推车式氦气检测机使用方法

时间:2022年08月28日 来源:

氦检仪怎么选,这取决于客户的需求:应用类型:(例如:生产,维护等)-干式/传统的油泵?性能:(进入检漏模式所需要的时间,灵敏度,响应时间,恢复时间,初抽的能力)。重量以及大小。氦氦检仪的性能衡量,主要是通过以下参数:初抽的能力:(m3/h),检测允许的较大进气口压力:(mbar),进入检测模式所需要的时间:(s),氦抽速:(l/s))灵敏度,较低可测的氦信号:(mbar.l/s),响应时间:(s),恢复时间:(s),初抽能力:将决定进入检测模式的时间)将决定是否只使用氦检仪进行检测就可以(是否需要辅助泵)。检测允许的较大进气口压力:〉将决定进入检测模式所需要的时间。进入检测模式所需要的时间:是由初抽能力和检测允许的较大压力共同决定的。其他可能会影响检测时间的参数:腔体的脱气以及非常大的泄漏。氦质谱检漏仪是对比性测试仪器。推车式氦气检测机使用方法

氦质谱检漏仪对检漏方法的具体要求:1、检漏灵敏度高,可以检出很小的漏孔;2、反应时间短,可以提高工作效率;3、能定位、定量,不但能够找出漏孔的位置,还能知道漏率的大小,以便确定是否合乎质量要求;4、能无损检漏,不使被检设备受到损伤和污染;5、稳定性好,即可以在足够长时间内灵敏度稳定可靠;6、所用“示踪气体”在空气中含量低,无毒,不腐蚀零件;7、检漏范围大,从大漏孔到小漏孔都能检测到,以减少检漏设备的数量和费用;8、检漏时洁净无油,满足一些特殊的要求。自动氦气检测机原理掌握和了解氦质谱检漏仪常见故障的维修技术,有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。

氦检仪本底漏率值是什么?本底值是指由所处环境所形成的较稳定的辐射水平或声量,由于氦气在空气中的体积含量约为5ppm,5.24×10-6,也就是百万分之五左右,这说明正常空气环境中氦气的含量很小,即氦本底很好。这也是用氦气作为示踪气体的重要原因之一。只有在空气中含量尽可能少的气体,才能满足检漏灵敏度方面的要求。在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小.正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来。本底高一般都是泄漏的原因,建议检查阀有没有内漏,试试增加清扫气体的压力,但是也不能过高,因为会影响抽空效率。另外检漏时切勿将大量的氦气通进仪器,避免本底太大,难以清理。

氦质谱检漏仪的日常维护:1.定期检查机械泵的油位,如不足足应及时添加;如果机械泵的油是棕色、褐色或闻起来有糊状的味道,这意味着油已经恶化了。此时,应释放泵中的油,必要时,先用新油冲洗,然后注入新油。2.定期清洗或更换机械泵的排气管。如果排气管中有大量油滴,可以从氦质谱泄漏检测器中取出,然后清洗,然后用热风吹干或自然晾干。使用氦质谱检漏仪常用的方法大体可分为三种,即喷氦法(负压法),正压法,氦罩法。就几种方法的灵敏度比较而言,喷氦法的灵敏度高些。但是当检漏仪安装在大型的、比较复杂的压力容器装置上时,也不敢确切地说喷氦法的灵敏度就是高。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。

氦检仪的捡漏方法有哪些?背压法(压氦法)真空模式。工件先在压氦罐中打入高压氦气,迫使氦气进入泄漏工件,再放入检漏罐中检测是否有氦气漏出。可根据工件大小定制罐体大小。可检测工件的整体漏点。检测精度较高。适用行业:电子元器件,电子封装等。氦质谱检漏背压法优点:检测灵敏度高;可以进行批量化检测;一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。首先将仪器调整好,再将器件放入加压罐内压入氦气,氦气进入有漏孔的器件内部,无漏孔的器件只是表面吸咐氦气。器件加压压力和时间根据GB2423,2328文件而定,器件从加压罐中取出后将表面吸咐的氦气吹掉再放入检漏夹具中抽空,待真空抽至设定值后自动将夹具连至仪器的测量系统。这时压入存在漏孔器件内部的氦气泄漏出来被检测,其漏率在漏率表上显示出来。一般压氦法检漏时采用排除法。在夹具中放一定数量的器件,这一批的总漏率没超过报废预定值,说明这一批合格;总漏率超过报废预定值可以取出一半,剩下的一半继续检漏,这一半合格说明有漏的器件在取出的那一半中,依此检漏直至检出有漏孔的器件。氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。推车式氦气检测机使用方法

检漏过程中,如发现大量氦气进人氦质谱检漏仪,应立即移去吸口。推车式氦气检测机使用方法

氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度P1优于200Pa时,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的可检漏率为10-10Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当P1降至20Pa时,入口阀2关闭,入口阀3打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的可检漏率为10-12Pa·m3/s。推车式氦气检测机使用方法

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