自动晶圆植球设备价格
晶圆级微球植球机满足了微球搭载和精密丝网印刷工艺对定位精度的严苛要求,克服了国外同型号装备在定位精度和微球循环上的不足,提升了微球搭载成功率。该装备获得7项发明授权。全自动晶圆植球:自动对位,晶圆植球机封装,自动印刷和自动植球 采用钢网印刷方式印刷助焊剂和锡球,特点,上下视野镜头自动定位,运动机构采用直线电机和DD马达,提高速度和精度 独有的植球机构,特别适合微球植球,不伤球 模块化结构,可以做成单机,也可以做成连线式机台,参数 对应球大小 50〜300 微米 对应产品:6、8、12英寸晶圆 。晶圆植球机专门用于6/8/12寸晶圆WLCSP封装制程。自动晶圆植球设备价格
晶圆植球机是采用了为搭载微球而开发的金属杯方式。通过球的回收功能,实现了废球量的大幅度减少。晶圆植球机实现独特的高精度定位球。晶圆植球机是通过高精度的图像定位机构和晶片厚度检测功能,实现稳定的球搭载。晶圆植球机切换到正片,每台大圆,每台大圆。晶圆植球机口罩上没有多余的球,减少了废球的产生。我司的设备可以在1分钟左右内,同时在晶圆上植入锡球,以及检查及修补,较终达到100%的良率。植好球的晶圆流入回流炉,锡球在高温下融化,从而焊接在晶圆上。湖州bga晶圆植球设备官网晶圆植球机需要在各个芯片凸点上布上锡球,以达成电路的一个连通。
晶圆植球机,晶圆上凸点(Bump)的制作是关键的基础技术,研究了WLP封装中电镀凸点方对BGA基板植球进行了研究。本文针对晶圆凸点制作的金属模板印刷和植球方式,研究WLP封装工艺和WLP植球机关键技术,并在自主研制的半自动晶圆级微球,植球机进行植球实验,晶圆尺寸12inch,焊锡球直径250um, 晶圆级植球技术和设备的开发研制为好的芯片封装装备国产化提供从技术理论到实践应用的参考。工作环境湿度:30~60% ;机器重量:200KG 。晶圆植球机可进行球形焊、晶圆植球、芯片植球等、 以及客户化的线弧形状。它适合于许多封装方面和元件的组装,包括复杂的混合电路、MCMs和高可靠性器件。晶圆级微球植球机,经过两年的试用和检验,获得多家半导体封测厂商认可并开始量产。
在WLP工艺中,晶圆上凸点(Bump)的制作是关键的基础技术,在WLP封装中电镀凸点方对BGA基板植球进行了研究。针对晶圆凸点制作的金属模板印刷和植球方式,研究WLP封装工艺和WLP植球机关键技术,并在自主研制的半自动晶圆级微球,植球机进行植球实验,晶圆尺寸12inch,焊锡球直径250um。晶圆级植球技术和设备的开发研制为好的芯片封装装备国产化提供从技术理论到实践应用的参考。我司设备利用独自开发取得的毛刷,可以高效植球的同时,能延缓锡球的氧化,不造成锡球的浪费。晶圆植球机可实现上料、刷胶、植球、检查修补和下料全程自动化。
晶圆级封装设备通过对植球过程的工艺分析,确定关键技术难点,形成了如下创新点。X-Y-Z-θ 植球平台植球平台是植球机的主要单元,搬运平台可实现,X.Y.Z,θ四个方向心的运动,并结合图像处理技术叫完成晶圆传送、印刷定位和植球定位。由X,Y向直线定位机构,Z向内圈(Table) 和外圈升降机构和0向内圈旋转机构组成。植球平台的运动定位精度决定了印刷和植球成功与否,其位置误差可以通过安装调试尽量减小,由于焊锡球在回流焊接过程中会自动对准,即使焊锡球与焊盘的贴装偏差达焊锡球球径D的50%时也能很好地自动校准,因此定位误差需满足”M“。通过上述分析,根据误差要求合理选择各个方向定位机构所需的精度等级。晶圆植球机特别适合微球植球,不伤球模块化结构,可以做成单机,也可以做成连线式机台。湖州bga晶圆植球设备官网
植球机一整套包括植锡和植球两个部分;自动晶圆植球设备价格
晶圆植球机可实现晶圆从上料到下料的全程自动化生产,各工序同时进行,大幅提高效率;可连接回流炉、清洗机;可对应硅晶圆和定制化晶圆。半自动BGA植球机1)功能用于基板植球和单颗芯片植球采用pin转印助焊剂方式点助焊剂,振动方式供球,晶圆植球机封装,真空方式吸取和放球2)特点振动盘方式供球,所有品种通用,晶圆植球机封装,治具成本低结构紧凑,占地空间小3)参数芯片尺寸:1x1〜50x50mm锡球尺寸:≥0.2mm对位精度:10um对应产品:基板和单颗产品速度:30s/panel植球良率:99.95%。机器外形尺寸:850(W)x1100(D)x1750(H)mm。自动晶圆植球设备价格
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