北京西南真空镀膜设备

【真空镀膜设备之真空的获得】： 真空泵：真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。 按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广fan用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。 A、粗真空泵（Rough Vacuum Pump）：一般用于抽粗真空，有油泵和 干泵。从结构上可分几种： 旋转叶片泵：油泵，极限真空可达10&3Torr，抽速1~650CFM 隔膜泵：干泵，极限真空1Torr左右，抽速<10CFM 往复式活塞泵：干泵，极限真空10&2Torr，抽速6~32CFM 涡旋式真空泵：干泵，极限真空10&2Torr，抽速12~25CFM 螺旋泵：干泵，极限真空10&3Torr，抽速30~318CFM 真空镀膜设备哪个牌子的好？北京西南真空镀膜设备

【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之单片膜色不均匀】： 原因：主要是由于基片凹凸严重，与伞片曲率差异较大，基片上部、或下部法线与蒸发源构成的蒸发角差异较大。造成一片镜片上各部位接受膜料的条件差异大，形成的膜厚差异大。另外镜片被镜圈（碟片）边缘部遮挡、镜圈（碟片）脏在蒸镀时污染镜片等也会造成膜色差异问题。 改善对策：改善镜片边缘的蒸发角 1. 条件许可，用行星夹具 2. 选用伞片平坦（R大）的机台 3. 根据伞片孔位分布，基片形状，制作专门的锯齿形修正板。 4. 如果有可能，把蒸发源往真空室中间移动，也可改善单片的膜色均匀性。 5. 改善镜圈（碟片），防止遮挡。 6. 注意旋转伞架的相应部位对边缘镜片的部分遮挡 7. 清洁镜圈（碟片） 8. 改善膜料蒸发状况。北京西南真空镀膜设备电子束蒸发真空镀膜设备是什么？

【真空镀膜真空的基本概念】： 真空的划分： 粗真空 760Torr~10E&3Torr 高真空 10E&4Torr~10E&8Torr 超高真空 10E&9~10E&12 Torr 极高真空 <10E&12Torr 流导（导通量）：表示真空管道通过气体的能力，单位为升/秒（L/S）。一般情况下，管道越短，直径越大，表面越光滑，越直的管道流导也越大。 流量：单位时间内流过任意截面的气体量，单位为Torr·L/s或Pa·L/s。 抽气速率：在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。单位一般为L/S或m3/hr或CFM。 极限真空：真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。

【真空镀膜改善薄膜应力】： 1. 镀后烘烤，Zui后一层膜镀完后，烘烤不要马上停止，延续10分钟“回火”。让膜层结构趋于稳定。 2. 降温时间适当延长，退火时效。减少由于真空室内外温差过大带来的热应力。 3. 对高反膜、滤光膜等在蒸镀过程中，基片温度不宜过高，高温易产生热应力。并且对氧化钛、氧化钽等膜料的光学稳定性有负面影响。 4. 镀膜过程离子辅助，减少应力。 5. 选择合适的膜系匹配，第yi层膜料与基片匹配。 6. 适当减小蒸发速率。 7. 对氧化物膜料全部充氧反应镀，根据不同膜料控制氧进气量。 真空镀膜设备抽真空步骤。

【真空镀膜电阻加热蒸发法】： 电阻加热蒸发法就是采用钨、钼等高熔点金属，做成适当形状的蒸发源，其上装入待蒸发材料，让电流通过，对蒸发材料进行直接加热蒸发，或者把待蒸发材料放入坩锅中进行间接加热蒸发。利用电阻加热器加热蒸发的镀膜设备构造简单、造价便宜、使用可靠，可用于熔点不太高的材料的蒸发镀膜，尤其适用于对膜层质量要求不太高的大批量的生产中。目前在镀铝制品的生产中仍然大量使用着电阻加热蒸发的工艺。电阻加热方式的缺点是：加热所能达到的Zui高温度有限，加热器的寿命也较短。近年来，为了提高加热器的寿命，国内外已采用寿命较长的氮化硼合成的导电陶瓷材料作为加热器。 蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。北京西南真空镀膜设备

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【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之划痕（膜伤）】： 划痕是指膜面内外有道子，膜内的称划痕，膜外的称膜伤。这也是镀膜品质改善中的一个顽症，虽然很清楚产生的原因和改善方法，但难以根治。 产生原因： 膜内划痕： 1. 前工程外观不良残留。 2. 各操作过程中的作业过水造成镜片划痕 3. 镜片摆放太密，搬运过程中造成互相磕碰 4. 镜片的摆放器具、包装材料造成镜片表面擦伤 5. 超声波清洗造成的伤痕 膜外伤痕(膜伤)： 1. 镜片的摆放器具、包装材料造成的膜伤。 2. 镀后超声波清洗造成的膜伤。 3. 各作业过程作业过失造成的膜伤。 改善对策： 1. 强化作业员作业规范 2. 订立作业过失清单，监督作业员避免作业过失 3. 改善镜片摆放间隔 4. 改善镜片搬运方法 5. 改善摆放器具、包装材料 6. 改善超声波清洗工艺参数 7. 加强前工程检验和镀前检查 北京西南真空镀膜设备

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