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    所述的手指固定座33上设置有插槽41，所述的插槽41内可拆卸安装晶圆固定装置4。所述的晶圆固定装置4包括真空吸盘、气缸机械手等。所述的手指固定座33上还设置有扫描传感器42，扫描传感器42包括光纤放大器以及滤光片等光信号探测设备。使用时，升降轴1进行机械手的竖直上升下降工作，旋转轴2进行机械手的水平旋转工作，伸展轴3进行机械手的伸展拿取工作。相比现有的晶圆搬运机械手，本申请中伸展轴3中的一级伸展臂31、二级伸展臂32和手指固定座33联动，一级伸展臂31、二级伸展臂32和手指固定座33之间分别具有传动机构，通过一级关节5、二级关节6和三级关节7之间的一级同步带52和二级同步带64在一级伸展臂31转动的同时，带动二级伸展臂32和手指固定座33不同速率的转动，在升降轴1、旋转轴2和伸展轴3三轴联动的同时让手指固定座33始终保证直线运动，且角度不会发生改变。这种方式不仅简化了整个伸展轴3传动结构，共用一个传动系后不仅提高了运行精度、重复定位精度，又提高了机械手整体刚度和承重能力。本发明的机械手可以通过设定在机械手后方的扫描传感器42，自动扫描片盒中晶片的状态（包括：有，无，重片，斜片），通过数据分析后把结果传送给上位设备控制系统。雨花台区室内深加工气动悬臂吊推荐厂家！宝山区粉尘气动悬臂吊哪家的好

    从而使助力装置能够适应不同高度的舱壁助力扶手。开关结构203设置在外调节杆202靠近开口端的相对的两个侧壁上。图7和图8分别示出了根据本发明第1种实施方式的开关机构锁定状态和未锁定状态的剖视图。结合图7和图8，开关结构203对称设置在外调节杆202上下两个侧壁上，因此以下只以上侧的开关结构203为例说明该结构的具体组成。开关结构203包括壳体2031、锁定销2032、凸轮手柄2033和弹性件2034。壳体2031包括主体2031a和盖板2031b。主体2031a与外调节杆202一体成型，从外调节杆202侧壁向远处延伸形成立方体凸台。盖板2031b为平板，通过螺钉固定设置在主体2031a顶部。主体2031a与盖板2031b中心均设有通孔，但主体2031a中的通孔尺寸较大。锁定销2032为圆柱形销子类结构，包括两部分，分别为直径较小的安装端2032a和直径较大的插销端2032b。其中插销端2032b位于主体2031a的通孔中，并可在其中上下移动。而安装端2032a从插销端2032b顶部向上延伸穿过盖板2031b的通孔。凸轮手柄2033为一个板件，其在图7中右端的厚度较大，使得凸轮手柄2033形成一个左端为薄板，右端为块体的结构。并且凸轮手柄2033左端薄板远离块体的一端宽度较大，便于航天员转动凸轮手柄2033。江宁区室内深加工气动悬臂吊六合区包装袋气动悬臂吊推荐厂家！

    能够使第1线圈布线和第2线圈布线在与轴的轴向交叉的方向上进一步远离磁传感器。作为理想的技术方案，所述散热器具有凹部和凸部中的一者，所述适配器具有所述凹部和所述凸部中的另一者，所述凸部能嵌入所述凹部。由此，能够将适配器相对于散热器定位。作为理想的技术方案，还具备配置于所述凹部的第1粘接剂，利用所述第1粘接剂将所述散热器和所述适配器粘接起来。由此，能够确保适配器不脱离散热器。作为理想的技术方案，还具备：盖体，其覆盖所述电路基板；以及快速装配机构，其将所述盖体固定于所述散热器，所述快速装配机构的卡定部和被卡定部中的一者设于所述盖体的外周部，所述卡定部和所述被卡定部中的另一者设于所述散热器的外周部。由此，能够将盖体和散热器容易地固定在一起。作为理想的技术方案，还具备设于所述盖体的阀，所述盖体和所述散热器构成收纳所述电路基板的收纳体，所述阀根据所述收纳体的内部与外部的压力差进行开闭。由此，能够减小温度变化所导致的收纳体内部的压力变化。作为理想的技术方案，所述散热器具有在所述散热器的外周部设置的槽部，所述盖体的外周部能嵌合于所述槽部。由此，能够将盖体相对于散热器定位。

