬运机原理
第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管区域sa2。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1区段内顶棚轨道11的下方且侧方。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二区段内顶棚轨道12的下方且侧方。第1保管部20a和第1交接端口30a配置于在第1区段内顶棚轨道11能够通过后述的第1起重机40a和高架搬运车50进行物品2的交接的范围。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于在第二区段内顶棚轨道12能够通过后述的第二起重机40b和高架搬运车50进行物品2的交接的范围。图3是表示第1、第二保管区域sa1、sa2的第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的一个例子的图。在图3中示出从+x侧观察第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b的情况的一个例子。如图3所示,第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b使用能够载置物品2的架部等。在载置物品2的架部也可以设置进入在物品2的底面设置的槽部的多个销。该销进入物品2的槽部,由此相对于架部定位物品2。各第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b例如被支承为从建筑物的顶棚等悬挂的状态。第1、第二保管部20a、20b和第1、第二交接端口30a、30b从顶棚悬挂。溧水区象鼻子真空搬运机推荐厂家!徐汇区象鼻子真空搬运机原理
搬运系统100也能够应用于除半导体制造领域以外的设备,物品2可以是由用于设置搬运系统100的设备处理的各种物品。在本实施方式中,搬运系统100在配置于第1、第二装置区域ta1、ta2的第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2。第1、第二处理装置tl1、tl2例如是曝光装置、涂布显影装置、制膜装置、或者蚀刻装置等,对收容于搬运系统100所搬运的物品2的半导体晶圆实施各种处理。各第1、第二处理装置tl1、tl2分别具备两处装载端口lp。图2是表示第1、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的一个例子的图。在图2中表示从+x侧观察第1、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的情况的一个例子。如图1和图2所示,第1处理装置tl1在设定于制造工厂等的地板部的第1装置区域ta1内沿一个方向(y方向)排列配置。第二处理装置tl2在第二装置区域ta2内沿一个方向(y方向)排列配置。第1、第二装置区域ta1、tl2分别沿x方向配置多个。沿y方向排列的多个第1、第二处理装置tl1、tl2沿x方向设置多列。此外,多个第1、第二处理装置tl1、tl2的配置是一个例子,也可以是其他配置。另外。天宁区真空搬运机供应雨花台区象鼻子真空搬运机推荐厂家!
各子吸盘下端面相平,所述子吸盘包括气罩,所述气罩上端与密封腔连通,所述气罩下端密封设置有皮套。进一步地,所述皮套中间位置连接有向上的拉杆,所述气罩上端与拉杆对应位置处开有导向孔,所述气罩上环绕导向孔还环绕设置有2-6个气孔,所述气孔下端外侧还设置有缓冲环,所述拉杆上还设置有挡板,挡板随拉杆上升时能够与缓冲环密封,所述拉杆上端还设置有限位环。进一步地,所述皮套中间位置设置有夹板,所述拉杆与夹板相连。进一步地,所述挡板截面为向下的锥形。进一步地,所述密封腔的上壁和下壁之间设置有3-6根支撑杆。进一步地,所述气罩靠近下端的截面面积大于靠近上端的截面面积。本实用新型的有益效果在于:增加子吸盘,子吸盘包括气罩,所述气罩上端与密封腔连通,所述气罩下端密封设置有皮套,任一个子吸盘吸附石板均能够为石板提供支撑;设置皮套能够保证不与石板密封的子吸盘不漏气;设置拉杆、导向孔、挡板、限位环、气孔、缓冲环,能够有效的限制皮套的变形量,在保证真空吸力的情况下避免拉坏皮套,提高使用寿命;设置夹板,能够提高皮套的受力面积,保证皮套使用寿命;设置支撑杆,能够防止密封腔变形。附图说明图1为真空吸吊机结构图示意图。
前端活动架与中间活动板之间装设有呈竖向布置的竖向导轨副,前端活动架的下端部装设有吸盘安装架,吸盘安装架装设有真空吸盘;固定安装竖板的前表面开设有呈“n”形状的活动槽,前端活动架螺装有活动架驱动块,活动架驱动块装设有活动架驱动轴,活动架驱动轴伸入至固定安装竖板的活动槽内且活动架驱动轴装设有嵌插于活动槽内的轴承;固定安装竖板的后表面装设有机械手驱动电机,机械手驱动电机的动力输出轴装设有位于活动槽旁侧且用于拨动活动架驱动轴动作的驱动轴拨动块。其中,所述水平导轨副包括有螺装于所述固定安装竖板且沿着左右方向水平延伸的水平导轨、螺装于所述中间活动板的水平滑块,水平导轨与水平滑块相配合。其中,所述竖向导轨副包括有设置于所述前端活动架且呈竖向布置的竖向导轨、螺装于所述中间活动板的竖向滑块,竖向导轨与竖向滑块相配合。本实用新型的有益效果为:本实用新型所述的一种新式真空搬运式机械手,其包括有机械手安装架,机械手安装架包括有呈竖向布置的固定安装竖板,固定安装竖板的下端侧装设有竖板固定座,竖板固定座的上端部与固定安装竖板螺接;固定安装竖板的前端侧可相对活动地装设有分别呈竖向布置的中间活动板、前端活动架。溧水区牛皮袋真空搬运机推荐厂家!
