浙江螺杆真空泵生产厂家

时间:2022年07月12日 来源:

真空泵电机温度高的对策处理效果: (1)由于轴流风机转速高,风压风量大,冷却效果较大增强,在相同的环境温度、负荷电流下,主电机温度下降了12℃。夏季主电机温度未再超限。 (2)轴流风机可人为控制,主电机停运后,轴流风机仍可运行,可以使主电机得到充分冷却。 (3)尽量使2段母线负荷分配平衡,以防某段母线因负荷过重造成电压下降过多。 (4)电压调整后,真空泵运行电流降为210A,发热量相对减小。 (5)减缓了主电机的绝缘老化速度,延长了其使用寿命。真空泵的电机功率、转速是和真空泵相匹配的,不能更改。浙江螺杆真空泵生产厂家

真空泵的测量方式: 1.热偶真空计 利用热电偶的电势与加热元件的温度有关,元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。 2.电离真空计 由筒状收集极,栅网和位于栅网中心的灯丝构成,筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子,离子被收集极收集,根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。 3.复合真空计 由热偶真空计与热阴极电离真空计组成,测量范围从大气~10-5Pa。 4.冷阴极电离计 阳极筒的两端有一对阴极板,在外加磁场作用,阳极筒内形成潘宁放电产生离子,根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。 5.电阻真空计 利用加热元件的电阻与温度有关,元件的温度又与气体传导有关的原理,通过电桥电路来测量真空度的真空计。德国普旭真空泵R50400B要多少钱极限压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在较低真空极限压力下真空泵的极限压力。

分子真空泵的应用情况: 分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。 由于分子泵对水蒸气的抽速只为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸气被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,以满足不同场合的需要。

真空泵卡死是常见故障,下面我们可依次分析: 首先检查电机是否与联轴器脱离,导致泵体无法运转。 驱动电机是否确实电源相。 分清是电机卡死,还是泵体卡死。 检查润滑密封油真空油,是否乳化变质,或者缺油。 解决办法如下: 分离电机与泵体确认电机无卡死并运转正常,拆泵前注意各管道阀门已经关闭,拆卸真空泵检查油路是否回油正常,检查旋片是否损坏卡死,旋片损坏更换新的旋片,泵腔与转子无损坏可以继续使用,装泵时着重注意安装密封。真空泵与系统的连接管道应密封可靠,对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶。

油封式真空泵按其结构特点分为如下形式: a旋片式真空泵:转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近,在转子槽内装有两个(或两个以上)旋片,当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触,此旋片随转子一起旋转,可将泵腔分成几个可变容积。 b.滑阀式真空泵:在偏心转子外部装有一个滑阀,转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动,滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动,而泵腔分成两个可变容积。 c.定片式真空泵:在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子,泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片,当转子旋转时,滑片能上下滑动将泵腔分成两个可变容积。 d.余摆线式真空泵:在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子,它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。 e.多室旋片式真空泵:在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个单独工作室的旋片真空泵。真空泵转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。德国里其乐真空泵VC-900售价

要正确地选择真空泵的工作点,每种泵都有一定的工作压强范围。浙江螺杆真空泵生产厂家

真空泵的机械安装: ⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、保养。 ⑵真空泵底座下应保持地基水平,底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装,确保真空泵运转平稳,振动小。 ⑶真空泵与系统的连接管道应密封可靠,对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,对小真空泵可采用真空胶管连接,管道管径不得小于真空泵吸气口径,且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应清理管道中焊渣,严禁焊渣进入真空泵腔。) ⑷在连接管路中,用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计,随时可检查真空泵的极限压力。浙江螺杆真空泵生产厂家

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