天津离子束溅射光学镀膜设备

【光学镀膜在手机领域中的应用】在手机领域中除了成像品质外，镜头的透过率对提升图像品质起着非常重要的作用。目前手机行业通常采用树脂作为镜片基材，为了减少镜片反射，提升透过率，我们会在镜片表面镀AR增透膜（减反膜），它是一种硬质耐热氧化膜，可在特定波长范围内将元器件表面的反射率*小化。未镀膜的情况下，光学元件每个表面由于反射会产生约4%的能量损耗(图一)。如果3个未镀膜的透镜组合使用，则在6个表面都会发生反射，实验测得，光通过透镜组后共损耗21.7%的能量。如果存在AR增透膜每个表面的反射率将小于0.5%(图二)，因此镀增透膜可使该光学系统的透过率从78.3%提高至97%。通常情况下一层膜只对某一波段光线起作用，为了提升宽波段下镜片透过率，手机镜头AR膜一般包含多个膜层，以材料折射率高低相间隔分布，通过建模软件，每一层膜的厚度都被优化，就可以改善光学元件在特定波长范围内的性能。从膜系层数而言，我们一般设定为1到8层，较多的膜层数能优化宽光谱波段范围内的反射率，减弱光学系统内由于光线反射引起的鬼影。光学镀膜设备的工作原理。天津离子束溅射光学镀膜设备

【镀膜玻璃的主要产生法之化学沉积法】化学气相沉积(chemical vapour deposition, CVD) 是把含有构成薄膜元素的一种或几种化合物或单质气体，供给基板，利用气相反应，在基板表面上反应沉积出所需固体薄膜的工艺技术，该技术已成为镀膜玻璃生产的主要制备技术。 在线CVD法镀膜技术，是在浮法玻璃生产过程中，连续沉积化合物薄膜的CVD工艺技术，是目前世界上比较先进的镀膜玻璃生产技术。它是以洁净、高速牵引(8-15m/min)、高温(600℃)的浮法玻璃为沉积衬底。换言之，薄膜沉积前，玻璃衬底即将离开锡槽但尚未进人退火窑，且未被处理净化。国外*早采用在线CVD法连续沉积Sn02薄膜，而我国*早是用该法生产硅质镀膜玻璃。目前，我国已基本掌握了在线CVD法镀膜技术，能够稳定地生产硅质镀膜玻璃、在线Low-E玻璃和在线自洁净玻璃。在线镀膜玻璃生产线包括：原料→熔窑→锡槽→退火窑→切割→装箱。 天津离子束溅射光学镀膜设备光学镀膜设备真空度多少？

【镀膜玻璃的主要产生法之固体喷涂法】喷涂镀膜技术是将一种或多种反应气体或有机金属盐化合物溶液的雾化颗粒或有机金属盐粉末喷涂于热玻璃表面而热分解成膜的工艺方法。固体粉末喷涂法*初是由美国Ford汽车公司于20世纪80年代初应用于浮法生产线上的一种镀膜方法。 固体粉末喷涂法的镀膜区一般设置在浮法玻璃生产线的过渡辗台之后、退火窑之前的位置，也就是我们通常所说的退火窑A0区。其基本原理是将一种或多种组分的有机金属盐粉末，借助压缩气载体通过特制喷枪喷涂于热玻璃表面，利用有机金属盐的高温热分解，在玻璃表面形成一层金属氧化物薄膜，反应废气、未反应的固体粉末以及参与反应但并未在玻璃表面成膜的物质经收尘设备及时排出窑外，以保持玻璃表面和窑内的清洁。镀膜机组设备主要由伺服往复式自动喷涂机、送料机、振动喂料机、收尘系统构成。其中，伺服往复式自动喷涂机上安装有喷枪，喷枪是将固体粉料喷涂于热玻璃表面而成膜的重要装置，其喷枪结构、重量、喷涂角度等因素对喷涂效果能够产生很大影响。

【如何改善光谱特性不良】工作现场所用膜料、芯片、硝材生产厂家、型号一旦确认不要经常变更,必须变更的应该多次确认。杜绝、避兔作业过失的发生。强每罩镜片的分光测试监控,设置警戒分光曲线,及时调整膜系。测试比较片管理加强,确保进軍镀膜的测试比较片表面无污染、新鮮、外观达到规定要求。在使用前,对比较片作一次测试,测定其反射率(只测一个波长点就可以)测定值与理论之比较・一般测定值小于理论值(虜蚀层影响),如果二值之间差异较大(比如大于1%)就应该考虑对比较片再复新、或更换。镜片的分光测试要在基片完全冷却后进行。掌握晶控片敏感度变化规律,及时修正控制数据。晶控片在新的时候与使用了若干罩后的感度是不完全一样的,芯片的声阻抗值会有微小变化。有些品控仪(如C5)可以设置自动修正,而大部分品控仪没有自动修正声阻抗值的功能。掌握了品片敏感度的规律可以在膜原设置上矫正。改善晶控探头的冷却效果,晶片在温度大于50C时,测量误差较大。采用离子辅助镀膜的工艺,可以提高成膜分光特件的稳定性。检讨该膜系在该机台的光控适用性。检讨光控中的人为影响。经常检查光控的光路、信号、测试片等。光学镀膜设备使用时，需要注意哪些问题?

【光谱分光不良的具体情况】分光不良分为二种情況:一是全部膜系镀制完成后,经測试分光不良,此类不良主要按六节所述方法处理,一般减反膜难以补救。但对于高反膜、带通光膜等可以通过加层的方法补救。二是镀制中途中断(包括发现错误中断)造成的分光不良,一般都可以通过后续努力补救。后方法正确,补救的成功率比较高中断的原因形式不一： ①停电 ②机器故障 ③人为中断(发现错误、疑问后中断) 中断后信息： （一）知道镀到第几层,已镀各层的膜厚； （二）知道到第几层,*后一层膜的膜厚不确定； （三）不知道镀了多少。 光学镀膜设备品牌排行。天津离子束溅射光学镀膜设备

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【如何改善由于设计膜系导致的光谱特性不良】膜系设计时的膜厚、折射率允差太小，试制时的分光曲线在技术要求的边缘，制造中稍有偏差就导致分光不良。膜系设计中选用膜料的折射率应与使用膜料使用机台吻合。膜系设计尽量考虑厚度与折射率允差(各层的厚度及折射率允许偏差1%-2%)，特別是敏感层，要有一定的允差(1%)。控制厚度与实际测试厚度的" tooling"值，要准确,并经常确认调整。设计的技术要求必须高于图纸提出的技术要求，设计时考虑基片变异层折射率变化带来的影响，设计时考虑膜料的折射率変化及膜料之间、膜料与基片之间的匹配。天津离子束溅射光学镀膜设备

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