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薄膜厚度在线测量金属、非金属薄膜（层）或薄板，以及表面镀层、涂层的厚度或多层厚度监控测量，用以保证厚度均匀，是工业生产中备受重视的一环。过去用得较多的是β散射（或吸收）方法，缺点是分辨能力较差。X射线可以是准单色能量，也可以根据物质种类选择射线源，以适应不同厚度和物质。例如在线测量电容器纸，可准确测量10g/m2薄层，误差达3%；铁基上10μm镀层厚度测量，误差在2%以内。装置原理如图10-10-3所示。测量原理分述如下。1）轻元素物质厚度测量。测量轻元素（C、H、O、Si、Al）物质薄层中元素的特征X射线比较困难，薄层如电容器纸、塑料膜、铝膜等。一般是用低能量X射线在其中吸收来计算薄层厚度。利用如图10-10-3装置，选择适当元素组成的底板。放射源初级射线穿过薄层激发底板元素产生特征X射线（单能量），经薄层吸收后进入探测器。薄层厚度变化引起计数率变化。由于物质成分均匀，计数率只是厚度变化的函数。用本方法测量厚度的准确率远好于β射线吸收方法。2）镀层或金属厚度测量。镀层厚度测量有两种方法，一种方法是激发镀层物质元素特征X射线。由于物质成分固定，探测器的X射线计数率，即反映镀层厚度。第二种方法是激发基板物质特征X射线。驰光机电累积点滴改进，迈向优良品质！陕西在线TOC分析

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