控制头19包括顶端开设有开口一22、底端开设有开口二23的壳体24,开口一22与搬运管15底端连通,开口二23通过数根支管29与各吸盘20——对应连通(即一根支管29连通一个吸盘20),开口二23上设置有位于壳体24内的阀门,阀门底部的触头螺栓26位于壳体24外部,且触头螺栓26的底面低于吸盘20的吸附接触面(本实施例的各吸盘20位于同一水平面上),操作手柄21固定在控制头19上。其中,控制头19带有真空表27,以便于随时了解控制头19内的真空度情况;操作手柄21为带旋转手把的操作手柄,可随意控制搬运管15的上升、下降,以方便搬运。其中,阀门包括阀片25和数根外壁上套置有弹簧28的光杆螺杆29,光杆螺杆29均匀分布并固定在开口二23的四周,阀片25配合将开口二23封闭并活动套置在各光杆螺杆29下端,同时由弹簧28抵住。本实用新型对被搬运物体的搬运动作过程如下开启真空泵13,在真空吸盘装置对着被搬运物体下压的过程中,其触头螺栓26会先触碰到被搬运物体,在触头螺栓26的向上推力作用下,阀片25被顶开,真空作用力依次通过开口二23、支管29进入吸盘20,终实现对被搬运物体的吸附、搬运。搬运到位后,关闭真空泵13,阀片25在弹簧28的弹性恢复作用力下被顶回原位,将开口二23密封。浦口区室内深加工真空搬运机推荐厂家!江阴包装袋真空搬运机生产厂家
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图2为吸盘主视剖面示意图;图3为吸盘仰视图示意图;图4为子吸盘剖面图示意图;其中:1-吊架,2-吸盘,3-舵把,4-吊环,5-控制按钮,6-密封腔,7-子吸盘,8-夹板,9-气管,10-气罩,11-皮套,12-拉杆,13-挡板,14-限位环,15-气孔,16-缓冲环,17-支撑杆。具体实施方式以下结合具体实施例对本实用新型的技术方案进行说明。实施例1如图1-4所示,一种真空吸吊机,包括吊架1,吊架1正面安装有6个吸盘2,吸盘2截面为圆形,吸盘2包括密封腔6,密封腔6由厚度为3-5mm的不锈钢材料围制焊接而成,密封腔6上端连接有气管9,密封腔6下端呈梅花状安装有5个子吸盘7,各子吸盘7下端面相平,子吸盘7包括气罩10,气罩10截面为圆形,气罩10靠近下端的截面面积大于靠近上端的截面面积,气罩10上端与密封腔6连通,气罩10下端密封固定有皮套11,皮套11由乳胶制成,皮套11中间位置夹有夹板8,夹板8为圆形,夹板8夹紧在皮套11两面,夹板8上端中间围制固定有向上的拉杆12,气罩10上端与拉杆12对应位置处开有导向孔,气罩10上环绕导向孔还环绕开有4个气孔15,气孔15下端外侧还固定有缓冲环16,缓冲环16由乳胶制成,拉杆12上还固定有挡板13,挡板13截面为向下的锥形。徐汇区象鼻子真空搬运机原理
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