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所谓离子镀,是真空蒸发与溅射两种技术结合而发展起来的一种新工艺.其优点为:膜层附着力强,膜层密度高,均匀性好,淀积速率快.主要用于制造高硬度的机械刀具和耐磨的固体润滑膜,在金属和塑料等制品上制造耐久的装饰膜.目前又发展了低压反应离子镀技术,可获得表面粗糙度好的薄膜.离子辅助镀是利用一束离子源,在镀膜的同时对基体以某种气体的离子轰击{如Ar).改进了薄膜的性质,改善了薄膜的微观结构,应力状态等.其原理是将外加射束的能量传递给淀积分子,从而提高分子的迁积率,由于离子质量大,容易将能量交给淀积分子或原子,使得离子轰击较大地影响薄膜的淀积.在镀膜中应用主要表现在基体清洗促进薄膜生长,增强膜的强度,改善了膜的附着性.昊跃光学滤光片的尺寸。贵州H-alpha滤光片
光学元件中,由于元件表面的反射作用而使光能损失,为了减少元件表面的反射损失,常在光学元件表面镀层透明介质薄膜,这种薄膜就叫增透膜。可以分别从能量守恒的角度对增透膜增加透射的原理给予定性分析,根据菲涅尔公式和折射定律对增透膜增加透射的原理给予定量解释,利用电动力学的电磁理论对增透膜增加透射的原理给予理论解释。而在光学镀膜加工上哪些要注意的呢?当光线进入不同传递物质时(如由空气进入玻璃),大约有5%会被反射掉,在光学瞄准镜中有许多透镜和折射镜,整个加起来可以让入射光线损失达30%至40%。现代光学透镜通常都镀有单层或多层氟化镁的增透膜,单层增透膜可使反射减少至1.5%,多层增透膜则可让反射降低至0.25%,所以整个瞄准镜如果加以适当镀膜,光线透穿率可达95%。镀了单层增透膜的镜片通常是蓝紫色或是红色,镀多层增透膜的镜片则呈淡绿色或暗紫色。天津SII滤光片面形昊跃光学滤光片厂家。
显然,当采用离子技术使聚集密度提高到1时,吸潮引起的中心波长漂移已可忽略不计,而其他两种因素上升为主要因素。本文从一般工艺出发,着重考察一下TiO2/SiO2组成的三腔滤光片的光学稳定性与上述三种因素的关系。实验结果显示,在可见光区域,对于聚集密度约为0.92的膜系,这三种因素中,吸潮引起的中心波长比较大,数量级在10 nm左右。对于胶合的膜系来说,膜系空隙中水汽折射率随温度的上升而下降引起的中心波长短移大约在1×10-2nm/℃量级。而热膨胀引起的漂移大约在1×10-3nm/℃量级。
激光蒸发:高能量的激光束透过真空室窗口,使蒸发材料进行加热,通过聚焦可使激光束功率密度提高,以便材料蒸发.激光蒸发的优点是,可蒸发高熔点材料;采用非接触式加热热源置于真空室外减少了污染,又减化了真空室,非常适于高真空下制备纯洁薄膜.且获得很高的蒸发速率但费用高,蒸发材料受到限制.反应蒸发:许多化合物在高温蒸发过程中会产生分解,例如直接蒸发Al203.Ti02等会产生失氧使吸收增加,为此宜采用反应蒸发.即在一定的反应气氛中蒸发金属或低价化合物,使之在淀积过程中发生化学反应而生成所需要的高价化合物薄膜。为了加强反应蒸发中的氧化作用,离子氧反应蒸发技术受到重视和应用.制备参数必须严格控制.如本底真空和充气真空或控制充气流量.昊跃光学滤光片的良品率。
人们对增透膜的利用有了很多的经验,发现了不少可以作为增透膜的材料;同时也掌握了不少先进的镀膜技术,因此增透膜的应用涉及医学、、太空探索等各行各业,为人类科技进步作出了重大贡献。光学薄膜的真空蒸发技术主要包括溅射法和热蒸发法,下面我们将详细了解下关于光学薄膜镀膜工艺以及方法特点:溅射法溅射法较早获得应用,是使剩余气体分于在强电场作用下发生电离,电离获得正离子在场的作用下向阴极方向作高速运动,击到阴极表面后把自己的能量传递给位于阴极表面上的溅射靶子.使靶面原子{或分子}淀积在基体上形成所需要的薄膜.阴极溅射很少用来淀积介质材料。什么是滤光片,滤光片的作用是什么。湖北OIII滤光片质量
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由于薄膜是柱状结构,柱状结构间存在空隙,吸潮前空隙内空气的折射率为1,吸潮后空隙被水汽填充,折射率变为1.333,因而膜层的折射率,进而光学厚度和光谱特性均引起变化,这就是吸潮引起的光学不稳定性。将我们制备的膜系结构(HLH2LHLHL)3以及相应的折射率代入,并且根据我们的工艺条件,TiO2和SiO2的聚集密度大约在0.92左右,由此对于不同中心波长的红、绿、蓝滤光片,可以计算出相应的吸潮引起的中心波长漂移。在f=1(即完全吸潮)的情况下,针对TiO2和SiO2的不同聚集密度,计算出的一系列中心波长漂移见表1。贵州H-alpha滤光片
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