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真空动力控制系统5包括控制箱51、蓄能器52、吸盘拉钩53、真空吸盘推杆54、水平移动推杆55、前后移动推杆56及与蓄能器52能量相接,位于控制箱51内的真空泵(图未示),控制箱51设置在车架1后方,支撑架3包括位于车架1宽度方向两侧的支撑臂31,蓄能器52设置在支撑臂31的上方,蓄能器52背离车架1的方向设置吸盘拉钩53,吸盘拉钩53的伸出端铰接在真空吸盘4上,真空吸盘推杆54设置在支撑架3的中部,真空吸盘推杆54的推杆端连接在真空吸盘4上,水平移动推杆55设置在支撑架3的上方,活塞杆端固定在支撑架3上的安装架57上,前后移动推杆56推杆端连接在支撑架3上。使用时,通过真空吸盘推杆54的伸缩带动真空吸盘4的前后翻转,水平移动推杆55的伸缩带动真空吸盘4的左右移动,前后移动推杆56带动使真空吸盘4的前后移动,所以使真空吸盘4可以在多角度实现对铝卷的吸附。蓄能器52为真空蓄能器,在真空泵断电时提供保护功能。采用上述安装结构的真空动力控制系统5,具有结构紧凑,真空系统运行稳定的特点。本实施例中,支撑架3朝向真空吸盘4的面上设有摄像头6,车架1后侧设有显示器7,摄像头6与显示器7信号相接。目的在于,开卷机上料时,操作者能够通过显示器7来进行观察对中情况。六合区象鼻子真空吸盘推荐厂家!江阴包装袋真空吸盘品牌
本实用新型涉及半导体加工制造领域,尤其涉及晶圆减薄机吸附装置,具体为一种用于减薄机的真空吸盘。背景技术:晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能的集成电路产品。在硅晶圆正面制作完集成电路后,为了降低器件热阻、提高工作散热及冷却能力、便于封装,需要采用减薄机对晶圆进行背面减薄。一方面,晶圆减薄机在磨削过程中,需要将所磨削晶圆置于真空吸盘之上吸附进行磨削过程,对于所涉及的真空吸盘要求能够有效的吸附晶圆,并且能够保证吸盘主体的平整度,以及真空的均匀度,使得减薄机砂轮在磨削时吸附晶圆不发生位移,且吸盘在真空形成的负压之下要能防止产生过大的形变;另一方面,由于加工制造成本相对较高,所以又要保证减薄机所用真空吸盘能够利于更换多次磨削修整后的多孔陶瓷板,且所用底座能够配合多个尺寸类型的真空吸盘。技术实现要素:有鉴于此,本申请提供一种安装方便,能够保证减薄过程中吸盘主体的平整度和真空的均匀度,还能更换多孔陶瓷适于不同尺寸的吸盘配合于同一底座的用于减薄机的真空吸盘。为达到上述目的。惠山区粉尘真空吸盘哪家的好六合区粉尘真空吸盘推荐厂家!
所述腔体5和吸盘1的底部及吸盘1和底座13的中心部位分别设有第1水气通道7和第二水气通道8及吸盘主水气通道9和底座水气通道15;所述第1水气通道7、第二水气通道8均为十字环形交叉式通道,所述第1水气通道7和第二水气通道8相互对称,且十字形与环形交叉部位分布有吸盘辅助水气通道10;所述腔体5外缘处的吸盘1上设有凸台4,所述内多孔陶瓷板2和外陶瓷环3高于凸台4;所述吸盘1上部近外缘处开设有吸盘安装孔12,所述底座13上开设有与所述吸盘安装孔12相匹配的螺纹孔14,采用螺钉通过吸盘安装孔12和螺纹孔14将吸盘1固定在底座13上,所述吸盘1底部开设有吸盘密封槽11,所述底座13底部开设有底座密封槽16,所述底座13上开设有底座安装孔17,用于固定底座13。所述吸盘1和底座13均为不锈材质。所述外陶瓷环3为不透气材质。本实用新型中,所述环形槽6保证了外陶瓷环3和腔体5内壁的有效粘接;所述腔体5底部第1水气通道7作为导流通道,使得真空和水流均匀的通过内多孔陶瓷板2,又使得内多孔陶瓷板2与外陶瓷环3在真空吸附时和腔体5底部有更大的接触面积,以避免产生过大形变;所述吸盘1底部第二水气通道8,既防止真空和水流集中在中心部位,起到导流作用。
