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    所述蜗杆与斜齿轮相互啮合，所述蜗杆的底端转动连接有安装板，所述安装板远离立柱一侧的侧壁上安装有横板，所述横板远离安装板一端的底壁上安装有固定夹板，所述横板的顶壁上安装有第二电机，所述第二电机的驱动端安装有第1转盘，所述第1转盘远离第二电机一侧的侧壁上安装有转轴，所述第1转盘的外侧设有三角形传动件，所述转轴与三角形传动件的顶端转动连接，所述三角形传动件的底端贯穿横板的顶壁并延伸至的横板的下侧，所述三角形传动件的外侧对称设有两个第二转盘，两个所述第二转盘靠近三角形传动件一侧的侧壁上同样安装有转轴，两个所述转轴分别转动在三角形传动件的底端，两个所述第二转盘远离三角形传动件一侧的侧壁上均安装有转杆，两所述转杆的侧壁上均套设有螺纹套管，两个所述螺纹套管的顶壁上均安装有固定板，两个所述固定板的顶端均安装在横板的底壁上，所述横板的底壁上对称安装有两个滑槽板，所述横板的下侧设有移动夹板，所述移动夹板的顶端安装有滑杆，且滑杆的两端分别与两个滑槽板滑动连接，所述移动夹板的侧壁上对称贯穿开设有两个螺纹孔，两个所述转杆分别与两个螺纹孔相互啮合。地，所述安装板的顶壁上开设有转槽，所述转槽内设有限位板。高淳区包装袋气动悬臂吊推荐厂家！江宁区牛皮袋气动悬臂吊品牌

    抓取运动的物件）情况，决定了手指是的大小、形状、个数、种类配置和动作，而这些又决定了手指的抓取机能（即该手指能抓取的极限尺寸；手指对物件的约束和握紧程度；抓取精度-定位精度等）。2、手指的种类机械手的手指有机械式和吸盘式两种形式。人手抓取物件时，手指常与手掌相对握紧。机械式手指没有手掌，全靠手指握紧物件；而吸盘式手指则刚好相当于只有手掌吸附物件。机械式手指的应用比较。机械式手指常按指根的动作及手指的数目或手指的形状进行分类。（1）按指根的动作不同分类回转型手指：手指的张开与闭合是靠指根的回转动作完成的。无关节手指的本体是一个直构件；固定关节指的本体是一个弯构件，即在指的中间处形成一个“V”形关节角；而自由关节指的本体在中间分开，指根与指尖是由铰链连接的。直进型手指：手指的张开与闭合是靠手指的直接动作完成的。这种手指也可分为无关节指和自由关节指。有时还把无关节指、固定关节指、自由关节指相互组合而成为混合手指。（2）按手指抓取部分的形状分类有圆弧形的、锯齿形的、钩形的和平板形的等等。3、典型表面与手指的接触状态虽然被抓取物件的形状和尺寸是多种多样的，但是从抓取的角度来看。鼓楼区象鼻子气动悬臂吊哪家有江宁区室内深加工气动悬臂吊推荐厂家！

    该多个肋将所述壁部的外周面和所述第1面连结起来。由此，能够提高壁部与散热器之间的连结强度。作为理想的技术方案，所述多个肋沿着所述壁部的周围以等间隔配置。由此，在壁部的周围，能够确保壁部与散热器之间的连结强度不产生偏差。作为理想的技术方案，还具备帽，该帽安装于所述壁部的靠所述电路基板侧的端部，所述帽具有与所述磁体相对的顶板部和对所述顶板部的外周进行支承的缘部，所述顶板部的材料是树脂。由此，从磁体发出的磁通能够透过帽的顶板部，磁传感器能够检测该磁通。不必为了使磁通透过而从壁部的端部拆下帽。因此，在电动驱动装置的组装工序中，不需要拆下帽的工序，能够抑制工序数量的增大。另外，在电路基板安装于散热器而完成了电动驱动装置之后，也能维持帽安装于壁部的端部的状态。由此，能够持续性地抑制异物附着于磁体。作为理想的技术方案，所述壁部具有在所述外周面设置的槽部，所述缘部具有在与所述槽部重叠的位置设置的突起部，所述突起部能卡合于所述槽部。由此，能将帽固定于壁部。作为理想的技术方案，所述壁部与散热器形成为一体。由此，在壁部与散热器之间不存在接合的边界，因此，能够提高壁部与散热器之间的连结强度。

