广东真空镀膜设备展

【真空镀膜简介】： 真空（vacuum）是一种没有任何物质的空间状态，因为真空之中没有介质，所以像声音这种需要介质传递的能量在真空中是无法传播的。1654年当时的马德堡市zhang奥&托&格里克在今tian德国雷根斯堡进行了一项实验，从而证明了真空是存在的。现在我们所说的真空并不是指空间内没有任何物质，而是指在一个既定的空间内低于一个大气压的气体状态，我们把这种稀薄的状态称为真空。现在的真空镀膜技术是在真空中把金属、合金进行蒸发、溅射使其沉积在目标物体上。 在当今电子行业，很多的电子元器件都要使用真空镀膜工艺，虽然我国的真空镀膜技术起步较晚，但发展的十分迅速。真空镀膜已经成为电子元器件制造的一项不可或缺的技术。目前的真空镀膜技术主要分为：真空蒸镀、磁控溅射镀膜、离子镀。 锦成国泰真空镀膜设备怎么样？广东真空镀膜设备展

【光学镀膜的目的】： &反射率的提高或透射率的降低 &反射率的降低或透射率的提高 &分光作用：中性分光、变色分光、偏极光分光 &光谱带通、带止及长波通或短波通之滤光作用 &相位改变 &液晶显示功能之影显 &色光显示、色光反射、伪chao及有价证券之防止 &光波的引导、光开关及集体光路 a. 在膜层中，波的干涉结果，如R%, T%都是与膜质本身和两边界边的折射率率有关系，相位变化也是如此。 b. 由于干涉作用造成的反射率有时升高，有时反而降低，都要视磨蹭的折射率高于或低于基板折射率而定。若Nf>Ns,则反射率会提高（Ns为基底），若Nf

【光谱分光不良的补救（补色）之机器故障和人为中断】： 分光不良分为二种情况：一是全部膜系镀制完成后，经测试分光不良，此类不良主要按六节所述方法处理，一般减反膜难以补救。但对于高反膜、带通滤光膜等可以通过加层的方法补救。二是镀制中途中断（包括发现错误中断）造成的分光不良，一般都可以通过后续努力补救。后续方法正确，补救成功率比较高。 中断的原因形式之机器故障和人为中断： 模拟：根据已经实镀的镜片（测试比较片）实测分光数据输入计算机膜系设计程序的优化目标值，再根据已经掌握的膜系信息输入，采用倒推法逐层优化，模拟出实际镀制的膜系数据。 *测试比较片是指随镜片一起镀制（在伞片上、与镜片同折射率），用于测试镀后分光曲线的平片。 优化：再锁定通过模拟得到的膜系数据，通过后续层膜厚优化找到实现目标的Zui佳方案。 试镀：根据新优化的后续膜层数据，试镀若干镜片或测试片，确认补色膜系的可行性。 补色镀：对试镀情况确认后实施补色镀。补色镀前，确认基片是否洁净，防止产生其他不良。

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜内白雾】： 白雾形成在膜内，无法用擦拭方法去除。 可能成因： 1. 基片脏 2. 镜片表面腐蚀污染 3. 膜料与膜料之间、膜料与基片之间的匹配 4. 氧化物充氧不够 5. 第yi层氧化锆膜料，可能对某些基片产生白晕现象 6. 基片进罩前（洗净后）受潮气污染 7. 洗净或擦拭不良，洗净痕迹，擦拭痕迹 8. 真空室脏、水汽过重 9. 环境湿度大 改善对策：基片本身的问题可能时主要的镀膜室尽量弥补，镀膜本身Zui大的可能室膜料匹配问题。 1. 改进膜系，第yi层不用氧化锆 2. 尽量减少真空室开门时间 3. 真空室在更换护板、清洁后，Zui好能空罩抽真空烘烤一下，更换的护板等真空室部件必须干燥、干净 4. 改善环境 5. 妥善保护进罩前在伞片上的镜片，免受污染 6. 改善洗净、擦拭效果 7. 改善膜匹配（考虑第yi层用Al2O3） 8. 改善膜充氧和蒸发速率（降低） 9. 加快前工程的流程。前工程对已加工光面的保护加强。 10. 抛光加工完成的光面，必须立即清洁干净，不能有抛光粉或其他杂质附着干结。 真空镀膜设备培训资料。

【真空镀膜设备的分类】： 这个问题如果在十年之前，其实是很容易回答的，就是两个大类，物理沉积设备和化学沉积设备。现在这样回答也是没错的，但现在再这样回答就没办法把事情说清楚了，所以从应用领域上可以分成以下几类： 传统光学器件（镜片，滤光片）所用的镀膜设备：单腔体或多腔体蒸发式镀膜设备，溅射式镀膜设备。 新材料领域的柔性设备：卷对卷柔性镀膜设备。 光通讯行业：离子束溅射镀膜设备。 半导体及相似工艺：化学气相沉积设备。 功能膜：多弧离子镀设备，溅射设备，蒸发设备 玻璃工艺：溅射式连续线 其余的就得归到“工艺定制设备”这个范围里面了，例如车灯镀膜设备，太阳能的共蒸发设备，光纤镀膜设备，太阳能管设备等等 真空镀膜设备参数怎么调？广东真空镀膜设备展

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【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜外自雾】： 现象：镀膜完成后，表面有一些淡淡的白雾，用丙tong或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象。用氧化铈粉擦拭，可以擦掉或减轻。 可能成因有： 1. 膜结构问题，外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙 2. 蒸发角过大，膜结构粗糙 3. 温差：镜片出罩时内外温差过大 4. 潮气：镜片出罩后摆放环境的潮气 5. 真空室内POLYCOLD解冻时水汽过重 6. 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀。 7. 膜与膜之间的应力 改善思路：膜外白雾成因很多但各有特征，尽量对症下药。主要思路，一是把膜做的致密光滑些不容易吸附，二是改善环境减少吸附的对象。 改善对策： 1. 改善膜系，外层加二氧化硅，使膜表面光滑，不易吸附。 2. 降低出罩时的镜片温度 3. 改善充氧（加大），改善膜结构 4. 适当降低蒸发速率，改善柱状结构 5. 离子辅助镀膜，改善膜结构 6. 加上Polycold解冻时的小充气阀 7. 从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发角 8. 改善基片表面粗糙度 9. 注意Polycold解冻时的真空度。 广东真空镀膜设备展

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