常见晶圆植球设备官网
微球晶圆植球机适用于批量芯片的植球。晶圆植球机精度高,重复精度±0.01mm;植球精度0.015mm。PLC控制可以提高生产效率,控制品质,节省成本:电动升降平台钢网;半自动落球;进口电动升降平台控制模具与钢网分离速度及行程,可以灵活实现多种脱模方式。一体成型治具固定系统,钢网方便快捷,准确。芯片厚度可用电动平台调节。可以在1分钟左右内,同时在晶圆上植入锡球,以及检查及修补,较终达到100%的良率。植好球的晶圆流入回流炉,锡球在高温下融化,从而焊接在晶圆上。晶圆植球机的主要构件包括超声电源、换能器、送线机构、劈头、温度可控的夹具等。常见晶圆植球设备官网
自动晶圆植球设备包括底部架台,在底部架台上设有晶圆上料/下料机构、 晶圆传送机械手、晶圆校准机构、晶圆搭载台、晶圆印刷机构、晶圆植球机构和CCD对位系统;晶圆上料/下料机构、晶圆传送机械手和晶圆校准机构沿y轴方向顺序设置在底部架台的一端,晶圆搭载台、晶圆印刷机构、晶圆植球机构和CCD对位系统沿x轴方向顺序设置在底部架台上,其中的晶圆搭载台临近晶圆传送机械手设置,晶圆植球机构和CCD对位系统组合在一起临近晶圆印刷机构设置。本技术采用CCD自动对位,保证了对位的准确性和快速性,可以对应6英寸、8英寸和12英寸晶圆,对应不同晶圆只需更换设备治具和载具即可。常见晶圆植球设备官网晶圆植球机的设备结构简易,易操作维护。
在WLP工艺中,晶圆上凸点(Bump)的制作是关键的基础技术,在WLP封装中电镀凸点方对BGA基板植球进行了研究。针对晶圆凸点制作的金属模板印刷和植球方式,研究WLP封装工艺和WLP植球机关键技术,并在自主研制的半自动晶圆级微球,植球机进行植球实验,晶圆尺寸12inch,焊锡球直径250um。晶圆级植球技术和设备的开发研制为好的芯片封装装备国产化提供从技术理论到实践应用的参考。我司设备利用独自开发取得的毛刷,可以高效植球的同时,能延缓锡球的氧化,不造成锡球的浪费。
晶圆植球设备采用了金属模板印刷法进行植球。植球过程中。残留在网板上的助焊剂和锡焊球不及时清理。不但会影响晶圆定位和印刷植球效果还会损伤网板和晶圆。根据印刷网板和植球网板的清洁要求。分别采用了无尘布擦拭和真空吸附的清洁方法。设计了印刷网板自动清洁机构并分析了其工作流程。设计了植球网板自动清洁机构并对其关键技术进行研究。自动清洁机构的设计进一步提高了晶圆植球设备的自动化水平。为实现全自动晶圆植球设备打下基础。该设备采用特定的光谱取代原有光源,使用全新的测试线路及测量方式,大幅提高了设备的精度及效率。目前使用设备频率调整精度可达±5PPM,合格率98.5%以上,经过设备升级,可加工更小型的1毫米系列产品。晶圆植球机适用于BGA,WLCSP,PoP等各类BGA器件的植球。
晶圆植球机BM1310W设备技术规格参数:晶圆尺寸:8,12寸;锡球球径:¢60~¢300um;较小球间距:90um(球50um);植球精度:±25um;植球较大不良率:30PPM;操作系统:Windows10;上料,下料:可对应料架及Foup;电压:200V/3相;外观尺寸:3595(W)*1650(D)*1650(H)mm;重量:约2600公斤。晶圆植球机可以对应硅晶圆,模块晶圆的微锡球植球。晶圆植球机设备结构简易,易操作维护。晶圆在前道刻好回路后,需要在各个芯片凸点上布上锡球,以达成电路的一个连通。晶圆植球机植球精度大概为0.015mm。常见晶圆植球设备官网
晶圆植球机,简称GBIT。常见晶圆植球设备官网
晶圆植球机的使用很简单,设备的使用之前需要仔细阅读说明书,根据说明书来进行使用。晶圆植球机:对应晶圆的微植球自动产线系统。可实现上料、刷胶、植球、检查修补和下料全程自动化,大幅提高生产效率。产品说明:1)晶圆尺寸:6/8/12吋;2)球径:50-300um;3)较小球间距:100um(直径50um球);4)上/下料:料盒,FOUP对应。晶圆植球机可实现晶圆从上料到下料的全程自动化生产,各工序同时进行,大幅提高效率;可连接回流炉、清洗机;可对应硅晶圆和定制化晶圆;植好球的晶圆流入回流炉,锡球在高温下融化,从而焊接在晶圆上。敝司的设备利用独自开发取得的毛刷,可以高效植球的同时,能延缓锡球的氧化,不造成锡球的浪费。常见晶圆植球设备官网
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