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    本发明涉及一种半导体制造技术，尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。背景技术：在半导体加工设备中，经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送，在传送的过程中，传送精度越高，设备工艺一致性就越好，速度越快，单台设备的产能就越大。随着半导体工艺的发展，设备处理的工艺越来越复杂，对设备自动化程度、柔性化程度要求也越来越高，这就需要一种定位精度高，速度快的多自由度的机械手。技术实现要素：本发明针对现有技术中的不足，提供了一种晶圆搬运机械手，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。为了解决上述技术问题，本发明通过下述技术方案得以解决：一种晶圆搬运机械手，包括升降轴、旋转轴和伸展轴，其特征为，所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座，所述的一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节，所述的一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节，所述的二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节。雨花台区多功能气动悬臂吊推荐厂家！包装袋气动悬臂吊有几种

    隔着所述电容器的配置位置在所述第1电力电路或所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置的相反侧存在所述检测电路的配置位置。由此，能够进一步增大第1电力电路与磁传感器之间的间隔距离、或第2电力电路与磁传感器之间的间隔距离。作为理想的技术方案，自所述电路基板的法线方向观察时，隔着经过所述电路基板的中心的直线在所述第1电力电路或所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置的相反侧存在所述检测电路的配置位置。由此，能够进一步增大第1电力电路与磁传感器之间的间隔距离、或第2电力电路与磁传感器之间的间隔距离。作为理想的技术方案，自所述轴的轴向观察时，在所述电动马达的外侧配置有所述连接器。由此，能够使连接器远离磁传感器，能够抑制因电流在连接器中流动而产生的磁场对磁传感器造成的影响。作为理想的技术方案，还具备对所述电路基板进行支承的散热器。所述盖体安装于所述散热器。由此，能够使由电路基板产生的热高效地散热。作为理想的技术方案，所述散热器还具有第1隆起部，该第1隆起部与所述第1电力电路和所述第2电力电路中的至少一者相对且向所述电路基板侧隆起。由此，能够使由第1电力电路和第2电力电路产生的热有效地散热。宜兴牛皮袋气动悬臂吊原理溧水区米袋气动悬臂吊推荐厂家！

    而锁定销2032的安装端2032a则铰接在凸轮手柄2033较厚的一端的块体上，但铰接点应靠近薄板与块体的连接点处。如此，在转动凸轮手柄2033时，锁定销2032可随之做上下的直线移动。弹性件2034为弹簧，其套设在锁定销2032的安装端2032a上。如图7所示，开关结构203在锁定状态下，上下两个锁定销2032的插销端2032b分别穿过内调节杆201的其中两个相对的固定孔2011。而凸轮手柄2033平行于外调节杆202支承在盖板2031上。此时外调节杆202不能移动。解锁时，航天员顺时针转动凸轮手柄2033，此时，锁定销2032向上移动，弹性件2043压紧。当凸轮手柄2033转动90°后，如图8所示，锁定销2032的插销端2032b完全脱离内调节杆201的固定孔2011，完成解锁。此时，由于图8中凸轮手柄2033的块体底面为与凸轮手柄2033左侧面垂直的平面，因此解锁后凸轮手柄2033可稳定的支承在盖板2031b上。当再次锁定时，航天员只需逆时针拨动凸轮手柄2033，弹性件2033靠弹力将锁定销2032自动顶回内调节杆201上的固定孔2011中，凸轮手柄2033也随之转回到平行于外调节杆202的位置。图9是示意性表示根据本发明第1种实施方式的末端助力机构的立体图。如图9所示，末端助力机构3包括末端扶手301和连杆302。

    可在其中自由转动。由此，万向球头接头结构4也形成一个类似关节的结构。图10是示意性表示根据本发明第1种实施方式的具有锁定功能的万向球头接头结构的剖视图。如图10所示，锁紧件403包括锁紧手柄4031和弧形压板4032。锁紧手柄4031有两个根杆组成，其中第1杆垂直连接在第二杆中部，使得锁紧手柄4031形成“t”型结构。弧形板4032位于第1杆远离第二杆的一端，其弧度适应于球头401的表面。第1杆设有与弧形槽402上的螺纹孔配合的外螺纹。由此，通过转动第二杆，可以使锁紧件403向弧形槽402内部或外部移动。而弧形槽402的两个螺纹孔中各设有一个锁紧件403。弧形槽402内部靠近防滑手柄101与其的连接处的位置还设有向着防滑手柄101延伸的圆柱形槽。阻尼件404设置在其中，而阻尼件404的外部还套设有一个弹簧405。由此，在空间失重环境下，长度调整机构2转动带动球头401转动，到位后可依靠阻尼件404和球头401之间的摩擦力立刻停止，在此过程中，弹簧405也起到压紧球头401的作用。在转动到位后，航天员可转动两个锁紧手柄4031使得两个弧形板4032从球头401相对的两侧压紧球头401，完成锁紧，使球头401不能再转动。以上所述只为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明。溧水区室内深加工气动悬臂吊推荐厂家！

    本发明涉及具有对电动马达的旋转进行控制的电子控制装置的电动驱动装置和电动助力转向装置。背景技术：利用电动马达产生辅助转向扭矩的电动助力转向装置具备作为对电动马达进行控制的装置的电子控制装置。例如，在专利文献1中，记载有能够将电子元器件高密度地安装于基板的驱动装置。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2016－34204号公报技术实现要素：发明要解决的问题在专利文献1的驱动装置中，构成第1逆变器部的开关元件和构成第2逆变器部的开关元件相对于马达的轴中心对称地配置。构成第1逆变器部的开关元件和构成第2逆变器部的开关元件是驱动装置所具有的电子元器件中发热量较大的发热元件。另外，在马达的轴中心配置有旋转角传感器。在旋转角传感器的两侧具有发热元件，因此存在旋转角传感器被自两侧加热的可能性。本发明是鉴于上述课题而做出的，其目的在于，提供能够抑制磁传感器的温度上升的电动驱动装置和电动助力转向装置。用于解决问题的方案为了实现上述目的，一技术方案的电动驱动装置具备：电动马达。溧水区牛皮袋气动悬臂吊推荐厂家！宜兴牛皮袋气动悬臂吊原理

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