温州密封检漏机

氦质谱检漏仪检漏标准：1）真空法氦质谱检漏。真空法氦质谱检漏标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB/T15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。2）正压法氦质谱检漏。正压法氦质谱检漏标准主要有QJ3089-1999《氦质谱正压检漏方法》、QJ2862-1996《压力容器焊缝氦质谱盒检漏试验方法》，主要应用于大容积高压密闭容器产品的检漏，如高压氦气瓶、舱门检漏仪等。使用氦质谱检漏仪常用的方法大体可分为三种，即喷氦法（负压法），正压法，氦罩法。温州密封检漏机

氦质谱检漏仪的电气部分：1、离子源电源。为离子源提供加速、聚集、拒斥电压。2、发射电流稳定电路。稳定和调节发射电流。3、离子流放大器和单响报警器。将离子流进行放大并将输出信号送入输出仪表或显示器和音响报警器。4、真空测量电路。一般用热偶计测量低真空，用冷阴极磁控放电真空计测量高真空。5、灯丝保护电路。当质谱室正常工作压力被破坏后，立即切断灯丝供电回路，以保护灯丝。6、其他电路。不同型号的氦质谱检漏仪所具有的功能不尽相同，所以电路也有不少差别，这在各自的说明书中都有说明。温州密封检漏机氦质谱检漏仪电源电压220V频率50HZ额定功率2000W。

氦质谱检漏仪检漏方法：1、正压法检漏：示漏气体He充入容器里面，处于正压，然后用氦质谱检漏仪去检测，容器外层是否有气体He，如果容器外有气体He，则容器有漏。用这种方式能检测出漏点，并能大概判断泄漏的程度。这种检漏方式叫Sniffer检漏或正压检漏。2、负压法检漏：示漏气体He喷在容器外面，用氦质谱检漏仪去检测容器里面是否有气体He。这种方式能检测出漏点，并能测知漏率。这种检漏方式叫负压检漏，也叫真空检漏。氦质谱检漏仪如何选择检漏方式，与检测对象的工作环境有很大关系，尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压，则用正压模式，如检测对象工作时内部处于负压，则用真空模式。

氦质谱检漏仪的极限真空及入口处抽速，质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。所谓“可检率”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的较大的波动量，能较方便地估计检漏效果。氦质谱检漏仪应用领域：学校科研单位、真空制造、真空镀膜、航空航天、核工业、电力、电子元器件、汽车及制冷、低温容器、阀门、仪器仪表、聚酯等行业。氦质谱检漏仪自身的能力和使用情况的直接影响到了设备的检测准度。

掌握和了解氦质谱检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种，将质谱仪用于检漏技术是质谱仪在真空密封检测技术中的重要应用。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20Pa时，入口阀2关闭，入口阀3打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的可检漏率为10-12Pa·m3/s。氦质谱检漏仪的保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。灵敏度、反应时间、消除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。不同氦质谱检漏仪都有特定的使用范围。国产检漏设备生产厂家

质谱室是氦质谱检漏仪的心脏。温州密封检漏机

氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。对产品检漏前首先要对工件的结构和制造工业有所了解，了解有哪些漏源，才能快，准，狠的完成检漏。需要进行前级真空泵的定期换油及深度保养，以及电磁阀组的超声清洗，此外质谱模块组件的超声清洗以及分子泵也建议定期进行保养维护，避免因设备保养不及时导致设备使用寿命缩短。温州密封检漏机

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