真空泵厂家直销

时间:2022年07月09日 来源:

真空泵的机械选择: 1.了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。 2.真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 3.正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。极限压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在较低真空极限压力下真空泵的极限压力。真空泵厂家直销

真空泵相关的术语解释: 1.流量 单位时间流过任意截面的气体量,符号用“Q”表示,单位为帕·升/秒(Pa·L/s)或托·升/秒(Torr·L/s)。 2.流导 表示真空管道通过气体的能力。单位为升/秒(L/s),在稳定状态下,管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作“U”。 U=Q/(P2- P1) 3.压力或压强 气体分子作用于容器壁的单位面积上的力,用“P”表示。 4.标准大气压 压强为每平方厘米101325达因的气压,符号:(Atm)。 5.极限真空 真空容器经充分抽气后,稳定在某一真空度,此真空度称为极限真空。通常真空容器须经12小时炼气,再经12小时抽真空,较后一个小时每隔10分钟测量一次,取其10次的平均值为极限真空值。NASH(纳什)真空泵2BV2070公司咨询真空泵结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感。

分子真空泵的应用情况: 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。

旋片式真空泵:具有结构紧凑,体积小,重量轻,噪音低,振动小等优点。所以,它适用于作扩散泵的前级泵,而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如:质谱仪器,冰箱流水线,真空冷冻干燥机等。 罗茨真空泵:是一种旋转式变容真空泵,须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内,有较大的抽速,对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。普遍用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。主要用于真空机组的主泵,需要用前级泵辅助。如:水环式真空泵,滑阀真空泵,立式无油真空泵,分子真空泵等。国内较大罗茨真空泵保持纪录为20000L/S。真空泵停止后进气口处真空度降低,原因是排气口处的大气返至进气口处,不是真空泵的原因。

真空泵卡死是常见故障,下面我们可依次分析: 首先检查电机是否与联轴器脱离,导致泵体无法运转。 驱动电机是否确实电源相。 分清是电机卡死,还是泵体卡死。 检查润滑密封油真空油,是否乳化变质,或者缺油。 解决办法如下: 分离电机与泵体确认电机无卡死并运转正常,拆泵前注意各管道阀门已经关闭,拆卸真空泵检查油路是否回油正常,检查旋片是否损坏卡死,旋片损坏更换新的旋片,泵腔与转子无损坏可以继续使用,装泵时着重注意安装密封。真空容器经充分抽气后,稳定在某一真空度,此真空度称为极限真空。真空泵厂家直销

润滑油在真空泵中真空泵油不只作为获得真空的介质,还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。真空泵厂家直销

目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响,一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求,因此近年来干式真空泵市场需求量很大,已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点,但其制造技术为国外掌握,我国尚处于起步阶段,市场对于干式真空泵有迫切的需求。 目前干式螺杆真空泵国内的研究还处在起始阶段,很多技术难题还没有解决。比如转子涂层防腐蚀技术、降低排气口温度、增大转子面积利用率等问题仍然很棘手,当抽取一些活泼气体时,由于排气温度高,安全性也是需要设计中考虑的,用在需要控制音量的场合,如何降噪也要成为研究方向。但其优越的性能决定了它一定会在真空获得设备行业占主导地位,就像现在螺杆压缩机在行内的统治地位一样。真空泵厂家直销

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