宁波移动式氦质谱检漏仪厂家

氦质谱检漏仪可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。5.检漏范围宽：现今生产的检漏仪，质量范围很宽，不但可检测氦气，而且能检测其它气体。在获得氦气信号值的基础上，通过标准的泄漏量比较，可以得到氦气的泄漏量。氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器。氦气喷射法和氦气吸收法是电阻炉氦质谱检漏仪常用的两种检漏方法。氦质谱检漏仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较普遍的检漏仪器。氦质谱检漏仪的优点有便携性、高压强下检漏、高度自动化、完全无油的干式检漏。宁波移动式氦质谱检漏仪厂家

氦质谱检漏仪的结构解析：真空系统，真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度较高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。辅助真空系统的配置，在氦质谱仪检漏技术中，根据被检件的结构，尺寸要求和具体的检漏条件，设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、进行的气体分流、缩短反应时间和清理时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统，在某些条件下是非常必要的。安徽推车式氦质谱检漏仪原理氦质谱检漏仪灵敏度降低应该如何维护？

氦质谱检漏仪常用的检漏方法：1、喷氦法，这是比较常用的一种方法，一般用于检测体积相对较小的部件，将被检器件和仪器连通，在抽好真空后，在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头，焊缝等)喷氦，如果被检器件某处有漏孔，当氦喷到漏孔上时，氦气立即会被吸入到真空系统，从而扩散到质谱室中，氦质谱检漏仪的输出就会立即有响应。2、吸氦法，吸氦法主要用于检查某些大型密封容器。如导弹弹体、弹头、气罐、油罐等，先将容器抽真空，再给容器充入氦气(为了节省用氦量，可以用低浓度氦气)，在氦质谱检漏仪的进气法兰处接上橡皮管，橡皮管的前端有直径很小的毛细管，使毛细管在充了氦的被检容器外壁的焊缝和密封接头等处移动，如果该容器有漏隙，经漏隙渗出的氦会被毛细管吸入，检漏仪就会响应。

氦质谱法检漏方法可分为真空法、正压法、真空压力法和反压法。灵敏度、反应时间、消除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。氦质谱检漏仪的灵敏度，通常指仪器的可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于较佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的漏孔漏率。所谓“较佳工作条件”是指仪器参数调整到合适的值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。选择氦质谱检漏仪时灵敏度要能满足检漏的要求，国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的。

氦质谱检漏仪开机步骤：1、将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”，灯亮，扩散泵开始加热。3、等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，戴表压强的质谱室表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀，过几分钟后开冷规，表头指针应从左打向右，再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规，可等一会儿再开)，当真空示值超过1×10-2Pa后，可启动灯丝，灯亮，“发射电流”有指示，开、关漏孔检查氦质谱检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda)，灵敏度达要求后关漏孔。5、将工件用外接泵抽上真空后，开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间，对被检件喷氦检漏。检漏完毕。氦质谱仪检漏仪通常用于电子组件的背压检测。池州自动氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪测试高纯气体管道的方法有哪些？宁波移动式氦质谱检漏仪厂家

氦质谱检漏仪适用于元件精确检漏的要求，灵活性测试，高灵敏度，快速于精确的结果，快速启动，移动性和系统的可靠性。常见的氦质谱检漏仪检测仪方法有漏点型、漏率型两种。氦质谱检漏方法是基于氦质谱检漏仪的氦分压测量原理。当样品的密封面发生泄漏时，氦和其他元件的泄漏气体会从泄漏孔中泄漏出来。当泄漏气体进入氦质谱泄漏检测器后，由于氦质谱泄漏检测器具有选择性识别能力，因此只给出气体中氦的分压信号。在获得氦气信号值的基础上，通过标准的泄漏量比较，可以得到氦气的泄漏量。氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器。宁波移动式氦质谱检漏仪厂家

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