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    其包含轴、与所述轴连动的马达转子、具有使所述马达转子旋转的定子芯的马达定子、每3相至少分成第1线圈组和第2线圈组这两个系统且用3相交流电对所述定子芯进行励磁的多个线圈组、以及在内侧收纳所述马达转子、所述马达定子和所述多个线圈组的筒状的壳体；电子控制装置，其是为了对所述电动马达进行驱动控制而设置的，包含设于所述轴的靠负载相反侧的端部的磁体、以及位于所述轴的负载相反侧且配置在所述轴的轴向的延长线上的电路基板；第1线圈布线，其将所述第1线圈组和所述电路基板连接起来；以及第2线圈布线，其将所述第2线圈组和所述电路基板连接起来，所述电路基板具有：检测电路，其包含对所述磁体的旋转进行检测的磁传感器；第1电力电路，其包含向所述第1线圈组供给电流的多个电子元器件；第2电力电路，其包含向所述第2线圈组供给电流的多个电子元器件；以及控制电路，其包含对所述第1电力电路和所述第2电力电路中的至少一者所供给的电流进行控制的电子元器件，所述第1线圈布线和所述第2线圈布线均具有：第1部位，其在与所述轴的轴向交叉的方向上突出到所述壳体的外侧；以及第2部位，其在所述外侧自所述第1部位朝向所述电路基板突出。雨花台区室内深加工气动悬臂吊推荐厂家！秦淮区包装袋气动悬臂吊推荐厂家

    自所述电路基板的法线方向观察时，隔着所述第1电力电路所包含的电子元器件的配置位置在所述第1通孔的相反侧存在所述控制电路所包含的电子元器件的配置位置。由此，能够使自第1电力电路到达电动马达的电流路径远离控制电路。作为理想的技术方案，所述第2线圈布线的所述第2部位自比所述第2电力电路所包含的电子元器件靠近所述电路基板的外周的位置连接于所述第2电力电路。由此，能够使第2线圈布线远离磁传感器，能够抑制因电流在第2线圈布线中流动而产生的磁场对磁传感器造成的影响。作为理想的技术方案，所述电路基板具有与所述第2线圈布线的所述第2部位相连接的第2通孔，自所述电路基板的法线方向观察时，在所述检测电路的配置位置与所述第2通孔之间存在所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置。由此，能够使自第2电力电路到达电动马达的电流路径远离磁传感器。隔着所述第2电力电路所包含的电子元器件的配置位置在所述第2通孔的相反侧存在所述控制电路所包含的电子元器件的配置位置。由此，能够使自第2电力电路到达电动马达的电流路径远离控制电路。作为理想的技术方案，还具有配置于所述电路基板的电容器，自所述电路基板的法线方向观察时。秦淮区包装袋气动悬臂吊推荐厂家溧水区象鼻子气动悬臂吊推荐厂家！

    可在其中自由转动。由此，万向球头接头结构4也形成一个类似关节的结构。图10是示意性表示根据本发明第1种实施方式的具有锁定功能的万向球头接头结构的剖视图。如图10所示，锁紧件403包括锁紧手柄4031和弧形压板4032。锁紧手柄4031有两个根杆组成，其中第1杆垂直连接在第二杆中部，使得锁紧手柄4031形成“t”型结构。弧形板4032位于第1杆远离第二杆的一端，其弧度适应于球头401的表面。第1杆设有与弧形槽402上的螺纹孔配合的外螺纹。由此，通过转动第二杆，可以使锁紧件403向弧形槽402内部或外部移动。而弧形槽402的两个螺纹孔中各设有一个锁紧件403。弧形槽402内部靠近防滑手柄101与其的连接处的位置还设有向着防滑手柄101延伸的圆柱形槽。阻尼件404设置在其中，而阻尼件404的外部还套设有一个弹簧405。由此，在空间失重环境下，长度调整机构2转动带动球头401转动，到位后可依靠阻尼件404和球头401之间的摩擦力立刻停止，在此过程中，弹簧405也起到压紧球头401的作用。在转动到位后，航天员可转动两个锁紧手柄4031使得两个弧形板4032从球头401相对的两侧压紧球头401，完成锁紧，使球头401不能再转动。以上所述只为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明。