    而锁定销2032的安装端2032a则铰接在凸轮手柄2033较厚的一端的块体上，但铰接点应靠近薄板与块体的连接点处。如此，在转动凸轮手柄2033时，锁定销2032可随之做上下的直线移动。弹性件2034为弹簧，其套设在锁定销2032的安装端2032a上。如图7所示，开关结构203在锁定状态下，上下两个锁定销2032的插销端2032b分别穿过内调节杆201的其中两个相对的固定孔2011。而凸轮手柄2033平行于外调节杆202支承在盖板2031上。此时外调节杆202不能移动。解锁时，航天员顺时针转动凸轮手柄2033，此时，锁定销2032向上移动，弹性件2043压紧。当凸轮手柄2033转动90°后，如图8所示，锁定销2032的插销端2032b完全脱离内调节杆201的固定孔2011，完成解锁。此时，由于图8中凸轮手柄2033的块体底面为与凸轮手柄2033左侧面垂直的平面，因此解锁后凸轮手柄2033可稳定的支承在盖板2031b上。当再次锁定时，航天员只需逆时针拨动凸轮手柄2033，弹性件2033靠弹力将锁定销2032自动顶回内调节杆201上的固定孔2011中，凸轮手柄2033也随之转回到平行于外调节杆202的位置。图9是示意性表示根据本发明第1种实施方式的末端助力机构的立体图。如图9所示，末端助力机构3包括末端扶手301和连杆302。江宁区牛皮袋气动悬臂吊推荐厂家！

    本发明涉及一种半导体制造技术，尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。背景技术：在半导体加工设备中，经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送，在传送的过程中，传送精度越高，设备工艺一致性就越好，速度越快，单台设备的产能就越大。随着半导体工艺的发展，设备处理的工艺越来越复杂，对设备自动化程度、柔性化程度要求也越来越高，这就需要一种定位精度高，速度快的多自由度的机械手。技术实现要素：本发明针对现有技术中的不足，提供了一种晶圆搬运机械手，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。为了解决上述技术问题，本发明通过下述技术方案得以解决：一种晶圆搬运机械手，包括升降轴、旋转轴和伸展轴，其特征为，所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座，所述的一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节，所述的一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节，所述的二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节。六合区象鼻子气动悬臂吊推荐厂家！南通多功能气动悬臂吊品牌

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    而不是全部的实施例。在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，只是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。如图1-3所示，本发明的一种板材搬运自动化设备的机械手，包括立柱1，立柱1的底部安装有滑轮，滑轮可配合滑轨等移动装置以使得机械手的移动范围更广，立柱1的顶壁上安装有第1电机2，第1电机2的驱动端安装有斜齿轮8，立柱1的一侧的侧壁上安装有两个支撑板10，两个支撑板10之间共同安装有蜗杆9，两个支撑板10上均开设有斜螺纹孔，且斜螺纹孔与蜗杆9相互啮合，蜗杆9与斜齿轮8相互啮合，蜗杆9的底端转动连接有安装板7，安装板7靠近立柱1一侧的侧壁上安装有滑块，立柱1的侧壁上开设有与滑块相互配合的竖向滑槽，安装板7通过滑块与竖向滑槽的配合可沿着立柱1进行上下滑动，安装板7的顶壁上开设有转槽，转槽内设有限位板18，蜗杆9的底端贯穿安装板7的顶壁并延伸至转槽内，蜗杆9的底端安装在限位板18的顶壁上。本发明中。江宁区牛皮袋气动悬臂吊品牌

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