江苏常见真空搬运机哪里可以买到

时间:2022年08月05日 来源:

    搬运系统100也能够应用于除半导体制造领域以外的设备,物品2可以是由用于设置搬运系统100的设备处理的各种物品。在本实施方式中,搬运系统100在配置于第1、第二装置区域ta1、ta2的第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、以及后述的第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b之间搬运物品2。第1、第二处理装置tl1、tl2例如是曝光装置、涂布显影装置、制膜装置、或者蚀刻装置等,对收容于搬运系统100所搬运的物品2的半导体晶圆实施各种处理。各第1、第二处理装置tl1、tl2分别具备两处装载端口lp。图2是表示第1、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的一个例子的图。在图2中表示从+x侧观察第1、第二处理装置tl1、tl2和装载端口lp的情况的一个例子。如图1和图2所示,第1处理装置tl1在设定于制造工厂等的地板部的第1装置区域ta1内沿一个方向(y方向)排列配置。第二处理装置tl2在第二装置区域ta2内沿一个方向(y方向)排列配置。第1、第二装置区域ta1、tl2分别沿x方向配置多个。沿y方向排列的多个第1、第二处理装置tl1、tl2沿x方向设置多列。此外,多个第1、第二处理装置tl1、tl2的配置是一个例子,也可以是其他配置。另外。溧水区米袋真空搬运机推荐厂家!江苏常见真空搬运机哪里可以买到

    第1、第二起重机40a、40b和高架搬运车50的行驶速度能够任意地设定,也可以使其与第1、第二起重机40a、40b和高架搬运车50的行驶速度相同。图7~图9是表示通过高架搬运车50搬运物品2时的移动路径的一个例子的图。在图7~图9中示出从第二保管区域sa2开始以第1保管区域sa1或者第1装置区域ta1为下一个搬运目的地的物品2被第二起重机40b载置于第二交接端口30b的例子。例如,如图7所示,在物品2被载置于在第二保管区域sa2的+y侧端部和-x侧配置的第二交接端口30b的情况下,控制装置60(参照图1)针对高架搬运车50进行指示以将第二保管区域sa2的第二交接端口30b的物品2搬运至第1保管区域sa1的第1交接端口30a。高架搬运车50沿着第二区段内顶棚轨道12移动至第二交接端口30b,使横向伸出机构55向+x方向突出,并驱动升降驱动部54使保持部53下降,由此通过保持部53保持第二交接端口30b的物品2。此外,高架搬运车50根据来自控制装置60等的信息,获取以下信息:接收到的物品2的搬运目的地是在第1保管区域sa1的+y侧端部和+x侧配置的第1交接端口30a。此外,第二起重机40b和高架搬运车50在第二区段内顶棚轨道12内,例如沿与顺时针相同方向环绕行驶。其结果是。贾汪区工业真空搬运机原理溧水区常见真空搬运机推荐厂家!

    并不限定于第1、第二处理装置tl1、tl2具备两处装载端口lp,也可以具备一处或者三处以上。另外,在制造工厂等中配置用于暂时保管物品2的第1、第二保管区域sa1、sa2。第1保管区域sa1与第1处理装置tl1对应设置,第1保管区域sa1配置于两列第1处理装置tl1之间。第二保管区域sa2与第二处理装置tl2对应设置,第二保管区域sa2配置于两列第二处理装置tl2之间。在各列第1、第二处理装置tl1、tl2中,装载端口lp配置于与各个第1、第二保管区域sa1、sa2对置的一侧。如图1所示,搬运系统100具备:顶棚轨道10、第1、第二保管部20a、20b、第1、第二交接端口30a、30b、第1、第二起重机40a、40b以及高架搬运车50。顶棚轨道10具有第1区段内顶棚轨道11、第二区段内顶棚轨道12、第1区段间顶棚轨道13、第二区段间顶棚轨道14、第1连接轨道15、以及第二连接轨道16。第1区段间顶棚轨道13、第二区段间顶棚轨道14、第1连接轨道15、以及第二连接轨道16是将第1区段内顶棚轨道11与第二区段内顶棚轨道12连结的区段间顶棚轨道。第1区段内顶棚轨道11从第1处理装置tl1的装载端口lp的正上方错开配置,并且沿着装载端口lp设置。第二区段内顶棚轨道12从第二处理装置tl2的装载端口lp的正上方错开配置。

