浙江客制化氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪进展集中体现如下方面：1.智能化：以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助，而现在的触屏式，自动检测。2.便捷化：这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。3.自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。4.全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。5.检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不只可检测氦气，而且能检测其它气体。氦质谱检漏仪开机如何操作？浙江客制化氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪的选择：首先要考虑到灵敏度必需充分满足要求，选择氦质谱检漏仪时。但也不是越高越好。便携式检漏仪适于检小件，灵敏度也较高，移动方便。由于本机真空系统很小，抽气能力有限，所以检大容器时就不得不靠较大辅助真空系统抽气，由于气体分流、灵敏度将降低。检大容器时，一般选逆扩散型检漏仪，因被检件接在分子泵钱级与机械泵连接管道上，要求真空度不高，而顺检型检漏仪被检件接在质谱室上，要求真空度高，否则仪器不能工作，所以抽气时间要长。如果在流水线上测振仪可选用特定检漏仪或作简单工装使用。若平时被检件什么样的都可能有，可以选用基本型氦质谱检漏仪，以降低成本。小型氦质谱检漏仪多少钱一台氦质谱检漏仪可以切实提高汽泵小机真空系统的检漏效率。

氦质谱检漏仪的结构解析：真空系统，真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度较高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。辅助真空系统的配置，在氦质谱仪检漏技术中，根据被检件的结构，尺寸要求和具体的检漏条件，设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、进行的气体分流、缩短反应时间和清理时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统，在某些条件下是非常必要的。

氦质谱检漏仪的维护方法及常见故障的处理：一、机械维护，检查泵的油量，如果低于低标线，则加入泵油；如果变黑或浑浊，则更换泵。使用方法见机械泵说明书。二、清洗，泄漏探测器没有氦进入，但有一定的泄漏率指示，长期存在。这主要是由于检漏口、波纹管、密封圈等被污染后吸附的氦气，在检漏时又被释放，造成较大的底部。为防止油污、粉尘和杂物进入氦质谱检漏仪，在氦质谱检漏仪下方设置过滤器，将其拆下，用酒精浸泡清洗。检查泄漏，用棉布擦拭波纹管。以下是常见的故障现象、原因及解决方法。断电：1.电源线连接不当；2、保险管熔断；3、重新接通电源；4.更换相同规格的保险管。氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声，目前设备电子线路和电子元件的改进，使得电路噪声已经降得很低，因此氦质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的，主要形成的原因包括：一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气，而电离规，特别是磁放电真空规对氦有记忆效应，其表面污染时就更为严重。三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。因此，为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声，需要针对性的采取措施，如减少采用有机材料，不用磁放电规，提高检漏仪的工作真空度，保证稳定抽速等等。了解工件的漏孔问题是选择氦质谱检漏仪的必要条件。小型氦质谱检漏仪多少钱一台

以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助，而现在的触屏式可自动检测。浙江客制化氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪是基于质谱法原理，以氦气作为检漏仪器。质谱仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。质谱法室中灯丝发射的电子在室内来回振荡，与室内气体碰撞，氦气泄漏进入室内，电离成正离子，正离子在加速电场的作用下进入人体磁场，当洛伦兹力效应偏转时，电弧形成，加速电压的变化使不同质量的离子通过磁场和接收槽到达接收极而被探测到。氦气喷射法和氦气吸收法是电阻炉氦质谱检漏仪常用的两种检漏方法。氦质谱检漏仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较普遍的检漏仪器。浙江客制化氦质谱检漏仪

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