广州工厂真空泵设备厂家

真空泵使用注意事项，1、此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件(因为工作时很热，温度可能达到70℃)。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。2、在进气口处装截止阀。真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装截止阀。3、真空泵用于抽洁净气体，不能抽有毒、易燃、易爆、腐蚀性气体或者蒸汽、化学品、溶剂及粉末等。如、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。这些气体容易使轴承失效。扩散泵抽速在很宽的压强范围内保持不变，但在压强较高或很低时，抽速下降很快。广州工厂真空泵设备厂家

在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按顺时针旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的上部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的下部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的上部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。广州工厂真空泵设备厂家锆铝吸气泵的工作条件，压强低于10-3Pa时，抽活性气体的工作温度为400 ℃。

单级单作用液环泵单级是指只有一个叶轮，单作用是指叶轮每旋转一周，吸气、排气各进行一次。这种泵的极限真空较高，但抽速和效率较低。 单级双作用液环泵单级是指只有一个叶轮，双作用是指叶轮每旋转一周，吸气、排气各进行二次。在相同的抽速条件下，双作用液环泵比单作用液环泵很好地减少尺寸和重量。由于工作腔对称分布于泵轮毂两侧，改善了作用在转子上的载荷。此种泵的抽速较大，效率也较高。双级液环泵大多是单作用泵串联而成。实质上是两个单级单作用的液环泵的叶轮共用一根心轴联接而成。它的主要特点是在较高真空度下，仍然具有较大的抽速，而且工作状况稳定。大气液环泵实际是大气喷射器串联液环泵的机组。液环泵前面串联大气泵是为了提高极限真空，扩大泵的使用范围。

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩 复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速单为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足工艺要求。

低温吸附泵：利用低温表面上的吸附剂和打在其上的气体分子发生吸附以达到抽气作用的泵。按吸附剂不同，分为三类：1.非金属吸气剂：活性炭、分子筛等位吸附剂，2.金属吸附剂：以蒸发或升华在冷表面上的钛、锆、钼等金属或合金作为吸气剂，3.气体霜的捕集吸气：以CO2、水蒸气等易冷凝的气体在低温表面上成霜作为吸附剂，这些气体成霜的同时，将不易冷凝的气体一起埋葬或吸附抽除，低温泵抽混合气体比单一气体效果好，实际使用的是将冷凝和吸附结合，构成冷凝吸附泵而获得极高真空。每日检查泵的润滑油颜色、油位，若润滑油变脏、乳化、变稀要及时排查原因，更换新油。广州工厂真空泵设备厂家

真空泵的使用是需要注意的。广州工厂真空泵设备厂家

水环真空泵，开泵前要进行手动盘车； 进水温度不能太高，比较好不要超过30℃；工作水硬度尽可能小，否则泵内容易结垢；水环真空泵的排气管路不能安装阀门，以免误操作让泵出口带压运行；水环真空泵出口排水管路尽可能低（距泵中心高度不超过一米），防止工作水不能顺畅排放，影响泵的性能；水环泵使用真空要避开气蚀条件，否则会影响泵的寿命；水环真空泵的供水管路要加装手动阀，调节泵的供水大小；停泵前先关供水阀，让泵内过多的工作水排出；泵的入口加装单向阀或其它类似阀门，防止停泵时工作水倒灌入系统中；在结冰的环境中使用时，停泵后将泵内工作水排放彻底，以防结冰冻裂真空泵。广州工厂真空泵设备厂家

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