杭州氦检仪销售厂家

时间:2022年08月18日 来源:

氦检仪是什么?氦检仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高,用得较普遍的氦检仪器。氦检仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器普遍地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较,本底噪声明显减小。适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。氦检仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。氦检仪是根据质谱学原理,用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。杭州氦检仪销售厂家

氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因:1、半导体设备要求高真空,比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间,耗时耗力;2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染,对半导体的特性改变并破坏其性能,因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏;3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体,经过氦质谱检漏后,在低漏率真空条件下,这些气体不易外泄,设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物,保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装,一旦出现泄漏,芯片就会失效。综上所述,氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。江西氦检仪销售价格氦质谱检漏仪的质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的要定期保养维护。

随着汽车行业的迅猛发展,汽车空调行业对氦检的需求越来越大,对氦检的性能指标要求越来越高。氦检仪在汽车空调蒸发器、冷凝器和压缩机检漏上在拥有氦气检漏的普遍优点的同时,更具备操作方便、工作节拍快、误判率低等独有特点。对被检工件抽空后充入一定压强的氦气,被检工件外面是具有一定真空度要求的真空箱,真空箱与氦检仪检漏口相接。若被检工件有漏,则漏入真空箱的氦气可通过氦检仪测出。与被检工件相连的是充气回收装置,在检漏前后分别实现氦气的充铸和回收。电厂使用氦检仪主要是对汽轮机内部真空系统的检漏,还有冷凝罐的检漏,由于每一个环节如果有泄漏的话都会增加生产成本,所以电厂检漏在实际生产中是非常重要的。氦检仪在电厂检漏领域被普遍使用。

氦检仪分子泵出现故障如何快速定位维修?1.TMP(分子泵工作频率)在仪器的显示界面提示为0,即为分子泵不工作。可能是前级压力过高(分子泵启动压力为200Pa)导致分子泵不能正常启动。2.检查真空表是不是出现了问题,分子泵出口是否打开,机械泵油是否太脏,机械泵是否旋转,系统是否漏气。分子泵的叶片或转子也可能损坏。您可以使用自己的工具移动刀片来判断它是否可以旋转。分子泵加速指示灯不亮。电路板上的保险丝被烧毁了。更换保险丝或检查是否有短路。3.分子泵故障灯亮。检查电路板设置开关是否在R位置,此时应在N位置。检查风扇是否停止。如果风扇正常,可能是分子泵电源故障。请联系制造商。4.氦泄漏检测仪的灯丝不能正常启动。在确认机械泵和分子泵处于正常工作状态后,如果灯丝仍不能发射离子流,则需要更换离子源。如果灯丝指示灯闪烁,请检查航空插座和离子源端子是否开启。如果开路,请更换灯丝。如果没有,请检查端子是否与其他连接器连接,以消除短路。氦检仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

氦检仪作为一种磁偏转型质谱分析仪器,结构上分单级磁偏转型和双级串联偏转性,而在结构组成上,大部分氦检仪就是由质谱室、真空系统以及电气系统3部分组成的:质谱室是这种真空氦检仪器的心脏,又包括离子源、分析器、收集器、前级放大器、冷阴极电离真空计等组成部分;真空系统用于为质谱室提供真空工作条件,保证氦离子的传输率;电气系统的重点功能就是为质谱室供电与测量。另外在有些条件下,氦质谱检漏可能还会需要辅助真空系统,完成一些预抽、保证氦检仪真空度等工作。氦检仪为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。浙江氦检仪供应商家

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氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种,一种为常规检漏,另一种为逆扩散检漏。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端,漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同质量的气体具有不同压缩比(气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比)即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。对产品检漏前首先要对工件的结构和制造工业有所了解,了解有哪些漏源,才能快,准,狠的完成检漏。杭州氦检仪销售厂家

上海妤林真空设备技术有限公司致力于仪器仪表,是一家生产型的公司。公司业务涵盖氦气检漏仪,氦气回收系统,检漏仪,氦检仪等,价格合理,品质有保证。公司将不断增强企业重点竞争力,努力学习行业知识,遵守行业规范,植根于仪器仪表行业的发展。上海妤林真空立足于全国市场,依托强大的研发实力,融合前沿的技术理念,及时响应客户的需求。

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