第1吸盘112的相对两侧分别设置有第1槽体114,连接弹片2的端部固定连接于第1槽体112的槽沿上。具体地,参见图1至图3,第二吸盘122的相对两侧分别设置有第二槽体124,连接弹片2的端部固定连接于第二槽体124的槽沿上。具体地,参见图1至图3,第1吸盘112和第二吸盘122皆为方形吸盘。本实用新型所提供的一种防转动的真空吸盘装置包安装基板、第1吸盘部件、第二吸盘部件和连接弹片,第1吸盘部件和第二吸盘部件旋接与安装基板的两端,连接弹片相对两端分别固定连接第1吸盘部件和第二吸盘部件。吸盘在松开或者吸紧时原本会形成的吸盘自转动现象,由于连接弹片限制了第1吸盘部件和第二吸盘部件的相对位置,吸盘自转动现象得以避免。本实用新型提供了一种防转动的真空吸盘装置,其可以有效地防止吸盘在松开或者吸紧产生自转动现象,保证真空吸盘吸附作业的稳定性。实施例二:参见图1至图3,图中示出了本实用新型实施例二提供的一种防转动的真空吸盘装置,本实施例在上述实施例的基础上还进一步地做出了以下作为改进的技术方案:连接弹片2为矩形弹片。由于第1吸盘和第二吸盘皆为方形吸盘,矩形弹片的两端更好的匹配吸盘的边沿,起到更好的限制效果。实施例三:参见图1至图3。六合区糖袋真空吸盘推荐厂家!
真空吸盘是真空设备执行器之一,吸盘材料采用丁腈橡胶制造,具有较大的扯断力,因而广泛应用于各种真空吸持设备上,如在建筑、造纸工业及印刷、玻璃等行业,实现吸持与搬送玻璃、纸张等薄而轻的物品的任务。作者通过对日本生产的真空吸盘某些局部结构加以改进,开发出一种新的平直型真空吸盘,它具有结构更简单、安装更方便、外形美观、吸持力强等特点。经过吸持重物的试验,其性能指标达到设计要求,现已批量用于广州某造纸厂吸持纸张工序,工作平稳。真空吸盘又称真空吊具,一般来说,利用真空吸盘抓取制品是廉价的一种方法。真空吸盘品种多样,橡胶制成的吸盘可在高温下进行操作,由硅橡胶制成的吸盘非常适于抓住表面粗糙的制品;由聚氨酯制成的吸盘则很耐用。另外,在实际生产中,如果要求吸盘具有耐油性,则可以考虑使用聚氨酯、丁腈橡胶或含乙烯基的聚合物等材料来制造吸盘。通常,为避免制品的表面被划伤,选择由丁腈橡胶或硅橡胶制成的带有波纹管的吸盘。结构平直型真空吸盘的结构如图所示,它由吸盘和吸盘箍组成。原理平直型真空吸盘结构示意图平直型真空吸盘的工作原理如图所示。首先将真空吸盘通过接管与真空设备(如真空发生器等,图中没画出)接通。六合区多功能真空吸盘推荐厂家!静安区工业真空吸盘品牌
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又能储存真空气体,不只节省了空间,还增加了真空气体的储存量,在停电等突发故障时,能起到稳定真空系统的作用。吸盘4包括第1吸盘41、第二吸盘42和第三吸盘43,其中,第二吸盘42位于第二横梁3下部的中间位置,第1吸盘41和第三吸盘43分别位于第二横梁3的下部两侧;第1吸盘41的盘底所在面、第二吸盘42的盘底所在面和第三吸盘43的盘底所在面处在同一个弧形面上;第1吸盘41、第三吸盘43通过第1通气管和吊架真空腔连通,第二吸盘42通过第二通气管和吊架真空腔连通。参照图2,真空泵7和电机9电连接,真空泵7通过导气管和吊架真空腔连通,真空泵7和吊架真空腔之间的导气管上设有真空泵过滤器10,吊架真空腔与第1吸盘41、第三吸盘43之间的第1通气管上设有第1换向阀5,吊架真空腔与第二吸盘42之间的第二通气管上设有第二换向阀6;第1换向阀5、第二换向阀6的出口处分别设有换向阀过滤器13。当第1换向阀5和第二换向阀6分别切换到A位置时,第1吸盘41、第二吸盘42和第三吸盘43分别与吊架真空腔连通,第1吸盘41、第二吸盘42和第三吸盘43与混凝土管片8之间形成真空,大气压力使混凝土管片吸附在第1吸盘41、第二吸盘42和第三吸盘43上;当第1换向阀5切换到A位置,第二换向阀6切换到B位置时。江阴包装袋真空吸盘品牌
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