    将沿上下方向和y方向排列的多个第1、第二保管部20a、20b中的较上层且y方向的两端的两个作为第1、第二交接端口30a、30b,并将其他作为第1、第二保管部20a、20b使用。在图1中对第1、第二交接端口30a、30b标注影线。这样,作为第1、第二交接端口30a、30b使用第1、第二保管部20a、20b的较上层,由此能够通过高架搬运车50和第1、第二起重机40a、40b双方进行物品2的交接。此外,第1、第二交接端口30a、30b并不限定y方向的两端的两个,能够将较上层的第1、第二保管部20a、20b的全部作为第1、第二交接端口30a、30b使用。此外,第1、第二交接端口30a、30b并不限定第1、第二保管部20a、20b的较上层。第1、第二交接端口30a、30b例如也可以与第1、第二保管部20a、20b设置。例如,如图1所示,也可以在俯视下,在第1区段间顶棚轨道13与第1区段内顶棚轨道11之间、第二区段间顶棚轨道14与第1区段内顶棚轨道11之间、第1区段间顶棚轨道13与第二区段内顶棚轨道12之间、第二区段间顶棚轨道14与第二区段内顶棚轨道12之间设置交接端口130。第1、第二起重机40a、40b能够针对该交接端口130进行物品2的交接。另外。栖霞区象鼻子真空搬运机推荐厂家!

    控制装置60针对高架搬运车50进行指示以将第1保管区域sa1的第1交接端口30a的物品2搬运至第二保管区域sa2的第二交接端口30b。高架搬运车50沿着第1区段内顶棚轨道11移动至第1交接端口30a,使横向伸出机构55向-x方向或者+x方向突出,驱动升降驱动部54并通过保持部53保持第1交接端口30a的物品2。此外,高架搬运车50根据来自控制装置60等的信息,获取接收到的物品2的搬运目的地亦即第二保管区域sa2的第二交接端口30b的位置信息(地址)。接下来,高架搬运车50维持将物品2保持的状态地在第1区段内顶棚轨道11上沿顺时针的方向行驶,从第1区段内顶棚轨道11的直线部11a经由第二连接轨道16的出口部16b(参照图1)向第二区段间顶棚轨道14移动。此外,第二连接轨道16的截面形状与第1区段内顶棚轨道11和第二区段间顶棚轨道14相同或者大致相同(参照图6),因此高架搬运车50能够从第1区段内顶棚轨道11无障碍地移动至第二区段间顶棚轨道14。接下来,高架搬运车50在第二区段间顶棚轨道14上朝向+x方向行驶,从第二区段间顶棚轨道14经由第二连接轨道16的入口部16a向第二区段内顶棚轨道12移动。其后,高架搬运车50在第二区段内顶棚轨道12上环绕行驶。高淳区糖袋真空搬运机推荐厂家!徐汇区工业真空搬运机哪家的好

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    活动架驱动块71装设有活动架驱动轴72,活动架驱动轴72伸入至固定安装竖板11的活动槽111内且活动架驱动轴72装设有嵌插于活动槽111内的轴承73;固定安装竖板11的后表面装设有机械手驱动电机8,机械手驱动电机8的动力输出轴装设有位于活动槽111旁侧且用于拨动活动架驱动轴72动作的驱动轴拨动块9。需进一步指出,水平导轨副4包括有螺装于固定安装竖板11且沿着左右方向水平延伸的水平导轨41、螺装于中间活动板2的水平滑块42,水平导轨41与水平滑块42相配合。另外,竖向导轨副5包括有设置于前端活动架3且呈竖向布置的竖向导轨51、螺装于中间活动板2的竖向滑块52,竖向导轨51与竖向滑块52相配合。在本实用新型产品移送动作的过程中,机械手驱动电机8驱动驱动轴拨动块9摆动,摆动的驱动轴拨动块9驱动活动架驱动轴72摆动,在此过程中,轴承73与活动槽111相配合并实现对活动架驱动轴72导向,以使得活动架驱动轴72沿着活动槽111移动,且活动架驱动轴72带动前端活动架3同步移动,并实现上升、下降动作。其中,本实用新型通过真空吸盘62吸附抓取产品。需强调的是,本实用新型只通过一电机即可实现真空吸盘62上升、下降动作,结构简单。综合上述情况可知,通过上述结构设计。江苏常见真空搬运机哪里可以买到

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