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    图7是表示通过高架搬运车搬运物品时的移动路径的一个例子的图。图8是接着图7，通过高架搬运车搬运物品时的移动路径的一个例子的图。图9是接着图8，通过高架搬运车搬运物品时的移动路径的一个例子的图。图10是表示保管部和交接端口的其他例子的图。具体实施方式以下，参照附图对实施方式进行说明。在以下的各图中，使用xyz坐标系对图中的方向进行说明。在该xyz坐标系中，将铅直方向设为z方向，将水平方向设为x方向、y方向。x方向是水平方向内的一个方向，是沿着后述的第1区段间顶棚轨道13和第二区段间顶棚轨道14的方向。y方向是与x方向正交的方向，是沿着第1区段内顶棚轨道11的直线部11a、和第二区段内顶棚轨道12的直线部12a的方向。另外，关于x、y、z方向的各方向，适当地将与箭头相同一侧称为+侧(例如，+x侧)，将其相反侧称为-x侧(例如，-x侧)。图1是表示本实施方式所涉及的搬运系统100的一个例子的俯视图。图1所示的搬运系统100例如设置于半导体设备的制造工厂等，对收容有在半导体设备的制造中使用的半导体晶圆的foup、或者收容有中间掩模等的中间掩模盒等物品2进行搬运。在本实施方式中，使用物品2是foup的例子来进行说明，但物品2也可以是除foup以外的物品。另外。六合区象鼻子真空搬运机推荐厂家！江宁区象鼻子真空搬运机有几种

    各子吸盘下端面相平，所述子吸盘包括气罩，所述气罩上端与密封腔连通，所述气罩下端密封设置有皮套。进一步地，所述皮套中间位置连接有向上的拉杆，所述气罩上端与拉杆对应位置处开有导向孔，所述气罩上环绕导向孔还环绕设置有2-6个气孔，所述气孔下端外侧还设置有缓冲环，所述拉杆上还设置有挡板，挡板随拉杆上升时能够与缓冲环密封，所述拉杆上端还设置有限位环。进一步地，所述皮套中间位置设置有夹板，所述拉杆与夹板相连。进一步地，所述挡板截面为向下的锥形。进一步地，所述密封腔的上壁和下壁之间设置有3-6根支撑杆。进一步地，所述气罩靠近下端的截面面积大于靠近上端的截面面积。本实用新型的有益效果在于：增加子吸盘，子吸盘包括气罩，所述气罩上端与密封腔连通，所述气罩下端密封设置有皮套，任一个子吸盘吸附石板均能够为石板提供支撑；设置皮套能够保证不与石板密封的子吸盘不漏气；设置拉杆、导向孔、挡板、限位环、气孔、缓冲环，能够有效的限制皮套的变形量，在保证真空吸力的情况下避免拉坏皮套，提高使用寿命；设置夹板，能够提高皮套的受力面积，保证皮套使用寿命；设置支撑杆，能够防止密封腔变形。附图说明图1为真空吸吊机结构图示意图。江宁区象鼻子真空搬运机有几种江宁区常见真空搬运机推荐厂家！

    旋转臂末端设有垂臂旋转座，可旋转360°，垂臂旋转座与副旋转轴相连接，副旋转轴与下垂臂相连接，下垂臂上设有扶手，扶手上设有电脑控制盒，下垂臂末端设有真空吸盘，真空吸盘下端吸有工件。本实用新型解决其技术问题所采用的技术原理是该机械手利用真空吸附原理，将真空泵或真空鼓风机作为真空源，通过抽空真空吸盘内的空气产生真空，从而将各种工件牢牢吸起，并通过摆动主臂、摆动副臂、旋转臂、下垂臂等将工件搬运到指定地点。该真空是由一个外部的真空泵或真空鼓风机产生的，不需要链或绳子吊重机或其它的提升设备来抓取或提起的负载起重。通过检测真空吸盘内的真空度，能自动识别下垂臂上有无载荷，并经气动逻辑控制回路自动调整主升降气缸内的气压，达到自动平衡的目的。工作时，重物犹如悬浮在空中，可避免产品对接时的碰撞，避免工件表面损伤。在机械手的工作范围内，作业员可将其移动到三维空间内任意位置，从而实现工件的搬运、翻转、装配等操作。整机无须电控系统，只需压缩空气和真空源即可工作，非常方便。移动小车用于更换工位，移动小车上设有立柱，立柱顶端设有主旋转座，可实现机械手的主旋转运动，并对周围360°范围内的工件进行操作。

