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可将被抓取部位的形状分成圆柱形、正方柱形、板形、球形和圆锥形等5种典型表面。各种手指在抓取这5种典型表面时的接触状态是各不相同的,根据这时的接触状态,即可对不同形状和数量的手指及其抓取机能进行分析和比较,以便从中选出合理的指形和手指个数[2]。手指抓取机能与手指、被抓取物件的关系助力机械手控制系统a)设置有元件保护盒,以保护主要精密气动元器件,避免操作时意外撞击及灰尘沉积。气路排布完全按丰田AMS标准执行,方便维修。b)系统配备二联件、单向阀和储气罐,为系统提供持续稳定的压缩空气,当主供气源意外断气时,可提供一定时间的安全保障,并使系统有足够的动力完成本次操作或将工件卸载。助力机械手助力机械手系统安全a)配备有负载显示器,指示负载状态,告知操作者:此时物料是否可被提起或被卸载。当系统处于负载状态时,显示器呈红)配备有负载压力表,指示压缩空气工作状况。c)配备有安全误操作保护装置,防止误动作对人身或设备造成伤害;在操作者未对安装状况进行确认前,即工件未安装到位前,如果工人误操作松开按钮,工件不能被卸载(限于动力夹具)。d)系统配备了失气保护装置,当主供气源意外断气时,主机臂杆不能动作。高淳区室内深加工气动悬臂吊推荐厂家!滨湖区牛皮袋气动悬臂吊原理
所述的伸展电机、所述的一级关节、所述的二级关节和所述的三级关节依次传动,所述的手指固定座始终保持直线运动。上述技术方案中,的,所述的一级关节、所述的二级关节和所述的三级关节的传动比为1:2:1。上述技术方案中,的,所述的伸展电机通过谐波减速机驱动所述一级伸展臂转动。上述技术方案中,的,所述的一级关节上设置有一级同步轮,所述的二级关节上设置有二级同步轮,所述的一级同步轮和所述的二级同步轮通过一级同步带传动连接。上述技术方案中,的,所述的一级伸展臂内还设置有与所述一级同步带相配合的一级张紧轮。上述技术方案中,的,所述的二级关节上设置有三级同步轮,所述的三级关节上设置有四级同步轮,所述的三级同步轮和所述的四级同步轮通过二级同步带传动连接。上述技术方案中,的,所述的二级伸展臂内还设置有与所述二级同步带相配合的二级张紧轮。上述技术方案中,的,所述的手指固定座上设置有插槽,所述的插槽内可拆卸安装晶圆固定装置。上述技术方案中,的,所述的晶圆固定装置包括真空吸盘、气缸机械手。上述技术方案中,的,所述的手指固定座上还设置有扫描传感器。本发明具体为一种用于晶圆搬运的机械手,它是自动晶圆处理设备中组成部分。玄武区糖袋气动悬臂吊原理江宁区牛皮袋气动悬臂吊推荐厂家!
自所述电路基板的法线方向观察时,隔着所述第1电力电路所包含的电子元器件的配置位置在所述第1通孔的相反侧存在所述控制电路所包含的电子元器件的配置位置。由此,能够使自第1电力电路到达电动马达的电流路径远离控制电路。作为理想的技术方案,所述第2线圈布线的所述第2部位自比所述第2电力电路所包含的电子元器件靠近所述电路基板的外周的位置连接于所述第2电力电路。由此,能够使第2线圈布线远离磁传感器,能够抑制因电流在第2线圈布线中流动而产生的磁场对磁传感器造成的影响。作为理想的技术方案,所述电路基板具有与所述第2线圈布线的所述第2部位相连接的第2通孔,自所述电路基板的法线方向观察时,在所述检测电路的配置位置与所述第2通孔之间存在所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置。由此,能够使自第2电力电路到达电动马达的电流路径远离磁传感器。隔着所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置在所述第2通孔的相反侧存在所述控制电路所包含的电子元器件的配置位置。由此,能够使自第2电力电路到达电动马达的电流路径远离控制电路。作为理想的技术方案,还具有配置于所述电路基板的电容器,自所述电路基板的法线方向观察时。
