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    在第1、第二起重机是悬挂式起重机的情况下，由于无需在与第1、第二起重机对应的地上侧(地板面侧)设置轨道，因此能够以低成本进行轨道的设置。另外，在第1区段内顶棚轨道和第二区段内顶棚轨道是环绕轨道，第1起重机和高架搬运车在第1区段内顶棚轨道朝向同一方向环绕行驶，第二起重机和高架搬运车在第二区段内顶棚轨道朝向同一方向环绕行驶的情况下，能够减少从区段间顶棚轨道驶入区段内顶棚轨道的高架搬运车与沿着该区段内顶棚轨道行驶的第1、第二起重机干扰的可能性，并且，能够简化高架搬运车和第1、第二起重机的控制。另外，在第1、第二交接端口配置于第1、第二保管部的较上层的情况下，能够通过高架搬运车和第1、第二起重机双方来进行物品的移送，能够容易地在高架搬运车与第1、第二起重机之间进行物品的交接。附图说明图1是表示本实施方式所涉及的搬运系统的一个例子的俯视图。图2表示第1、第二处理装置和装载端口的一个例子的图。图3表示第1、第二保管部和第1、第二交接端口的一个例子的图。图4是表示悬挂式起重机的一个例子的图。图5是表示高架搬运车的一个例子的图。图6是表示第1、第二起重机的第1、第二行驶部、以及高架搬运车的行驶部的一个例子的图。江宁区包装袋真空搬运机推荐厂家！武进区包装袋真空搬运机生产厂家

    图7是表示通过高架搬运车搬运物品时的移动路径的一个例子的图。图8是接着图7，通过高架搬运车搬运物品时的移动路径的一个例子的图。图9是接着图8，通过高架搬运车搬运物品时的移动路径的一个例子的图。图10是表示保管部和交接端口的其他例子的图。具体实施方式以下，参照附图对实施方式进行说明。在以下的各图中，使用xyz坐标系对图中的方向进行说明。在该xyz坐标系中，将铅直方向设为z方向，将水平方向设为x方向、y方向。x方向是水平方向内的一个方向，是沿着后述的第1区段间顶棚轨道13和第二区段间顶棚轨道14的方向。y方向是与x方向正交的方向，是沿着第1区段内顶棚轨道11的直线部11a、和第二区段内顶棚轨道12的直线部12a的方向。另外，关于x、y、z方向的各方向，适当地将与箭头相同一侧称为+侧(例如，+x侧)，将其相反侧称为-x侧(例如，-x侧)。图1是表示本实施方式所涉及的搬运系统100的一个例子的俯视图。图1所示的搬运系统100例如设置于半导体设备的制造工厂等，对收容有在半导体设备的制造中使用的半导体晶圆的foup、或者收容有中间掩模等的中间掩模盒等物品2进行搬运。在本实施方式中，使用物品2是foup的例子来进行说明，但物品2也可以是除foup以外的物品。另外。新吴区包装袋真空搬运机有几种六合区常见真空搬运机推荐厂家！

    在图1至图3中包括有：1——机械手安装架11——固定安装竖板111——活动槽12——竖板固定座2——中间活动板3——前端活动架4——水平导轨副41——水平导轨42——水平滑块5——竖向导轨副51——竖向导轨52——竖向滑块61——吸盘安装架62——真空吸盘71——活动架驱动块72——活动架驱动轴73——轴承8——机械手驱动电机9——驱动轴拨动块。具体实施方式下面结合具体的实施方式来对本实用新型进行说明。如图1至图3所示，一种新式真空搬运式机械手，包括有机械手安装架1，机械手安装架1包括有呈竖向布置的固定安装竖板11，固定安装竖板11的下端侧装设有竖板固定座12，竖板固定座12的上端部与固定安装竖板11螺接。进一步的，固定安装竖板11的前端侧可相对活动地装设有分别呈竖向布置的中间活动板2、前端活动架3，前端活动架3位于中间活动板2的前端侧，中间活动板2与固定安装竖板11之间装设有呈水平横向布置的水平导轨副4，前端活动架3与中间活动板2之间装设有呈竖向布置的竖向导轨副5，前端活动架3的下端部装设有吸盘安装架61，吸盘安装架61装设有真空吸盘62。更进一步的，固定安装竖板11的前表面开设有呈“n”形状的活动槽111，前端活动架3螺装有活动架驱动块71。