绞索600通过上述螺栓旋紧的方式两端分别连接于塔架100和滑道，当然因为绞索600的拉力要克服滑道的重力，绞索600与塔架100的连接点应高于绞索600与滑道的连接点。铰接组件130包括：铰轴133、第1接头部131和第二接头部132，第1接头部131和第二接头部132同轴铰接于铰轴133。第1滑道200的底端和第二滑道300的顶端分别安装于第1接头部131和第二接头部132，借助第1接头部131与第二接头部132的铰接关系，可带动第1滑道200和第二滑道300进行倾角的调整。并且所属领域技术人员应当注意，因为滑道的角度调整问题，在设计第1滑道200和第二滑道300对接点时，应当考虑滑道的侧壁不能因滑道的角度调整而出现缝隙，也不能阻碍滑道的角度调整。对此，本实施例采用一种结构简单的对接方法，使第二滑道300的内径略微大于第1滑道200的内径，让第1滑道200的下端头搭接于第二滑道300上端头内。此外为了满足食品安全要求，对第1滑道200和第二滑道300以及塔架100的材料采用316l，同时对铰接组件130采用满足食品卫生标准的润滑油。通过铰接组件130对第1滑道200和第二滑道300进行连接，采用绞索600的拉力固定滑道的位置，可控制绞索的长度110进而控制滑道的倾角。溧水区米袋气动悬臂吊推荐厂家！

    本发明涉及一种半导体制造技术，尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。背景技术：在半导体加工设备中，经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送，在传送的过程中，传送精度越高，设备工艺一致性就越好，速度越快，单台设备的产能就越大。随着半导体工艺的发展，设备处理的工艺越来越复杂，对设备自动化程度、柔性化程度要求也越来越高，这就需要一种定位精度高，速度快的多自由度的机械手。技术实现要素：本发明针对现有技术中的不足，提供了一种晶圆搬运机械手，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。为了解决上述技术问题，本发明通过下述技术方案得以解决：一种晶圆搬运机械手，包括升降轴、旋转轴和伸展轴，其特征为，所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座，所述的一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节，所述的一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节，所述的二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节。溧水区室内深加工气动悬臂吊推荐厂家！江宁区室内深加工气动悬臂吊

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    所述壁部与散热器形成为一体。由此，在壁部与散热器之间不存在接合的边界，因此，能够提高壁部与散热器之间的连结强度。另外，壁部的材料与散热器相同，例如是金属。若壁部的材料为金属，则在壁部的环的内侧与外侧之间能够屏蔽磁场。作为理想的技术方案，所述散热器具有设于所述第1面的凹部，所述壁部能嵌入所述凹部。由此，能够分开制造散热器和壁部。作为理想的技术方案，还具备设于所述壁部的内周面的磁屏蔽层。由此，即使壁部由树脂制成，在壁部的环的内侧与外侧之间也能够屏蔽磁场。再一技术方案的电动驱动装置具备：电动马达，其包含轴、与所述轴连动的马达转子、具有使所述马达转子旋转的定子芯的马达定子、每3相至少分成第1线圈组和第2线圈组这两个系统且用3相交流电对所述定子芯进行励磁的多个线圈组、以及在内侧收纳所述马达转子、所述马达定子和所述多个线圈组的筒状的壳体；电子控制装置，其是为了对所述电动马达进行驱动控制而设置的。包含设于所述轴的靠负载相反侧的端部的磁体、位于所述轴的负载相反侧且配置在所述轴的轴向的延长线上的电路基板、覆盖所述电路基板的盖体、以及与所述电路基板相连接的连接器；第1线圈布线。宝山区粉尘气动悬臂吊哪家的好

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