    能够使第1线圈布线和第2线圈布线在与轴的轴向交叉的方向上进一步远离磁传感器。作为理想的技术方案，所述散热器具有凹部和凸部中的一者，所述适配器具有所述凹部和所述凸部中的另一者，所述凸部能嵌入所述凹部。由此，能够将适配器相对于散热器定位。作为理想的技术方案，还具备配置于所述凹部的第1粘接剂，利用所述第1粘接剂将所述散热器和所述适配器粘接起来。由此，能够确保适配器不脱离散热器。作为理想的技术方案，还具备：盖体，其覆盖所述电路基板；以及快速装配机构，其将所述盖体固定于所述散热器，所述快速装配机构的卡定部和被卡定部中的一者设于所述盖体的外周部，所述卡定部和所述被卡定部中的另一者设于所述散热器的外周部。由此，能够将盖体和散热器容易地固定在一起。作为理想的技术方案，还具备设于所述盖体的阀，所述盖体和所述散热器构成收纳所述电路基板的收纳体，所述阀根据所述收纳体的内部与外部的压力差进行开闭。由此，能够减小温度变化所导致的收纳体内部的压力变化。作为理想的技术方案，所述散热器具有在所述散热器的外周部设置的槽部，所述盖体的外周部能嵌合于所述槽部。由此，能够将盖体相对于散热器定位。六合区牛皮袋气动悬臂吊推荐厂家！

    本发明涉及一种半导体制造技术，尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。背景技术：在半导体加工设备中，经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送，在传送的过程中，传送精度越高，设备工艺一致性就越好，速度越快，单台设备的产能就越大。随着半导体工艺的发展，设备处理的工艺越来越复杂，对设备自动化程度、柔性化程度要求也越来越高，这就需要一种定位精度高，速度快的多自由度的机械手。技术实现要素：本发明针对现有技术中的不足，提供了一种晶圆搬运机械手，本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动，且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力，同时提高了重复定位精度。本发明结构合理性能稳定，维护方便，多功能集一身，可满足多种工艺设备要求，适用于各种半导体设备。为了解决上述技术问题，本发明通过下述技术方案得以解决：一种晶圆搬运机械手，包括升降轴、旋转轴和伸展轴，其特征为，所述的伸展轴包括伸展电机、一级伸展臂、二级伸展臂和手指固定座，所述的一级伸展臂与所述伸展电机之间设置有一级关节，所述的一级伸展臂与所述的二级伸展臂之间设置有二级关节，所述的二级伸展臂和所述的手指固定座之间设置有三级关节。浦口区多功能气动悬臂吊推荐厂家！建邺区米袋气动悬臂吊供应

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    而不是全部的实施例。在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，只是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。如图1-3所示，本发明的一种板材搬运自动化设备的机械手，包括立柱1，立柱1的底部安装有滑轮，滑轮可配合滑轨等移动装置以使得机械手的移动范围更广，立柱1的顶壁上安装有第1电机2，第1电机2的驱动端安装有斜齿轮8，立柱1的一侧的侧壁上安装有两个支撑板10，两个支撑板10之间共同安装有蜗杆9，两个支撑板10上均开设有斜螺纹孔，且斜螺纹孔与蜗杆9相互啮合，蜗杆9与斜齿轮8相互啮合，蜗杆9的底端转动连接有安装板7，安装板7靠近立柱1一侧的侧壁上安装有滑块，立柱1的侧壁上开设有与滑块相互配合的竖向滑槽，安装板7通过滑块与竖向滑槽的配合可沿着立柱1进行上下滑动，安装板7的顶壁上开设有转槽，转槽内设有限位板18，蜗杆9的底端贯穿安装板7的顶壁并延伸至转槽内，蜗杆9的底端安装在限位板18的顶壁上。本发明中。秦淮区包装袋气动悬臂吊推荐厂家