    第1、第二起重机40a、40b在下层的第1、第二保管部20a、20b与上层的第1、第二保管部20a、20b之间搬运物品2。高架搬运车50沿着顶棚轨道10(第1区段内顶棚轨道11、第二区段内顶棚轨道12、第1区段间顶棚轨道13、以及第二区段间顶棚轨道14)移动，在第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、第1、第二保管部20a、20b、以及第1、第二交接端口30a、30b之间进行物品2的交接。图5是表示高架搬运车50的一个例子的图。如图5所示，高架搬运车50具有行驶部51和主体部52。行驶部51与第1、第二行驶部41a、41b相同地，具备未图示的行驶驱动部和多个车轮71a(参照图6)，并沿着顶棚轨道10行驶。行驶驱动部例如可以是设置于行驶部51且驱动车轮71a的电动马达，也可以是使用顶棚轨道10设置的线性马达。主体部52经由安装部52a安装于行驶部51的下部。主体部52具有：保持部53，其保持物品2；升降驱动部54，其悬挂保持部53且使其升降；以及横向伸出机构55，其使升降驱动部54移动。保持部53通过把持物品2的凸缘部2a而悬挂保持物品2。保持部53例如是具有能够沿水平方向移动的爪部53a的卡盘，使爪部53a侵入至物品2的凸缘部的下方，使保持部53上升，由此保持物品2。浦口区工业真空搬运机推荐厂家！

    在图1至图3中包括有：1——机械手安装架11——固定安装竖板111——活动槽12——竖板固定座2——中间活动板3——前端活动架4——水平导轨副41——水平导轨42——水平滑块5——竖向导轨副51——竖向导轨52——竖向滑块61——吸盘安装架62——真空吸盘71——活动架驱动块72——活动架驱动轴73——轴承8——机械手驱动电机9——驱动轴拨动块。具体实施方式下面结合具体的实施方式来对本实用新型进行说明。如图1至图3所示，一种新式真空搬运式机械手，包括有机械手安装架1，机械手安装架1包括有呈竖向布置的固定安装竖板11，固定安装竖板11的下端侧装设有竖板固定座12，竖板固定座12的上端部与固定安装竖板11螺接。进一步的，固定安装竖板11的前端侧可相对活动地装设有分别呈竖向布置的中间活动板2、前端活动架3，前端活动架3位于中间活动板2的前端侧，中间活动板2与固定安装竖板11之间装设有呈水平横向布置的水平导轨副4，前端活动架3与中间活动板2之间装设有呈竖向布置的竖向导轨副5，前端活动架3的下端部装设有吸盘安装架61，吸盘安装架61装设有真空吸盘62。更进一步的，固定安装竖板11的前表面开设有呈“n”形状的活动槽111，前端活动架3螺装有活动架驱动块71。江宁区工业真空搬运机推荐厂家！江宁区象鼻子真空搬运机有几种

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    供电部70具有供电导轨75、和设置于供电导轨75的非接触供电线76。供电部70配置于顶棚轨道10的下方，并沿着顶棚轨道10连续设置或者间断设置。另外，在第1、第二起重机40a、40b的安装部46和高架搬运车50的安装部52a设置有电力接收部73。电力接收部73经由非接触供电线76接收电力，并向行驶部主体71b等供给电力。如图1所示，控制装置60统一控制搬运系统100。控制装置60通过无线或者有线的通信来控制第1、第二起重机40a、40b和高架搬运车50的动作。此外，控制装置60也可以分割为控制第1、第二起重机40a、40b的控制装置、和控制高架搬运车50的控制装置。另外，也可以通过不同的控制装置来控制第1起重机40a与第二起重机40b。在上述的搬运系统100中，第1起重机40a在第1保管区域sa1内搬运物品2。例如，第1起重机40a沿着第1区段内顶棚轨道11朝向一个方向，例如图1中的逆时针的方向行驶，并在第1处理装置tl1的装载端口lp、第1保管部20a、以及第1交接端口30a之间搬运物品2。第二起重机40b在第二保管区域sa2内搬运物品2。例如，第二起重机40b沿着第二区段内顶棚轨道12朝向一个方向，例如图1中的逆时针的方向行驶。江宁区象鼻子真空搬运机有几种

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