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    保持部53与线材或者带状物等悬挂部件53b连接。保持部53从升降驱动部54悬挂且以能够摆动的状态升降。保持部53可以与上述的第1、第二起重机40a、40b的保持部49是同一结构，也可以是不同结构。升降驱动部54例如是升降机，通过抽出悬挂部件53b而使保持部53下降，通过卷绕悬挂部件53b而使保持部53上升。升降驱动部54被控制装置60等控制，使保持部53以规定的速度下降或者上升。另外，升降驱动部54被控制装置60等控制，将保持部53保持于目标高度。横向伸出机构55例如具有在上下方向重叠配置的可动板。可动板能够向行驶部51的行驶方向的侧方(与行驶方向正交的方向)移动。在可动板安装有转动部和升降驱动部54。主体部52具有引导横向伸出机构55的未图示的引导件、和驱动横向伸出机构55的未图示的驱动部等。横向伸出机构55通过来自电动马达等驱动部的驱动力，使升降驱动部54和保持部53沿着引导件，在突出位置与收纳位置之间移动。突出位置是从主体部52向侧方突出的位置。收纳位置是收纳于主体部52内的位置。转动部具有未图示的转动部件和转动驱动部。转动部件被设置为能够围绕上下方向的轴进行转动。转动部件安装于升降驱动部54或者保持部53。转动驱动部使用电动马达等。浦口区工业真空搬运机推荐厂家！南京真空搬运机哪家有

    真空搬运机械手的选型是根据需要搬运的工件大小、材质、重量来定的，不同的材质需要用不同材质的吸盘。比如工件表面比较粗糙的一般选项用硅胶或者聚胺脂吸盘，另外加上海绵吸盘唇，确保吸盘能安全吸附。对于表面比较光滑的工件如玻璃一般选用天然橡胶或者丁腈胶吸盘。机械手的工作环境的温度，湿度以及工件温度等都会影响的吸盘材质的选择。本实用新型的有益效果是I)操作简易快捷该机械手按照人体工学设计，随作业员的牵引力在上下前后左右三维空间自动帧测运行，减轻工人劳动负荷，操作方便灵活，提高工作效率；2)悬浮性无冲击力及不具有反弹力该机械手主要是依靠真空源在抽空吸盘内部的空气产生真空，可完成工件的无损伤搬运或上料，并确保产品组装时，柔性对接，避免普通起吊设备运行时的冲击性和反弹力，安全吸附，避免工件表面损伤；3)定位精确零重力悬浮状态，保证工件对接时随机移动精确定位。4)安全性高在真空泵断电的情况下，能量储备可以保持负载几个小时，只要吸盘内有适当的真空存在，负载就不会坠落。下面是结合附图和实施例对本实用新型作进一步描述图中是一种新型真空搬运机械手结构示意图。南京真空搬运机哪家有雨花台区包装袋真空搬运机推荐厂家！

    由此在第1、第二保管部20a、20b等的下方，例如能够作为能够供操作人员等通行的通路利用。第1、第二保管部20a、20b沿着装载端口lp在y方向上排列配置多个。第1、第二保管部20a、20b在各个第1、第二保管区域sa1、sa2配置两列。第1、第二保管部20a、20b的各个列相对于装载端口lp的列在x方向对置配置。第1保管部20a配置于相对于第1区段内顶棚轨道11的直线部11a的正下方在x方向错开的位置。第二保管部20b配置于相对于第二区段内顶棚轨道12的直线部12a的正下方在x方向错开的位置。在第1、第二保管区域sa1、sa2中，第1、第二保管部20a、20b在上下方向设置两层。但是，第1、第二保管部20a、20b并不限定于两层，可也以设置一层或者三层以上。另外，第1、第二保管部20a、20b也可以设置于地板面上，来代替从顶棚悬挂。第1交接端口30a设置于第1保管部20a的列。第二交接端口30b设置于第二保管部20b的列。第1、第二交接端口30a、30b具有与第1、第二保管部20a、20b相同的结构，第1、第二保管部20a、20b中的一个或者多个作为第1、第二交接端口30a、30b使用。在本实施方式中。

    搬运系统100也能够应用于除半导体制造领域以外的设备，物品2可以是由用于设置搬运系统100的设备处理的各种物品。在本实施方式中，搬运系统100在配置于第1、第二装置区域ta1、ta2的第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2。第1、第二处理装置tl1、tl2例如是曝光装置、涂布显影装置、制膜装置、或者蚀刻装置等，对收容于搬运系统100所搬运的物品2的半导体晶圆实施各种处理。各第1、第二处理装置tl1、tl2分别具备两处装载端口lp。图2是表示第1、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的一个例子的图。在图2中表示从+x侧观察第1、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的情况的一个例子。如图1和图2所示，第1处理装置tl1在设定于制造工厂等的地板部的第1装置区域ta1内沿一个方向(y方向)排列配置。第二处理装置tl2在第二装置区域ta2内沿一个方向(y方向)排列配置。第1、第二装置区域ta1、tl2分别沿x方向配置多个。沿y方向排列的多个第1、第二处理装置tl1、tl2沿x方向设置多列。此外，多个第1、第二处理装置tl1、tl2的配置是一个例子，也可以是其他配置。另外。溧水区粉尘真空搬运机推荐厂家！

    本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术：在半导体制造工厂等制造工厂中，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应，因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素：本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本，并且分担高架搬运车与起重机的作用，由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备：第1区段内顶棚轨道，其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道。江宁区牛皮袋真空搬运机推荐厂家！苏州室内深加工真空搬运机

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    下垂臂19末端设有真空吸盘21，真空吸盘21下端吸有工件。该机械手利用真空吸附原理，将真空泵或真空鼓风机作为真空源，通过抽空真空吸盘21内的空气产生真空，从而将各种工件牢牢吸起，并通过摆动主臂10、摆动副臂11、旋转臂16、下垂臂19等将工件搬运到指定地点。该真空是由一个外部的真空泵或真空鼓风机产生的，不需要链或绳子吊重机或其它的提升设备来抓取或提起的负载起重。通过检测真空吸盘21内的真空度，能自动识别下垂臂19上有无载荷，并经气动逻辑控制回路自动调整主升降气缸5内的气压，达到自动平衡的目的。工作时，重物犹如悬浮在空中，可避免产品对接时的碰撞，避免工件表面损伤。在机械手的工作范围内，作业员可将其移动到三维空间内任意位置，从而实现工件的搬运、翻转、装配等操作。整机无须电控系统，只需压缩空气和真空源即可工作，非常方便。移动小车2用于更换工位，移动小车2上设有立柱4，立柱4顶端设有主旋转座6，可实现机械手的主旋转运动，并对周围360°范围内的工件进行操作。真空搬运机械手的选型是根据需要搬运的工件大小、材质、重量来定的，不同的材质需要用不同材质的吸盘。比如工件表面比较粗糙的一般选项用硅胶或者聚胺脂吸盘。南京真空搬运机哪家有