浙江多功能检漏机

氦质谱检漏仪真空系统一般包括：1、主泵：一般用护散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-4Pa，其抽速应导气载匹配。2、前级真空泵：一般采用旋片式机械真空泵，在以分子泵为主泵的系统中也有采用薄膜泵或干泵的。极限压力小于1×10-1Pa，抽速导主泵匹配。3、预抽真空泵：一般与前级真空泵共用一个泵，也有特定预抽真空泵的。预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵，其抽速视被检件大小而定，因此预抽真空泵大都由用户自配。4、真空规：一般采用冷阴极磁控放电直空规(潘宁规，又称冷规)来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。如果检漏地点不固定，需要经常搬运氦质谱检漏仪时，就要选择小型便携式的仪器。浙江多功能检漏机

使用检漏仪必须注意以下几点：第1，不要随意拔出配管：检漏仪处于加压状态，禁止拔出连接仪器和减压阀之间的配管接头。不然大量的压缩空气被吹出，会对人体有害。不得挤压：不得踩仪器或坐在仪器上，不得将其它物品放置在仪器上。第二，一般情况下，真空检漏时要重点关注以下部位：(1)法兰接口部位；(2)焊接部位；(3)波纹管部位；(4)其他密封部位。第三，(1)对工件喷氦应按以下顺序进行：①从上往下。②从靠近测试口到远离测试口。(2)喷氦时应经常检查喷口口是否有氦气喷出。(3)检完工件，必须将“节流阀”关闭，才能取工件。(4)对同一工件，如有两处以上漏点，应排除Zda的漏点后，再对其它地方检漏。(5)装工件时应使连接处密封好，不能有漏。无锡小型检漏仪特点氦质谱检漏仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。

检漏仪的整体结构有哪些？电气系统，氦质谱仪电气部分的重点是质谱室的供电和测量，其他部分包括真空系统的电源与控制部分，操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。辅助真空系统的配置，在氦质谱仪检漏技术中，根据被检件的结构，尺寸要求和具体的检漏条件，设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、进行的气体分流、缩短反应时间和清理时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统，在某些条件下是非常必要的。

检漏仪对高纯气体管道进行测试的注意事项：确认系统中的压力为0，如果系统中还有正压，要先将系统中的气体放掉。缓缓打开检漏仪入口处的阀门，开始将系统抽成真空状态。遵照检漏仪的操作说明操作，直至达到可以检测的状态。记录下检漏仪的背景氦漏率，该背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后，才可以进行喷吹工作。从较靠近检漏仪的焊道或连接处开始检测，将氦气用喷口喷吹到焊道或连接处，使得氦气会停留在焊道或连接处一段时间，确认没有泄漏后，进行下一个焊道或连接处的检测，直到较后一个焊道或连接处。如果发现检漏仪的指示值有上升的现象，待到检漏仪读值恢复正常后，重新检测该焊道或连接处以确认其是否真的有漏，如果确认不是该焊道或连接处有漏，要依次检测该焊道或连接处之前的焊道或连接处，直到找到漏点为止。直至所有的接点都被检测到，检测合格的接点要贴合格标志。所有的接点都喷吹过氦气后，继续观察检漏仪的读值10分钟左右，确认读值没有异常后才可以将系统与仪器之间分离开。便携式检漏仪可以快速找到泄漏点，适合批量操作。

氦质谱检漏仪检漏方法：1、正压法检漏：示漏气体He充入容器里面，处于正压，然后用氦质谱检漏仪去检测，容器外层是否有气体He，如果容器外有气体He，则容器有漏。用这种方式能检测出漏点，并能大概判断泄漏的程度。这种检漏方式叫Sniffer检漏或正压检漏。2、负压法检漏：示漏气体He喷在容器外面，用氦质谱检漏仪去检测容器里面是否有气体He。这种方式能检测出漏点，并能测知漏率。这种检漏方式叫负压检漏，也叫真空检漏。氦质谱检漏仪如何选择检漏方式，与检测对象的工作环境有很大关系，尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压，则用正压模式，如检测对象工作时内部处于负压，则用真空模式。适时对氦质谱检漏仪可能出现的泄漏处(如放气阀)进行清洗，排除漏点。浙江多功能检漏机

氦质谱检漏仪可用于管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各类排气机组等。浙江多功能检漏机

掌握和了解氦质谱检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利开展以及设备的保养。氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种，将质谱仪用于检漏技术是质谱仪在真空密封检测技术中的重要应用。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20Pa时，入口阀2关闭，入口阀3打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的可检漏率为10-12Pa·m3/s。氦质谱检漏仪的保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。灵敏度、反应时间、消除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。浙江多功能检漏机

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