    能够比第1、第二起重机40a、40b更快移动，因此通过高架搬运车50进行区段间(例如第1保管区域sa1与第二保管区域sa2之间)的物品2的搬运，从而能够在短时间内搬运物品2。这样，将第1、第二起重机40a、40b与高架搬运车50的作用分开，由此能够使搬运系统100整体的物品2的搬运效率提高。另外，将第1区段内顶棚轨道11由第1起重机40a与高架搬运车50共享，并将第二区段内顶棚轨道12由第二起重机40b与高架搬运车50共享，因此无需另外设置顶棚轨道，能够减少顶棚轨道10的铺设所需要的成本。另外，高架搬运车50能够在第1区段内顶棚轨道11和第二区段间顶棚轨道14上行驶，因此如图5的单点划线所示，能够在与第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp之间进行物品2的交接。其结果是，在产生第1、第二起重机40a、40b的故障、或者产生第1、第二起重机40a、40b因其他物品2的搬运而顾及不到等状况的情况下，能够暂时通过高架搬运车50进行与装载端口lp之间的物品2的交接，能够防止搬运效率的降低。并且，高架搬运车50在作为从其他区域搬运来的物品2的搬运目的地的装载端口lp空置的情况下(能够搬运的情况)，保持原样地将物品2搬运至作为搬运目的地的装载端口lp，由此能够提高物品2的搬运效率。栖霞区多功能真空搬运机推荐厂家！

    由此在第1、第二保管部20a、20b等的下方，例如能够作为能够供操作人员等通行的通路利用。第1、第二保管部20a、20b沿着装载端口lp在y方向上排列配置多个。第1、第二保管部20a、20b在各个第1、第二保管区域sa1、sa2配置两列。第1、第二保管部20a、20b的各个列相对于装载端口lp的列在x方向对置配置。第1保管部20a配置于相对于第1区段内顶棚轨道11的直线部11a的正下方在x方向错开的位置。第二保管部20b配置于相对于第二区段内顶棚轨道12的直线部12a的正下方在x方向错开的位置。在第1、第二保管区域sa1、sa2中，第1、第二保管部20a、20b在上下方向设置两层。但是，第1、第二保管部20a、20b并不限定于两层，可也以设置一层或者三层以上。另外，第1、第二保管部20a、20b也可以设置于地板面上，来代替从顶棚悬挂。第1交接端口30a设置于第1保管部20a的列。第二交接端口30b设置于第二保管部20b的列。第1、第二交接端口30a、30b具有与第1、第二保管部20a、20b相同的结构，第1、第二保管部20a、20b中的一个或者多个作为第1、第二交接端口30a、30b使用。在本实施方式中。浦口区牛皮袋真空搬运机推荐厂家！钟楼区室内深加工真空搬运机推荐厂家

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    能够将在第1、第二处理装置tl1、tl2之间产生的空间作为保管区域有效地活用。针对保管架80的保管部320，第1、第二起重机40能够进行物品2的交接。另外，针对保管架80的上表面80a的交接端口330，第1、第二起重机40a、40b和高架搬运车50双方能够进行物品2的交接。另外，第1、第二起重机40a、40b能够在保管部220与保管部320之间搬运物品2。此外，在图10中，示出设置保管部220和保管架80双方的例子，但也可以代替该结构，是在装载端口lp的上方不设置保管部220，在第1、第二处理装置tl1、tl2与第1、第二处理装置tl1、tl2之间(或者装载端口lp与装载端口lp之间)设置保管架80的结构。例如，也可以是在图1所示的第1处理装置tl1与第1处理装置tl1之间、或者第二处理装置tl2与第二处理装置tl2之间(或者装载端口lp与装载端口lp之间)设置保管架80的结构。根据该结构，与上述相同地，能够将在第1、第二处理装置tl1、tl2间(装载端口lp间)产生的空间作为保管区域有效地活用。这样，通过配置保管部220、和具备保管部320的保管架80，在搬运系统100中，能够容易地使物品2的保管数量增大。此外，在搬运系统100中，保管部220或者保管架80的设置数量能够任意地设定。以上，对实施方式进行了说明。武进区包装袋真空搬运机生产厂家