黑龙江蒸发真空镀膜设备
【真空镀膜真空蒸发镀膜原理】: 真空蒸发法的原理是:在真空条件下,用蒸发源加热蒸发材料,使之蒸发或升华进入气相,气相粒子流直接射向基片上沉积或结晶形成固态薄膜;由于环境是真空,因此,无论是金属还是非金属,在这种情况下蒸发要比常压下容易得多。真空蒸发镀膜是发展较早的镀膜技术,其特点是:设备相对简单,沉积速率快,膜层纯度高,制膜材料及被镀件材料范围很广,镀膜过程可以实现连续化,应用相当guang泛。按蒸发源的不同,主要分为:电阻加热蒸发、电子束蒸发、电弧蒸发和激光蒸发等。 真空镀膜设备是什么?黑龙江蒸发真空镀膜设备
【真空镀膜产品常见不良分析及改善对策之膜外色斑】: 色斑(也称膜色亚克、烧蚀)是指镜片上的膜色局部变异。有膜内色斑和膜外色斑二种。 膜外色斑改善对策: 1. 对减反膜,设计条件许可时,外层加以SiO2层,10nm左右即可(一般的外层膜是MgF2)。使外层趋于光滑、致密、减少有害物质的侵蚀。 2. 适当降低蒸镀速率(在一定范围内),提高膜层光滑度,减少吸附。 3. 镜片在出罩后,待冷却后再下伞和擦拭。 4. 镜片在出罩后,放置在洁净干燥的场合待冷却。减少污染可能。 5. 用碳酸钙粉,轻擦去除外层附着物。 6. 改善工作环境的湿度、温差 7. 改善充气口附近的环境,使充入的大气干燥、洁净。 8. 工作人员的个人卫生改善 9. 检讨真空室返油状况,防止返油。 10. 适当降低基片温度。 11. 改善膜系,取消太薄的膜层,根据硝材特性,选择合适的膜层材料。 黑龙江蒸发真空镀膜设备真空镀膜设备升级改造。
【真空镀膜二极溅射与磁控溅射对比】: 靶材利用率(TU):是指发生溅射的靶材质量占原靶材质量的比率。 公式表示:靶材利用率={原靶材质量(Kg)—溅射后靶材质量}/原靶材质量 注:①:磁控溅射靶材利用率稍低,电压要求低,电流会高,溅射率提高,增加生产效率,降低成本。 ②:靶材使用寿命结素之前必须及时更换新靶材,防止靶材周围物质发生溅射(金属箔片、连接片、阴极) 两种溅射技术的区别: ①:靶材利用率不同 ②:溅射腔室和阴极设计要求不同 ③:放电电流和放电电压不同 ④:溅射率不同:磁控溅射有更短的沉积时间,更高的沉积量和更短沉积周期。
【溅射镀膜定义】: 定义:所谓溅射,就是这充满腔室的工艺气体在高电压的作用下,形成气体等离子体(辉光放电),其中的阳离子在电场力作用下高速向靶材冲击,阳离子和靶材进行能量交换,使靶材原子获得足够的能量从靶材表面逸出(其中逸出的还可能包含靶材离子)。这一整个的动力学过程,就叫做溅射。入射离子轰击靶面时,将其部分能量传输给表层晶格原子,引起靶材中原子的运动。有的原子获得能量后从晶格处移位,并克服了表面势垒直接发生溅射;有的不能脱离晶格的束缚,只能在原位做振动并波及周围原子,结果使靶的温度升高;而有的原子获得足够大的能量后产生一次反冲,将其临近的原子碰撞移位,反冲继续下去产生高次反冲,这一过程称为级联碰撞。级联碰撞的结果是部分原子达到表面,克服势垒逸出,这就形成了级联溅射,这就是溅射机理。当级联碰撞范围内反冲原子密度不高时,动态反冲原子彼此间的碰撞可以忽略,这就是线性级联碰撞。真空镀膜设备培训资料。
【真空镀膜设备捡漏方法】: 检漏方法很多,根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法。 充压检漏法:在被检件内部充入一定压力的示漏物质,如果被检件上有漏孔,示漏物质便从漏孔漏出,用一定的方法或仪器在被检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质,从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小,此即充压检漏法。 真空检漏法:被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态,在被检件的外部施加示漏物质,如果有漏孔,示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间,由敏感元件检测出示漏物质,从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小,这就是真空检漏法。 其它检漏法:被检件既不充压也不抽真空,或其外部受压等方法归入其它检漏法。背压法就是其中主要方法之一。 所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件,然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出.以某种方法(或检漏仪)检测漏出的示漏气体,判定被检件的总漏率的方法。 光学真空镀膜设备制造商。黑龙江蒸发真空镀膜设备
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【真空镀膜设备的分类】: 这个问题如果在十年之前,其实是很容易回答的,就是两个大类,物理沉积设备和化学沉积设备。现在这样回答也是没错的,但现在再这样回答就没办法把事情说清楚了,所以从应用领域上可以分成以下几类: 传统光学器件(镜片,滤光片)所用的镀膜设备:单腔体或多腔体蒸发式镀膜设备,溅射式镀膜设备。 新材料领域的柔性设备:卷对卷柔性镀膜设备。 光通讯行业:离子束溅射镀膜设备。 半导体及相似工艺:化学气相沉积设备。 功能膜:多弧离子镀设备,溅射设备,蒸发设备 玻璃工艺:溅射式连续线 其余的就得归到“工艺定制设备”这个范围里面了,例如车灯镀膜设备,太阳能的共蒸发设备,光纤镀膜设备,太阳能管设备等等 黑龙江蒸发真空镀膜设备
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