杭州专业激光干涉仪设备厂家

激光干涉仪：从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式式中λ为激光波长(N为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。激光干涉仪在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测。杭州专业激光干涉仪设备厂家

激光干涉仪具有有线性测量镜组、角度测量镜组、平面度测量组件、直线度测量组件、垂直度测量镜组、激光器准直辅助镜等等，实际使用中，有些不同功能的镜组也可以相互组合使用，以满足测量需要。比如角度测量镜组中的反射镜也可以替换线性测量镜组中的反射镜;激光器准直辅助镜的使用可以减少准直调整的时间。同时，激光干涉仪各个测量镜组也可以在别的测量工作中使用，常见的利用分光镜或者光学直角器，达到改变光路，方便测量的目的。这需要，了解设备性能、掌握测量技巧，在满足测量准确度的前提下活学活用。杭州专业激光干涉仪设备厂家激光干涉仪原理：激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束。

激光干涉仪初步调整后，它的固定分光镜并在分光镜上安装光靶，通过“整体”调整精确瞄准光靶后，取下分光镜光靶，将Z轴升高，观察激光在反光镜光靶上偏离程度，同时透过“尾部”调整使激光对准反光镜光靶，若在此过程中因“尾部”的调整导致分光镜遮挡了部分激光，则将Z轴停止上升回到起始处，重新调整“整体”，再次对准反射镜光靶。紧接着再升Z轴，继续调整“尾部”，观察激光在反光镜光靶上偏离程度。重复整个过程，往往几次即可达到准直要求。

激光干涉仪以光波为载体，具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、比较高测速下分辨率高等特点，其光波波长可直接对米进行定义并溯源至国家标准。因此，激光干涉仪普遍应用于数控机床、PCB钻孔机、坐标测量机、位移传感器等精密仪器的质量控制与校准以及科研开发、设备制造等领域。激光干涉仪结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在动态测量软件的配合下，激光干涉仪可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析。激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法。

激光干涉仪的应用：几何精度检测。可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。位置精度的检测及其自动补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉仪不只能自动测量机器的误差，而且还能通过RS232接口自动对其线性误差进行补偿，比通常的补偿方法节省了大量时间，并且避免了手工计算和手动数控键入而引起的操作者误差，同时可比较大限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到比较佳精度，另外操作者无需具有机床参数及补偿方法的知识。激光干涉仪有单频的和双频的两种方式。杭州专业激光干涉仪设备厂家

激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具。杭州专业激光干涉仪设备厂家

激光干涉仪也是一种高精度位移传感器。激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具，可按照规定标准处理测量数据并输出误差曲线，为数控机床的误差修正提供可靠依据，现场使用尤为方便。激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平行度、垂直度等形位误差。激光干涉仪也是一种高精度位移传感器，可直接用于高精度、大尺寸的动态位移测量系统。激光干涉仪具有对光栅、磁栅、线纹尺、感应同步器等精密测量元件的检测和刻划功能，可按预定的间距自动完成检测和刻划定位。杭州专业激光干涉仪设备厂家