所述的手指固定座33上设置有插槽41,所述的插槽41内可拆卸安装晶圆固定装置4。所述的晶圆固定装置4包括真空吸盘、气缸机械手等。所述的手指固定座33上还设置有扫描传感器42,扫描传感器42包括光纤放大器以及滤光片等光信号探测设备。使用时,升降轴1进行机械手的竖直上升下降工作,旋转轴2进行机械手的水平旋转工作,伸展轴3进行机械手的伸展拿取工作。相比现有的晶圆搬运机械手,本申请中伸展轴3中的一级伸展臂31、二级伸展臂32和手指固定座33联动,一级伸展臂31、二级伸展臂32和手指固定座33之间分别具有传动机构,通过一级关节5、二级关节6和三级关节7之间的一级同步带52和二级同步带64在一级伸展臂31转动的同时,带动二级伸展臂32和手指固定座33不同速率的转动,在升降轴1、旋转轴2和伸展轴3三轴联动的同时让手指固定座33始终保证直线运动,且角度不会发生改变。这种方式不仅简化了整个伸展轴3传动结构,共用一个传动系后不仅提高了运行精度、重复定位精度,又提高了机械手整体刚度和承重能力。本发明的机械手可以通过设定在机械手后方的扫描传感器42,自动扫描片盒中晶片的状态(包括:有,无,重片,斜片),通过数据分析后把结果传送给上位设备控制系统。浦口区包装袋气动悬臂吊推荐厂家!
该多个肋将所述壁部的外周面和所述第1面连结起来。由此,能够提高壁部与散热器之间的连结强度。作为理想的技术方案,所述多个肋沿着所述壁部的周围以等间隔配置。由此,在壁部的周围,能够确保壁部与散热器之间的连结强度不产生偏差。作为理想的技术方案,还具备帽,该帽安装于所述壁部的靠所述电路基板侧的端部,所述帽具有与所述磁体相对的顶板部和对所述顶板部的外周进行支承的缘部,所述顶板部的材料是树脂。由此,从磁体发出的磁通能够透过帽的顶板部,磁传感器能够检测该磁通。不必为了使磁通透过而从壁部的端部拆下帽。因此,在电动驱动装置的组装工序中,不需要拆下帽的工序,能够抑制工序数量的增大。另外,在电路基板安装于散热器而完成了电动驱动装置之后,也能维持帽安装于壁部的端部的状态。由此,能够持续性地抑制异物附着于磁体。作为理想的技术方案,所述壁部具有在所述外周面设置的槽部,所述缘部具有在与所述槽部重叠的位置设置的突起部,所述突起部能卡合于所述槽部。由此,能将帽固定于壁部。作为理想的技术方案,所述壁部与散热器形成为一体。由此,在壁部与散热器之间不存在接合的边界,因此,能够提高壁部与散热器之间的连结强度。雨花台区室内深加工气动悬臂吊推荐厂家!静安区糖袋气动悬臂吊原理
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作为理想的技术方案,还具备设于所述第1隆起部的第1散热材料。由此,能够使由第1电力电路和第2电力电路产生的热更有效地散热。作为理想的技术方案,所述散热器还具有第2隆起部,该第2隆起部与所述控制电路相对且向所述电路基板侧隆起。由此,能够使由控制电路产生的热有效地散热。作为理想的技术方案,还具备设于所述第2隆起部的第2散热材料。由此,能够使由控制电路产生的热更有效地散热。作为理想的技术方案,所述散热器还具有凹部,该凹部与所述电路基板相对且向所述电路基板的相反侧凹陷,在所述凹部收纳被配置于所述电路基板的电容器。由此,与没有凹部的情况相比,能够减小包含配置有电容器的电路基板和散热器在内的构造体的厚度。作为理想的技术方案,还具备配置在所述电动马达与所述散热器之间的适配器,所述第1线圈布线和所述第2线圈布线各自还具有在所述第1部位与所述第2部位之间弯曲的弯曲部,所述弯曲部配置在所述适配器的内侧。由此,能够使第1线圈布线和第2线圈布线在轴的轴向上进一步远离磁传感器。作为理想的技术方案,所述适配器具有突出部,从所述轴的轴向观察时该突出部向所述电动马达的外侧突出,所述弯曲部配置在所述突出部的内侧。滨湖区牛皮袋气动悬臂吊原理
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