柳州国产扫描电镜
扫描电镜有一重要特色是具有超大的景深,约为光学显微镜的300倍,使得扫描电镜比光学显微镜更适合观察表面起伏程度较大的样品。扫描电镜,其系统设计由上而下,由电子长筒械具发射电子束,经过一组磁透镜聚焦聚焦后,用遮蔽孔径选择电子束的尺寸后,通过一组控制电子束的扫描线圈,再透过物镜聚焦,打在样品上,在样品的上侧装有讯号接收器,用以择取二次电子或背向散射电子成像。电子长筒械具的必要特性是亮度要高、电子能量散布要小,目前常用的种类计有三种,钨(W)灯丝、六硼化镧灯丝、场发射,不同的灯丝在电子源大小、电流量、电流稳定度及电子源寿命等均有差异。扫描电镜普遍应用于宝石学领域的研究。柳州国产扫描电镜
扫描电镜基本原理:扫描电镜的工作是进入微观世界的工作。我们平常所说的微乎其微或微不足道的东西,在微观世界中,这个微也就不称其微,我们提出用纳米作为显微技术中的常用度量单位,即1nm=10-6mm。扫描电镜成像过程与电视成像过程有很多相似之处,而与透射电镜的成像原理完全不同。透射电镜是利用成像电磁透镜一次成像,而扫描电镜的成像则不需要成象透镜,其图象是按一定时间、空间顺序逐点形成并在镜体外显像管上显示。二次电子成象是使用扫描电镜所获得的各种图象中应用较普遍,分辨本领较高的一种图象。我们以二次电子成象为例来说明扫描电镜成象的原理。遵义小型扫描电镜厂家扫描电镜可以观察纳米材料。
扫描电镜的图象显示在阴极射线管(显像管)上,并由照相机拍照记录。显像管有两个,一个用来观察,分辨率较低,是长余辉的管子;另一个用来照相记录,分辨率较高,是短余辉的管子。真空系统及电源系统:扫描电镜的真空系统由机械泵与油扩散泵组成,其作用是使镜筒内达到10的真空度。电源系统供给各部件所需的特定的电源。扫描电镜:扫描电镜追求固体物质高分辨的形貌,形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态,形状,尺寸)。显示化学成分的空间变化,基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布,微区化学成分分析。
扫描电镜工作原理:从电子长筒械具阴极发出的直径20-30nm的电子束,受到阴阳极之间的加速电压的作用,射向镜筒。经过聚光镜和物镜聚焦后,形成一个具有一定能量、强度和斑点直径的入射电子束。在物镜上部扫描线圈产生的磁场作用下,入射电子束按一定时间、空间顺序作光栅式扫描。由于入射电子与样品之间的相互作用,从样品中激发出的信号被不同的检测器收集,并成像。扫描电镜配备有检测二次电子的SE2和Inlens检测器,形成样品形貌像;检测背散射电子的ASB检测器,形成样品成分衬度像;检测特征X射线能量的X射线能谱仪,用于元素定性、定量分析。扫描电镜可以直接观察大试样的原始表面。
扫描电镜的分类主要是根据其电子长筒械具的种类来分的,电子长筒械具的必要特性是亮度要高、电子能量散布(EnergySpread)要小,目前常用的电子长筒械具有钨(W)灯丝、六硼化镧(LaB6)灯丝、场发射三种,不同的灯丝在电子源大小、电流量、电流稳定度及电子源寿命等均有差异。钨(W)灯丝扫描电镜:价钱较便宜使用较普遍的是钨灯丝,以热发射(Thermionization)式来发射电子,电子能量散布为2eV,钨的功函数约为4.5eV,钨灯丝系一直径约100μm,弯曲成V形的细线,操作温度约2700K,电流密度为1.75A/cm2,在使用中灯丝的直径随着钨丝的蒸发变小,使用寿命约为40~80小时。扫描电镜普遍应用于沉积学领域的研究。遵义小型扫描电镜厂家
扫描电镜可测样品种类丰富。柳州国产扫描电镜
扫描电镜衬度像:二次电子像:在入射电子束作用下被轰击出来并离开样品表面的核外电子叫做二次电子。这是一种真空中的自由电子。二次电子一般都是在表层5~10nm深度范围内发射出来的,它对样品的表面形貌十分敏感,因此,能非常有效地显示样品的表面形貌。二次电子的产额和原子序数之间没有明显的依赖关系,所以不能用它来进行成分分析。背散射电子像:背散射电子是被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子,背散射电子来自样品表层几百纳米的深度范围。由于它的产能随样品原子序数增大而增多,所以不但能用作形貌分析,而且可以用来显示原子序数衬度,定性地用作成分分析。背散射电子信号强度要比二次电子低的多,所以粗糙表面的原子序数衬度往往被形貌衬度所掩盖。柳州国产扫描电镜
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