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国际半导体技术发展趋势(ITRS)预测未来45纳米节点上的高性能晶体管的有效栅氧厚度(EOT)将小于1.0纳米。随着有效栅氧厚度(EOT)小于2.0纳米,多晶硅栅电极的耗尽效应将成为一道摆在工程师面前难以逾越的鸿沟,于是生产中使用几乎完全没有耗尽效应的金属栅电极将是大势所趋。而且值得一提的是当有效栅氧厚度(EOT)进入这一范围后,栅氧与硅之间交接面的质量将会明显影响器件的性能。另外,将高介电常数绝缘材料和两种不同功函数的金属栅电极引入nMOS和pMOS晶体管的制造流程是非常复杂的。本文针对当今业界在生产双金属栅结构CMOS器件中使用的高介电常数绝缘材料表面预处理工艺及金属湿法刻蚀技术等领域取得的成就和存在的问题进行了总结与展望四氯化铪多钱钱,价格贵吗?重庆水性四氯化铪销售公司
性质四氯化铪,无色结晶,熔点320℃,无机化合物,化学式HfCl4。这种无色固体是大多数有机铪化合物的前体。它可用于多种特定用途,主要集中于材料科学中,或作为催化剂。可与水发生强烈反应,吸湿性强,极易水解。基本信息中文名四氯化铪英文名Hafnium(IV)chloride,Hafniumtetrachloride化学式HfCl4分子量320.3CAS登录号13499-05-3水溶性遇水水***度2.8外观晶体危险性描述对眼睛、呼吸系统、皮肤有刺激性。四氯化铪是一种非金属晶体,分子式是HfCl4。重庆水性四氯化铪销售公司四氯化铪的价格是多少 呀?
【铪行业发展历程】1925年,德国人范阿克耳(Arkel)和德布尔()首先使用碘化物热分离法制得金属铪。碘化物热离解法产出的铪纯度高,能满足原子能工业纯度要求,但生产能力小,能耗及成本高,已逐渐被其他方法替代。1940年,卢森堡科学家(克劳尔)发明了用金属镁还原四氯化钛制取海绵钛的方法。由于四氯化铪与四氯化钛性质相似,镁还原法也被用于铪的生产,并成为金属铪的主要生产方法。锆铪分离技术也在不断发展。1950年,西方国家就开始采用由美国原子能**会提供的两大工艺流程生产原子能级海绵铪。20世纪70年代初,锆英石的沸腾氯化工艺研制成功。20世纪70年代末,各国进行了流程的改进研究,其中法国通过10年的研究提出了火法分离流程。后来,日本发展了锆英石碱熔后在硫酸溶液中用三辛胺(我国称为N235)萃取分离锆铪的工艺流程。现在,锆和铪的分离技术大体可分为湿法分离和火法分离两种,在工业生产上成功应用的火法技术是锆铪熔盐精馏法,湿法技术是溶剂萃取法。随着铪生产工艺的发展,铪产量和应用范围也在不断增加。20世纪50年代,美国***艘核动力潜艇的反应堆***用铪作为控制棒。20世纪80年代美国平均每年用于核反应堆铪达26吨,主要用于海军和宇航。四氯化铪
它们具有两性,难溶于碱易溶于酸。当将氧化物强热,即变为难熔物,它们不溶于酸(氢氟酸除外)和碱。难熔二氧化物用作高温绝热体。ZrO2由于生成热和燃烧热很大,可制照相用闪光灯炮,导火剂,还可用作炉衬,制造坩埚。ZrO2是高质量的耐火材料,优良高温陶瓷。二氧化锆水合物ZrO2·xH2O可由氯化氧锆水解制得:ZrOCl2+(x+1)H2O→ZrO2·xH2O+2HCl得到的二氧化锆水合物ZrO2·xH2O是一种白色凝胶,含水量不定。也称为α型锆酸,它可溶解在稀酸中,并容易生成溶胶,即被所吸附的酸或碱所胶溶。在加热下沉淀下来的叫做β型锆酸。它具较少的水含量,并难溶于水中,这些情况和钛酸的两种构型相似。二氧化锆水合物ZrO2·xH2O既能与酸反应呈碱性,又能与碱作用,呈现弱酸性,它的酸性比TiO2·xH2O更弱。它和强碱熔融时,生成晶状的偏锆酸盐M12ZrO3,同时也能生成正锆酸盐M14ZrO4。碱金属锆酸盐在水中的溶解度很小,和其它的弱酸盐一样,它们在水溶液中也容易水解:Na2ZrO3+2H2O→ZrO(OH)2+2NaOH在浓的强碱中加入锆盐,并不生成组成固定的锆酸盐,所得到的是吸附了碱金属氢氧化物的二氧化锆水合物沉淀。 四氯化铪中氧含量要如何测定?
由硫酸铪、氯氧化铪等化合物热分解或水解制取。为生产金属铪和铪合金的原料。用作耐火材料、抗放射性涂料和催化剂。原子能级HfO是制造原子能级ZrO时同时得到的产品。从二次氯化起,提纯﹑还原﹑真空蒸馏等过程同锆的工艺流程几乎完全一样。二氧化铪;hafniumdioxide;分子式:HfO;性质:白色粉末,有单斜、四方和立方三种晶体结构。密度分别为10.3,10.1和10.43g/cm。熔点2780~2920K。沸点5400K。热膨胀系数5.8×10-6/℃。不溶于水、盐酸和硝酸,可溶于浓硫酸和氟氢酸。
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铪因其独特优良的性能而具有十分重要的应用和研究价值。介绍了金属铪在核工业方面和作为金属添加剂的应用,以及铪化物在各方面的应用,并阐述了几种常用的金属铪制备工艺,如碘化精炼法、电子束熔炼法、金属热还原法和熔盐电解法,总结了各方法的研究进展及优缺点。高纯金属铪具有特殊的物理化学性质和核性能,在核反应堆和航空航天等工业领域具有比较广的应用前景.总结了国内外高纯金属铪常用的几种制备方法,包括熔盐电解,碘化精炼,电子束熔炼和电子束悬浮区熔,概述了各方法的原理和研究进展,并分析比较了各制备方法的优缺点.在实际生产中通常将上述几种制备方法结合起来制备高纯金属铪.四氯化铪。重庆水性四氯化铪销售公司
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